表1　MEMSファウンドリのトップテンランキング　出�Z：Yole Developpementを元にセミコンポータルが加工

MEMSの世�cは、応��と密接に関係し、MEMS�\術だけが動いている�lではない。MEMS専門の�x場調�h会社であるフランスのYole Developpementが定期的に発表しているMEMSファウンドリメーカーのトップランキング(表1)を見ると、MEMSファウンドリというよりも応��に密接に関係したメーカーが�Hい。STMicroelectronicsは加�]度センサーをゲーム機やスマートフォンなど�c�攜�けに設�����]販売しているが、TIはプロジェクションディスプレイに使うDMD（デジタルミラーデバイス）をMEMSデバイスとして���]販売している。

応���x場まで�T識したMEMSのエコシステムともいうべきMIGは、100社以�崕犬泙辰�MEMSのグループである。会�^には、ファブレスからファウンドリやIDM、コンソーシアム、研�|所、携帯電�Bメーカー、���]����メーカーそしてメディアまで参加している。日本からの参加会�^はオムロンだけ。ここで会�^同士の情報共�~を行い会�^相互のコミュニケーションをとり、パートナーシップを築くための企業間ネットワークを構築している。MEMSを�W(w┌ng)��する電子機�_(d│)やMEMSデバイスを作るファブレスなどの顧客に�瓦靴董▲廛蹈献Д�トマネジメントの提供や設���мq、ファウンドリの紹介といったコンサルティングサービスを提供する企業も�擇泙譴討い襦�MIGを紹介したAlissa Fitzgerald��(図1)のAMFitzgerald & Associates社はMEMSのコンサルティングサービスを提供する。

図1　MIGについて紹介したAlissa Fitzgerald��

このMEMS��集では、MEMSを中心に応���x場に�官�できるソリューションを提供するフリースケール、MEMSファウンドリに��化するIMT、MEMSファブライトで����のポートフォリオを拡�j(lu┛)するVTI、そしてマイクロフォンに��化するアクースティカと、MEMS共振�_(d│)を�擇�したビジネスを拡�j(lu┛)するサイタイム社を紹介する。

まずは、半導��メーカーとしてMEMSビジネスにどう�Dり組み、�O社の����ポートフォリオにどう�擇�していくかをフリースケールの例で紹介しよう。フリースケールは、32ビットフラッシュマイコンコアColdFire V1と、I2C/SPIなどのインターフェース�v路、パワーマネジメント�v路に、MEMS加�]度センサーを集積したスマートセンサーIC、MMA9550Lを2010�Q6月に発表した。このセンサーICをモーションセンサーのハブとして��い、このハブICから最�j(lu┛)12個の別のセンサーを接��できるようにし、さらに����をアプリケーションプロセッサi.MXで�U(ku┛)御するというシステムを提案した(図2)。

この�T果、フリースケールは、システムソリューションを提案できる��のある企業に変身した。�O社開発のアプリケーションプロセッサi.MX6のCPUコアはARM Cortex-A9である。動作周�S数は1.2GHzながらわずか数100mWの電��しか消�Jしない。シングルコアのi.MX 6Solo、デュアルコアのi.MX 6Dual、クワッドコアのi.MX 6Quadを使うことで、�c�擇�ら�噞機�_(d│)、�O動�Zに至るいろいろな応��に�官�できる。

図2　複数のセンサーとも接��できるハブICと、中心となるプロセッサを提案
出�Z：Freescale Semiconductor

このセンサーハブには、センサーからの信��(gu┤)を処理するマイコンと、センサー信��(gu┤)を機�Δ��官�させるアルゴリズムを1パッケージに入れているため(図3)、電子コンパスや歩数��、ジェスチャー（指などで動作を表現する入��法）などの応��にはジャイロや磁気センサー、圧��センサーなどを��けて実現することができる。フリースケールはアルゴリズム（ソフトウエア）も開発しているため、顧客へ提案しやすい。

図3　センサーハブICとしてのスマートセンサーMMA9550L　
出�Z：Freescale Semiconductor

このソリューション提案を、例えばスマートフォンやタブレットなどに応��すると(図4)、i.MXプロセッサを中心にフリースケールの�eつオーディオコーデックやマイコン、パワーマネジメント（PM）IC、ZigBeeチップなどに加え、�Z接センサーや電子コンパス、圧��センサーによる気圧��、ジャイロスコープセンサーなども搭載したモバイルシステムが可�Δ砲覆襦�RAMやフラッシュメモリ、カメラ、RF、ベースバンドなどは�x販のチップを使えばよい。センサーをふんだんに採り入れたスマートフォンやタブレットが設��できる。

半導��総合メーカーであるIDMのフリースケールが�擇�る�Oはこういったソリューション提供である。スマートセンサー、MEMSセンサー、アプリケーションプロセッサ、PMICなど�O社が�eつ����を�`いっぱい提案して使ってもらうというビジネスによって、効率よく�O社����の売り�屬欧��Pばすことができるようになる。

図4　スマートモバイルデバイスへの応��例
　出�ZFreescale Semiconductor

フリースケールは、これまでもMEMSデバイスに販売実績があり、1980�Qに最初のMEMS圧��センサーを���]したあと、1980�Q代後半に�O動�Zのエアバッグ��MEMS加�]度センサーを開発、その後医��向け、�c�攜�け、さらに3軸加�]度センサーなどを開発・販売してきた。出荷したMEMSセンサーは����で10億個を��えたという。

参考�@料
MEMS��集：ファウンドリ、ファブライトに集中して����群を広げるIMT、VTI (2011/05/17)
MEMS��集：デジタルマイクICに徹するAkustica、水晶��き換え狙うSiTime (2011/05/19)