デンソ〖、SiCのパワ〖MOSFETを極家瀾のSiC馮窘で侯る數恕をタネ湯かし
10奉24泣から辦忍給倡されたモ〖タ〖ショ〖において、カ〖エレクトロニクスの漓嚏メ〖カ〖であるデンソ〖はSiCのMOSFETを鷗績した。ドレイン卵暗1200V、ドレイン排萎は庶錢フィンを燒けて100A鎳刨萎せる。票家が侯瀾するSiC馮窘の墑劑は凡を卻いていると咐われている。なぜ、どうやって光墑劑なSiC馮窘を侯っているのか、デンソ〖に艱亨した。
デンソ〖のSiC染瞥攣 焊秉がMOSFET、靠面SBD、焊布3インチウェ〖ハ
寶緘漣4インチウェ〖ハ、寶秉パワ〖モジュ〖ル
SiCは光補にしても拖けずに丹攣になるという競糙の拉劑がある。このため、シリコンで蝗われてきたチョクラルスキ〖苞き懼げ恕が蝗えない。丹陵喇墓恕を蝗わざるを評ない。しかし、SiC馮窘を喇墓させると澀ずマイクロパイプと鈣ばれる馮窘風促が喇墓即數羹に辮って喇墓する。このため絡きな馮窘を尸更く喇墓させることが豈しい。
そこで、デンソ〖はまず鹼馮窘を絡きく喇墓させる數恕をとっている。鹼馮窘はシリコンと票屯、馮窘インゴットの鹼として蝗う眷圭と、インゴットそのものにしてしまう數恕の企つがある。鹼馮窘をそのままインゴットにする眷圭にはいったん喇墓させた稿、マイクロパイプ馮窘のない眷疥を磊り叫し、馮窘喇墓燙の逞刨を恃えて浩び喇墓させる。浩刨マイクロパイプが喇墓すると、浩びその風促のないところだけを磊り叫し、喇墓逞刨を恃えてさらに喇墓させる。この數恕を部刨も帆り手して、馮窘を絡きくさせていく。緘粗はかかるが風促をそのたびに們ち磊るということで馮窘の墑劑は紊い。
この數恕は燙泡でコストが光くなるが、これに灤してデンソ〖は風促のない鹼馮窘をたくさん侯っておき、それを鹼馮窘として奧年して痰風促の馮窘を侯り叫せるようになると、呵介の鹼馮窘の緘粗はコストにさほど讀かなくなるという。窗鏈な鹼馮窘ができるとそれを傅に肌」と窗鏈馮窘を侯り叫せるため、その稿のコストはさほど跟かなくなるからである。この禱窖はデンソ〖と誰拍面丙甫墊疥との鼎票で潑釣を艱評しているとしている。
デンソ〖はMOSFETの煥步遂についても咐第した。シリコンとは般い、SiCのゲ〖ト煥步遂はMOS菇隴を侯る懼で腸燙はクリ〖ンでなければならない。しかも喇墓廬刨もそこそこに廬いことも滇められる。このため、デンソ〖はまず錢煥步遂を侯りその稿CVDにより疥司の更さのゲ〖ト煥步遂を喇墓させる。更さのコントロ〖ルはCVDで乖う。ただし、帽姐な錢煥步ではなく、免步したりあるいは垮燎アニ〖ルしたりするなど稿借妄もノウハウとして澀妥になるとしている。
SiCのパワ〖MOSFETは光補瓢侯という網爬よりは、光卵暗ˇ絡排萎デバイスとして光廬瓢侯が材墻だというメリットの數が絡きい。競暗コンバ〖タなど、コイルを蝗うスイッチングレギュレ〖タのコイルを眶尸の1に井さくできるからだ。200×300☆の光補にするとSiC染瞥攣はびくともしないが、SiCの煥步遂やハンダ亨瘟が拖けたり煎くなったりするため、悸蝗脫ではSiC笆嘲の啼瑪が叫てくるため、光補瓢侯はさほど袋略できないとしている。
