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サファイヤT晶のj口径化によりLED基価格は2013Qに半を期待

白色LED照の原材料となるサファイヤ基T晶を]すると、サファイヤT晶インゴットを]販売するGT Advanced TechnologyがLED JapanでT在感をした。jきな積のサファイヤ基の8インチ化を可Δ砲掘△靴もインゴット直径当たりの価格も下げられる見通しだ。サファイヤのx場は拡j成長すると見る。t会での同社のY語はGrowth begins here(成長はここから始まる)であった。

図1 GT Advanced Technology社サファイヤ材料グループ担当バイスプレジデントのPaul Beaulieu

図1 GT Advanced Technology社サファイヤ材料グループ担当バイスプレジデントのPaul Beaulieu


白色光はE色LEDに黄色い蛍光膜(+uに等しい)を被せることでuられる。E色発光ダイオード材料であるGaNのT晶格子定数にZい材料がサファイヤであり、現在のE色LED基の主流となっている。LED照ではE色LEDチップを数恩鳥箸Δ里k般的である。このためチップの価格が照ランプの価格を配する。チップを低コストにするためにはサファイヤ基の低価格化が不可Lになっている。

GT社は、サファイヤT晶の低価格化を咾推進している。同社は昨Qまで陵枦澱喘のポリシリコン基とウェーハを主としていたが、昨Q7月にCrystal Systems社をA収し、サファイヤT晶ビジネスを}に入れた。その後、矢Mぎ早にCrystal社のeっていたの数を3倍に\やし、攵ξを2インチのサファイヤウェーハ換Qで600万/月に屬欧拭GT社のeつサファイヤ成長ASF(Advanced Sapphire Furnace)のpRYは9億4400万ドルもある、と同社サファイヤ材料グループ担当バイスプレジデントのPaul Beaulieuはいう。

同社のユーザーには、インゴット(厳密にはサファイヤビジネスではブールと}ぶ。T晶の原石というT味のブールBouleという言)から、ウェーハにスライスして加工するメーカーがHい。に、サファイヤT晶からウェーハを作り出すメーカー岼10社のうち、6社がこので成長させたサファイヤのインゴットを使っているとしている。ユーザーであるウェーハメーカーはこのT晶インゴットをP入して、スライスし、ラッピング、研磨、アニール、浄などの工を経てウェーハに仕屬欧襪、GT社はウェーハ加工は扱わない。

サファイヤT晶の低価格化にLかせないのはサファイヤT晶のj口径化である。T晶成長の]度からa軸妓に成長させることでインゴットを作し、成長させたインゴットを`的とするT晶C(軸)に向くように周囲を削り柱にする。このためjきければjきいほど、LED向けのc軸の柱T晶がDれやすくなる。LED Japanで見せた直径15インチの柱型のインゴットの_量は100kg。これまで同社の最j_量は85kgだった。最もjきなインゴットとして130kgも可Δ世箸靴討い襦

サファイヤインゴットをj口径化することで低価格化にTびつき、GTはT晶インゴットのj口径化によるコストダウンを図2のように見ている。


図2 T晶インゴットの低価格化の推〕女[

図2 T晶インゴットの低価格化の推〕女[


サファイヤのx場はLEDだけではない。SOS(silicon on sapphire)デバイスの耐放o線デバイスとしてx場があり、Peregrine Semiconductor社などがSOSデバイスを宇宙防ナ噞からもっとk般的な工業へと広げようとしている(参考@料1)。絶縁屬離轡螢灰鵑鷲碆^容量が小さくなるため、高]・低消J電になる。SOIと同様の応分野が期待できる。

参考@料
1. 新CMOS on SapphireのRFチップで携帯電Bx場のGaAsをき換えていく (2010/06/30)

(2011/10/11)
ごT見・ご感[
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