GaNデバイス瀾隴脫8インチウェ〖ハ灤炳のMOCVD劉彌を絡(luò)哇泣煥が券卿へ
LEDのチップ燙姥籠絡(luò)や改眶籠裁に灤炳したり、あるいはチップ燙姥の絡(luò)きなパワ〖染瞥攣にも蝗えたりするような、8インチGaNウェ〖ハが掐緘できるようになる。絡(luò)哇泣煥が8インチSiウェ〖ハ懼にGaN遂を妨喇できるMOCVD劉彌、モデルUR26Kを倡券、セミコンジャパンで鷗績した。
哭1 ウェ〖ハを烹很したMOCVDサセプタ 叫諾¨絡(luò)哇泣煥
奶撅の痞ランプなどに蝗うLEDのチップ燙姥は0.25~0.3mm逞しかないが、極瓢賈のヘッドライト脫LEDでは絡(luò)各翁を評るため1mm逞と絡(luò)きくしているチップがある。奶撅のLED救湯達惡はチップを驢眶事べて各翁を籠すと票箕に、芹彌によって救らしたい撾拌を弓げたり故ったりする。いずれの炳脫でも救湯に蝗うLEDのト〖タルの燙姥∈チップ燙姥∵改眶∷はますます籠えていく。LED脫MOCVD劉彌の絡(luò)庚仿步への灤炳が趨られている。
MOCVD劉彌輝眷は、ドイツのアイクストロン∈Aixtron∷家と勢柜のビ〖コ∈Veeco Instruments∷家が列噬で、絡(luò)哇泣煥は絡(luò)きく苞き違されている。とはいえ、海稿の輝眷肌媽で、のし懼がる途孟は絡(luò)きい。また、8インチウェ〖ハ脫の劉彌は、アイクストロンがG4-TMあるいはG5-HTという劉彌を積ってはいるが、1攙でロ〖ドできるウェ〖ハ眶は8インチウェ〖ハ呵絡(luò)でも5綏である。
海攙、絡(luò)哇泣煥が倡券した劉彌はSiウェ〖ハ懼にMOCVD恕でGaN遂を妨喇するもの。これまではGaN-on-Siの劉彌は6インチ仿鎳刨にとどまり、GaN馮窘ウェ〖ハとなると2インチ、3インチが肩萎となっていた。GaN馮窘ウェ〖ハがまだ呵絡(luò)でも6インチがせいぜいだからである。6インチから8インチに侖えると2.25擒のチップ眶がとれるようになり、欄緩拉が羹懼する。
GaNで8インチウェ〖ハを瀾侯することはまだ豈しいため、絡(luò)庚仿步の推白なシリコンを答饒にしてその懼にGaNを妨喇する瓢きが勢柜でも剩眶家、ベンチャ〖措度を面看に叫てき幌めている∈徊雇獲瘟1∷。ただし、SiとGaNの馮窘呈灰年眶が絡(luò)きく般うため、それらの粗に呈灰年眶を臘圭させるためのバッファ霖を瞥掐することは澀臉である。AlNをバッファ霖に脫いるが、呈灰年眶を圭わせるためSiから靳」にGaNに辦米するようにその寥喇をAlN、AlGaN、GaNと恃えていく。
UR26Kでは、8インチウェ〖ハを6綏、あるいは6インチウェ〖ハなら10綏ロ〖ドできる。MOCVD劉彌はSiと票屯、堆辦拉が腳妥なので、ガスをウェ〖ハよりも布の數(shù)から瞥掐し、ウェ〖ハより懼のノズルからガスをラミナ〖フロ〖∈霖萎∷で萎す。さらにウェ〖ハ懼のガス萎を堆辦にするため、サセプタを攙啪させると鼎に稱ウェ〖ハも攙啪させる。すなわち極啪と給啪を票箕に乖うという條だ。この極給啪させるのに、驕丸はベルトを蝗う毋が驢いなか、絡(luò)哇泣煥はギアを網(wǎng)脫する。ギアはロ〖タリエンコ〖ダを蝗えば攙啪しているウェ〖ハの攙啪疤彌を潑年でき、インサイチュモニタ〖できるからだとしている。インサイチュモニタ〖によってウェ〖ハの瓤りを盧っているという。この數(shù)及は票家が積つUR25Kという6インチ灤炳怠と票じ慌寥みであり、堆辦拉を腳渾するため、この慌寥みを恃えていない。
哭2 UR26Kの車前哭 ガスは布から瞥掐、懼のノズルから萎す 叫諾¨絡(luò)哇泣煥
ウェ〖ハを裁錢するための怠菇にはPBNによる6嗚の鳥鉤裁錢數(shù)及を脫いているが、これもUR25Kの答塑肋紛を恃えていない。ウェ〖ハを6綏很せられる絡(luò)きなサセプタの面看から6腳の嗚を裁錢脫の鳥鉤とし、ウェ〖ハに堆辦に錢が裁わるようにしている。ウェ〖ハを裁錢する補刨は1000☆鎳刨とシリコンプロセスに孺べて光い。ただし、劉彌の靜燙姥はほとんど恃わっていないとしている。
もともと染瞥攣脫のガスを評罷としている絡(luò)哇泣煥は、MOCVD劉彌メ〖カ〖としては稿券ではあるが、海攙の8インチウェ〖ハ脫のMOCVD劉彌が頂圭瀾墑を砷かすほどの光い欄緩拉を灑えていることで、坤腸輝眷にも捐り叫せるようになる。
徊雇獲瘟
1. GaN-on-Siのベンチャ〖魯叫、球咖LEDˇパワ〖HEMTを晾いVCも寵券に抨獲∈2011/08/17∷
