驢屯步するセミコンJ∈II∷×MEMSプロ〖ブ、踐婚フレ〖ム、詞白クリ〖ンル〖ム
セミコンジャパン2010においても、染瞥攣の光礁姥步や光怠墻步によってシステムのコストダウンを哭るというチップユ〖ザ〖の渾爬は恃わらない。染瞥攣メ〖カ〖が撅に罷急していることはコストダウンである。コストアップを閏けるため、テスタ〖尸填でもスル〖プットを懼げるプロ〖ブカ〖ドや、450mmの泅いウェ〖ハを毀積する汾いフレ〖ム、緘汾に悸賦できるクリ〖ンル〖ムなどもデモされた。
哭1 フォ〖ムファクタ〖家のMEMSプロ〖ブ
勢(shì)フォ〖ムファクタ〖∈FormFactor∷家は、MEMSプロセスによるマイクロスプリング禱窖に蝸を掐れており、眉灰ピッチ50μm笆布のDRAMをはじめとして、これからの腮嘿で驢眉灰のパッドに碰てて浮漢するのに庭れた禱窖である。このように腮嘿なプロ〖ブがあると、300mmウェ〖ハ柒のDRAMチップを浮漢する眷圭に、ウェ〖ハ鏈攣を辦崇でテストできる。驕丸は呵絡(luò)400チップをステップアンドリピ〖トで120駱の排富を蝗い盧年していたという。
MEMSのカンチレバ〖を網(wǎng)脫するプロ〖ブは腮嘿なスプリングを網(wǎng)脫するため、ダメ〖ジが警ないとしており、100它攙儡卡∈タッチダウン∷しても啼瑪ないという。驕丸は僥數(shù)羹に病さえていたが、海攙のMEMSプロ〖ブは、スクラビングモ〖ド∈まるで若乖怠が緬桅するように夾め懼からスム〖ズに慣りていくような數(shù)及∷で排端に碰てるため極臉煥步遂の逼讀を怯近し、クリ〖ニング攙眶が負(fù)る、と票家SOC瀾墑グル〖プ墓∈VP & General Manager ∷のエイドリアンˇウィルソン∈Adrian Wilson∷會(huì)は咐う。MEMSプロ〖ブは溫の更さをコントロ〖ルでき、カンチレバ〖1塑碰たりの呵絡(luò)排萎推翁を肋年することができる。呵絡(luò)で2A/カンチレバ〖の排萎がとれるという。
450mmウェ〖ハ嚷流脫のフレ〖ム
慨臂ポリマ〖は、ウェ〖ハ借妄が窗位し微燙を甫酸して泅く慌懼げた稿のウェ〖ハのハンドリング脫に踐婚瀾のフレ〖ムを捏丁している(徊雇獲瘟1)が、海攙のセミコンでは450mmウェ〖ハ脫の踐婚瀾嚷流脫フレ〖ムを鷗績(jī)した。これは泅く猴った稿のウェ〖ハを毀積、嚷流するために泅いフィルムテ〖プに磨りつけるが、その摧いテ〖プフィルムの件跋にフレ〖ムを肋ける。
驕丸は垛擄瀾のフレ〖ムを脫いることが驢かったが、それを踐婚瀾に侖えると汾くなる。450mmウェ〖ハを毀える垛擄フレ〖ムなら850gもあったが、踐婚瀾のフレ〖ムは350gしかない。1駱のカセットボックスに驕丸と票屯、25綏掐れるとすると垛擄フレ〖ムだけで21.25kgにもなる。踐婚瀾フレ〖ムだと8.75kgですむ。これにテ〖プ、ウェ〖ハ、ボックスの腳さが裁わる。垛擄フレ〖ムのボックスは客粗が笨ぶのには腳すぎる。慨臂ポリマ〖は、SEMIパッケ〖ジ把鎊柴で篩潔步を捏捌している。
どこでもクリ〖ンル〖ム
クリ〖ンル〖ムは、丹暗を光くして泰誓された鄂粗で、ダウンフロ〖の鄂丹を萎し撅に痰啃の鄂丹が塔たされた鄂粗、という年盜が撅急だった。この撅急を勝すような詞帽なクリ〖ンル〖ムを菇蜜するメ〖カ〖が附れた。松啃ˇ松魄マスクや柒渾獨(dú)麗爵久魄劉彌、炮卷ˇ孟布垮爵步劉彌などを?yàn)戨]任卿している督甫は、介めてセミコンジャパンに叫鷗し、糠房のクリ〖ンル〖ムを捏捌した。
哭2 詞白クリ〖ンル〖ムの膘による督甫の悸賦
これは、HEPAフィルタを蛇き低めたフィルタボックスを4綏事べて惟てかけ、その灤鉤燙に票じ4綏のHEPAフィルタボックスを惟てかけるだけの詞白なクリ〖ンル〖ムである。4綏ずつ、圭紛8綏のフィルタを惟てかけただけのオ〖プンスペ〖スである。鷗績(jī)では、パ〖ティクルカウンタを蝗って、鄂粗柒の緯灰眶を盧年した。柴眷柒では0.3μm笆布の腮緯灰が1リットル碰たり130它改、0.5μm笆布の腮緯灰は1リットル碰たり1它6000改を績(jī)したが、オ〖プンクリ〖ンル〖ム柒ではどちらもゼロを績(jī)した。
HEPAフィルタを奶ったクリ〖ンな鄂丹は尉燙から酷き叫て靠ん面でぶつかり圭い懼に卻けていく。セミコン柴眷ではその屯灰を膘を蝗って悸賦した(哭2)。フィルタのそばに膘をパイプから叫し、尉婁から膘が靠ん面に羹けて萎れ叫し、尉數(shù)からの膘がぶつかった稿、懼に羹けて卻けていった。
督甫によると、クリ〖ンル〖ムのレベルはクラス5であり、尉燙に惟てかけたフィルタを4メ〖トル笆柒までならクリ〖ン刨を瘦てるとしている。詞白クリ〖ンル〖ムを甫墊倡券や活侯、あるいは欄緩供鎳の辦嬸に蝗うといった炳脫を捏捌している。
徊雇獲瘟
1. 慨臂ポリマ〖が泅いウェ〖ハ毀積/テ〖プ脫踐婚瀾フレ〖ムを篩潔步捏捌 (2008/07/30)
