図1　フォームファクター社のMEMSプローブ

��(sh━)フォームファクター（FormFactor）社は、MEMSプロセスによるマイクロスプリング�\術に��を入れており、端子ピッチ50μm以下のDRAMをはじめとして、これからの微細で�H端子のパッドに当てて検�hするのに優れた�\術である。このように微細なプローブがあると、300mmウェーハ内のDRAMチップを検�hする場合に、ウェーハ����を�k括でテストできる。��来は最�j(lu┛)400チップをステップアンドリピートで120��の電源を使い�R定していたという。

MEMSのカンチレバーを�W(w┌ng)��するプローブは微細なスプリングを�W(w┌ng)��するため、ダメージが少ないとしており、100万�v接触（タッチダウン）しても問��ないという。��来は�e��(sh┫)向に押さえていたが、今�vのMEMSプローブは、スクラビングモード（まるで飛行機が��陸するように�Aめ�屬�らスムーズに�Tりていくような��(sh┫)式）で電極に当てるため�O���┣祝譴留惇xを排除し、クリーニング�v数が��(f┫)る、と同社SOC����グループ長（VP & General Manager ）のエイドリアン・ウィルソン（Adrian Wilson）��(hu━)は言う。MEMSプローブは�悗慮�さをコントロールでき、カンチレバー1本当たりの最�j(lu┛)電流容量を設定することができる。最�j(lu┛)で2A/カンチレバーの電流がとれるという。

450mmウェーハ搬送��のフレーム
信越ポリマーは、ウェーハ処理が完了し裏�Cを研磨して薄く仕�屬欧晋紊離ΕА璽呂離魯鵐疋螢鵐庵�に�`脂��のフレームを提供している(参考�@料1)が、今�vのセミコンでは450mmウェーハ��の�`脂��搬送��フレームを�t��(j┤)した。これは薄く削った後のウェーハを�Хe、搬送するために薄いフィルムテープに張りつけるが、その丸いテープフィルムの周囲にフレームを設ける。

��来は金����のフレームを��いることが�Hかったが、それを�`脂��に��えると軽くなる。450mmウェーハを�Г┐覿��錺侫譟璽爐覆�850gもあったが、�`脂��のフレームは350gしかない。1��のカセットボックスに��来と同様、25��入れるとすると金�錺侫譟璽爐世韻�21.25kgにもなる。�`脂��フレームだと8.75kgですむ。これにテープ、ウェーハ、ボックスの�_さが加わる。金�錺侫譟璽爐離椒奪�スは人間が運ぶのには�_すぎる��信越ポリマーは、SEMIパッケージ委�^会で�Y��化を提案している。

どこでもクリーンルーム
クリーンルームは、気圧を高くして密閉された空間で、ダウンフローの空気を流し常に無塵の空気が満たされた空間、という定�Iが常識だった。この常識を�戮垢茲Δ編~単なクリーンルームを構築するメーカーが現れた。防塵・防毒マスクや内����(d┣)��浄消毒����、土壌・地下水浄化����などを?y┐n)��]販売している興研は、初めてセミコンジャパンに出�tし、新型のクリーンルームを提案した。

図2　�~易クリーンルームの煙による興研の実�x

これは、HEPAフィルタを敷き詰めたフィルタボックスを4��並べて立てかけ、その�眼^�Cに同じ4��のHEPAフィルタボックスを立てかけるだけの�~易なクリーンルームである。4��ずつ、合��8��のフィルタを立てかけただけのオープンスペースである。�t��(j┤)では、パーティクルカウンタを使って、空間内の��子数を�R定した。会場内では0.3μm以下の微��子が1リットル当たり130万個、0.5μm以下の微��子は1リットル当たり1万6000個を��(j┤)したが、オープンクリーンルーム内ではどちらもゼロを��(j┤)した。

HEPAフィルタを通ったクリーンな空気は両�Cから吹き出て真ん中でぶつかり合い�屬��sけていく。セミコン会場ではその様子を煙を使って実�xした(図2)。フィルタのそばに煙をパイプから出し、両�笋�ら煙が真ん中に向けて流れ出し、両��(sh┫)からの煙がぶつかった後、�屬妨�けて�sけていった。

興研によると、クリーンルームのレベルはクラス5であり、両�Cに立てかけたフィルタを4メートル以内までならクリーン度を保てるとしている。�~易クリーンルームを研�|開発や試作、あるいは�攵妌��の�k�陲忙箸Δ箸い辰娠���を提案している。

参考�@料
1. 信越ポリマーが薄いウェーハ�Хe/テープ���`脂��フレームを�Y��化提案 (2008/07/30)