MEMS潑礁¨デジタルマイクICに虐するAkustica、垮窘彌き垂え晾うSiTime
MEMS輝眷は孺秤弄面井措度でも徊掐できるという潑墓がある。それも炳脫に潑步したメ〖カ〖は緬悸に輝眷をつかもうとしている。マイクロフォンに潑步するアク〖スティカ∈Akustica∷家、垮窘券慷達(dá)の彌き垂えを晾うサイタイム∈SiTime∷家は、それぞれの炳脫に羹け肋紛から瀾隴ˇ炳脫禱窖、鏈てを捏丁する。
Akustica家CEOのStefan Finkbeiner會(huì)
0.87mm逞のMEMSマイクチップ
勢(shì)アク〖スティカ家は、もともと極瓢賈嬸墑呵絡(luò)緘のロバ〖トボッシュからスピンオフした柴家だ。MEMSセンサ〖ではもう1家、Bosch Sensor Techも銅嘆だが、こちらは2005鉗から癱欄脫に潑步してモ〖ションセンサ〖や暗蝸センサ〖などの瀾墑を叫操している。辦數(shù)のアク〖スティカは、Sensor Techがカバ〖しないMEMSの井房マイクに廟蝸する。しかもファブレスだ。瀾隴はロバ〖トボッシュのラインをファウンドリとして網(wǎng)脫する。このため、マイクロフォンの拉墻を懼げ、久銳排蝸を負(fù)らし、ノイズを猴負(fù)し、チップ燙姥を教め、蝗い盡緘を懼げることに礁面できる。
マイクロフォンをMEMS禱窖で侯ると井房になるばかりではなく、≈驕丸のECM∈エレクトレットコンデンサマイク∷ではできなかった山燙悸劉が蝗えるというメリットがある∽と、票家CEOのStefan Finkbeiner會(huì)(哭1)は胳る。ECMマイクではリフロ〖はんだを乖うと拉墻が1dB恃步したため墑劑を瘦沮できなかった。慨完拉活賦は200箕粗がやっとだという。しかしシリコンのMEMSマイクなら1000箕粗の慨完拉活賦にも卵えられる。
哭2 MEMSマイクはメッシュを網(wǎng)脫、炊刨を呵努步 叫諾¨Akustica
糠瀾墑のAKU230は、MEMSセンサ〖とプリアンプと恃拇達(dá)を1チップのシリコン∈0.7mm2∷懼に礁姥したデジタル叫蝸の畝井房マイクロフォンである∈哭2∷。パッケ〖ジに掐れたサイズは3.76∵4.72∵1.25mmと井さい。マイクとしての件僑眶潑拉は3kHzまではほぼフラットだが、件僑眶がそれ笆懼光くなると積ち懼がっていく。パッケ〖ジ柒で鼎慷するためだ。22kHz燒奪に鼎慷件僑眶を積つ。
哭3 腮嘿步せずに肋紛だけで井房步 叫諾¨Akustica
票家が倡券してきたMEMSマイクは2006鉗には1.9mm逞、2008鉗に1.4mm逞、2009鉗は1mm逞と髓鉗井房步してきた。海攙は0.84mm逞とこれまでの呵井にしたが(哭3)、デザインル〖ルは0.35μmのトランジスタノ〖ドを恃えずにレイアウトと肋紛のコンパクション禱窖だけで井房にした。芹俐升ˇ粗持は鼎に0.6μm。
晾う輝眷はまずラップトップパソコン、肌にスマ〖トフォンである。ラップトップパソコンを倡いた覺輪でディスプレイの懼嬸にマイクを彌きたいというニ〖ズがあり、これに炳えた。ディスプレイの懼だと、キ〖ボ〖ドを慮つ箕の不を?yàn)Rわないとしている。また、このチップの叫蝸はビットストリ〖ムのデジタルだが、これによってアナログでは濺いがちだったノイズを?yàn)Rわずに貉んだという。MEMSマイクとアンプとの調(diào)違が墓ければノイズを?yàn)Rってしまうが、沒くしかもすぐにA-D恃垂しているため、ノイズの逼讀を減けずに貉んだ。
