GaN-on-Diamondウェ〖ハをサンプル叫操
毖Element Six家がGaN-on-Diamondの4インチウェ〖ハをサンプル叫操した。ダイアモンドの胎蝸は部といっても冷憋攣ながら錢鳥鉤が端めて你いこと。このため、光件僑パワ〖トランジスタにはうってつけ(徊雇獲瘟1)。錢帕瞥唯が1600W/mKと光く、庶錢拉が庭れているため、驕丸のSiCを答饒とするGaNよりも拉墻が光い。
哭1 Element Sixが券卿した4インチのGaN-on-Diamondウェ〖ハ
Element Sixは笆漣から、ダイアモンドウェ〖ハを丁惦してきており(徊雇獲瘟1)、附哼4インチのダイアモンドウェ〖ハを叫操しており、6インチも渾填に掐れている。海攙のGaN-on-Diamondで脫いたウェ〖ハサイズは4インチ∈100mm∷(哭1)。その瀾恕について海攙湯らかにした。
GaN-on-Diamondウェ〖ハを侯瀾する眷圭、ダイアモンドの錢鳥鉤が你くても、GaNやそれらの腸燙にある霖の錢鳥鉤が光ければあまり跟蔡はない。奶撅は、ダイアモンド馮窘の懼にGaN霖を木儡喇墓することができない。呈灰年眶が佰なり、夏が掐るからだ。このため蓮敗霖を肋ける。碰介はダイアモンド-蓮敗霖-AlGaN霖-GaN霖という菇隴だった。しかし、GaNアクティブ霖からダイアモンドへ、できるだけ玲く錢を屁がしたい。呵奪の票家はAlGaN霖を艱り嘲す菇隴を評ることに喇根した。この馮蔡、これまでよりもっとも你い錢鳥鉤を評られたという條だ。
ダイアモンド遂は、メタルの答饒懼に錢やプラズマのCVD喇墓で侯瀾する。この眷圭は驢馮窘になるが、悸狠のダイアモンドウェ〖ハではグレインバウンダリが斧えにくく紊攻な潑拉を績すようだ。毋えば哭1のウェ〖ハは夾めにして謄を杜らすとグレインバウンダリが斧えるが、帽に懼から斧ている嘎り、それは斧えにくい。驢馮窘ではなく、帽馮窘を喇墓させる眷圭には、井さな鹼馮窘を答饒とするため、絡庚仿は司めない。
ただ、GaN-on-Diamondの侯瀾はそれほど詞帽ではない。まず、GaN-on-Si答饒を蝗い、GaN霖を山燙として、ガラスのついたシリコン答饒をGaN霖に儡緬する。この稿、呵介の答饒のSiと、その懼の蓮敗霖∈Si-GaN腸燙霖∷を近殿したのち、GaN懼の儡緬霖を孿姥する。その懼にダイアンモンド霖を喇墓させ、帽なる毀積霖の舔充を蔡たしてきた、2戎謄のガラス霖-シリコン答饒を猴り皖とす。この覺輪でダイアモンド-儡緬霖-GaN霖の菇隴ができる。悸劉するためにダイアモンド婁をダイアモンドキャリアに烹很する。そのダイアモンドとダイアモンドキャリアの粗にはセラミックの儡緬霖を肋けておく。ダイアモンド霖とGaN霖との粗の儡緬霖の更さは35nmと泅い。
Element SixはCVD喇墓禱窖に20鉗笆懼の沸賦を積ち、この禱窖をライセンスするつもりはない。極家で欄緩してウェ〖ハを捏丁する。ダイアモンドウェ〖ハは附哼600綏/奉の欄緩翁を肛るとしている。RFパワ〖トランジスタのパッケ〖ジ亨瘟には、錢鳥鉤の你さだけではなく、補刨サイクルによる慨完拉も澄瘦する澀妥がある。このためダイアモンドとダイアモンドキャリアとの粗の儡緬霖のセラミックと、ダイアモンドとGaNの粗の儡緬霖の聯買にノウハウがあるとしている。1000攙笆懼の補刨サイクル活賦をクリアしているという。
徊雇獲瘟
1. Element Six家、GaN-on-Diamondウェ〖ハで錢鳥鉤を4充猴負 (2014/06/18)
