Intermolecular家のミニチャンバ努脫禍毋をATMI家が券山
勢柜の光怠墻亨瘟メ〖カ〖であるATMI家は、勢Intermolecular家の任卿する、眶澆改のミニチャンバを灑えたプロセス悸賦劉彌を關(guān)掐、その禍毋について湯らかにした。この劉彌は、1綏のウェ〖ハ懼で悸賦掘鳳や亨瘟を眶澆鹼梧も票箕に恃構(gòu)できる甫墊倡券羹けの畝ミニチャンバを礁姥したもの。
7奉27泣のTechnologyフォ〖カスで疽拆したように、呵努なプロセス掘鳳や亨瘟慌屯を沒袋粗で故り哈むのに羹いた劉彌であり、倡券袋粗の沒教に耙蝸を券帶する。
海攙、ATMI家が湯らかにした禍毋では、肋紛ノ〖ドが90nmから65nm、45nmへと腮嘿步するにつれ、CMP∈chemical mechanical polishing∷借妄稿の萍芹俐山燙に褂れの啼瑪が覆螟になってきたことに灤するソリュ〖ションを捏丁した。これは、駱涎の絡(luò)緘ファウンドリ措度がATMI家に巴完したもの。
ATMI家は萍芹俐山燙の褂れを猖簾する糠しい步池挑墑を斧つけるために、いろいろな悸賦掘鳳を恃えたり亨瘟そのものを恃えたりしたいため、Intermolecular家の劉彌を瞥掐した。この萍山燙の褂れを豺瘋するのに碰たって、プロセスの龐面で眶澆箕粗庶彌することがあっても蝗えること、排丹弄潑拉が昔步しないこと、をチェック灌謄に掐れた。
驕丸の挑墑であるATMI784を答潔として、その猖紊房挑墑784xと鏈く糠しい挑墑UFAを蝗って借妄した稿、山燙の褂れは67×96%も負(fù)警した。しかも褂れの尸邵は豆い。挑墑は糠挑のUFAのほうがよい馮蔡を績した。72箕粗庶彌した稿でも褂れは籠えていない。さらに、キャパシタンスとリ〖ク排萎、芹俐鳥鉤についても拇べたが、挑墑の銅罷汗はみられなかった。
山燙の褂れが負(fù)警したため、エレクトロマイグレ〖ションやストレスマイグレ〖ションなどの慨完拉活賦はまだしていないというが、山燙が褂れていない尸だけ慨完拉檻炭は羹懼する數(shù)羹ではある。
すべての悸賦が姜位するまでに、3.5降粗ですみ、悸賦の鹼梧は1200鹼梧、刪擦灌謄は3600灌謄に畔ったが、蝗った300mmウェ〖ハはわずか16綏、蝗脫した挑墑のコストはわずか100ドルですんだと、ATMI家シニアバイスプレジデント敷ジェネラルマネジャ〖のTod Higinbotham會はいう。もしこの劉彌を蝗わなければ、300mmウェ〖ハは1000綏、挑墑洛は10它ドルくらいかかっただろうと、魯ける。
Intermolecular家の劉彌には、呵介にプロセス掘鳳や亨瘟の鹼梧をできるだけ驢く評られるTempus-10, -20に裁え、ある鎳刨掘鳳の故哈みを姜えた稿にプロセスインテグレ〖ションの刪擦に蝗うTempus-30などの劉彌の捏丁だけではなく、滇められたデ〖タを豺老するためのサ〖バ〖やストレ〖ジを崔むインフォマティックスも郊悸している。海攙の悸賦では驕丸10箕粗もかかっていた豺老が10×15尸鎳刨で貉んだと、Intermolecular家CEOのDavid Lazovsky會はいう。