このチップにおいてCMOSプロセスには嘲嬸のファウンドリを蝗い、MEMSプロセスはボッシュをファウンドリとして蝗う。MEMS-lastのプロセスではあるが、CMOS攙烯の芹俐供鎳からMEMSファウンドリへ緘畔す。呵介の杠狄が少晃奶だったこともあり、CMOSファウンドリは泣塑のセイコ〖エプソン∈簡拍供眷∷を蝗っている。ボッシュはMEMSファウンドリとして年刪があるとして驢眶の杠狄を豎えているという。
糠瀾墑は、杠狄の妥滇によってインタ〖フェ〖スをI2CでもPCMでもカスタマイズする。クロック件僑眶は2~3MHz。2006鉗笆丸、答塑弄な攙烯ブロックは恃わらないが、メンブレン菇隴は恃えているという。杠狄によって炊刨や拉墻、件僑眶炳批などを呵努步し、そのためメンブレンのメッシュやメタル菇隴を恃えた。
井房のMEMSマイクによって、コストダウンできるだけではなく、海稿、スマ〖トフォンに2改のマイクを3改に籠やすこともヘッドセットレコ〖ダとしての炳脫もあるとしている。
補(bǔ)刨奧年拉は垮窘事みに
辦數(shù)の勢(shì)サイタイム家は、垮窘を鏈く蝗わずに券慷達(dá)やクロックジェネレ〖タ、鼎慷達(dá)を肋紛瀾隴する。ここでの頂凌陵緘は垮窘である。垮窘ではできない、あるいは垮窘よりも拉墻の光いシリコンMEMS券慷達(dá)などを侯ることで輝眷を倡麥していく。これまで垮窘を蝗ってきた炳脫を鏈てシリコンで彌き垂える。肋紛から瀾隴、炳脫まで≈ワンストップショッピングを晾っている∽と票家マ〖ケティング么碰VPのPiyush Sevalia會(huì)∈哭4∷は咐う。
哭4 SiTime家マ〖ケティング么碰VPのPiyush Sevalia會(huì)
サイタイムは、件僑眶奧年刨を0.02ppmから100ppmまでコストとの敷ね圭いで、瀾墑を路えている。瀾墑は絡(luò)きく尸けて3鹼梧ある。慷瓢灰∈垮窘陵碰∷、券慷達(dá)、クロックジェネレ〖タである。券慷達(dá)はアナログ攙烯やPLL∈疤陵ロックル〖プ∷を蝗って1改クロックを侯り叫す攙烯、クロックジェネレ〖タは剩眶のPLLで剩眶のクロックを券欄させる攙烯、と年盜している。
哭5 SiTimeは券慷達(dá)、クロックジェネレ〖タをMEMSで弓くカバ〖
2011鉗2奉には券慷達(dá)のEncore∈アンコ〖ル∷プラットフォ〖ムを肋紛、件僑眶蛻らぎが∞0.5ppmと呵も警ないOCXO∈oven controlled oscillator∷、補(bǔ)刨輸浸したTCXO∈temperature compensated oscillator∷、VCXO∈voltage controlled oscillator∷瀾墑羹けに券山した稿、4奉にはSSD∈solid state disk∷羹けの券慷達(dá)3鹼梧と、タブレットPCや排灰ブック羹けの券慷達(dá)SiT8003を甜費(fèi)ぎ玲に券山した。票家によると、垮窘慷瓢灰を網(wǎng)脫する券慷達(dá)よりも30%泅く、咀封や慷瓢には10擒動(dòng)いとしている。
Encoreの拉墻は、件僑眶の補(bǔ)刨奧年拉が∞0.5ppmと井さく、12kHz×20MHzに畔ってランダムな疤陵ジッタ〖ノイズは0.65psと井さい。このため奶慨やネットワ〖ク怠達(dá)、ワイヤレス、ストレ〖ジ怠達(dá)に羹くとしている。
徊雇獲瘟
MEMS潑礁¨染瞥攣の另圭蝸を欄かしたソリュ〖ションを捏丁、フリ〖スケ〖ル (2011/05/13)
MEMS潑礁¨ファウンドリ、ファブライトに礁面して瀾墑凡を弓げるIMT、VTI (2011/05/17)
