慨臂ポリマ〖が泅いウェ〖ハ/毀積テ〖プ脫踐婚瀾フレ〖ムを篩潔步捏捌
慨臂ポリマ〖は、3肌傅ICやSiP、泅房パッケ〖ジなどに風かせない泅いウェ〖ハを毀積するリング覺のフレ〖ムを驕丸のステンレスやアルミなどの垛擄からプラスチック踐婚に垂え、その踐婚フレ〖ムを篩潔步する捏捌をSEMIに漂きかけていたが、このほどSEMIで鏡千された。11奉には300mmウェ〖ハを灤據とした踐婚フレ〖ムの篩潔步矢今∈毖矢∷が券乖され、2009鉗3奉には泣塑胳惹も券乖される斧哈みである。
シリコンウェ〖ハは、100μm笆布に泅く猴ると積ち笨びにくくなるため、譴緬拉のテ〖プに磨り燒けて艱り胺うことが驢いが、それを毋えばウェ〖ハ25綏掐りのフレ〖ムカセットと鈣ばれるキャリヤボックスに箭めて笨ぶには、嘲先∈フレ〖ム∷で蓋年する澀妥がある。このフレ〖ムを驕丸のステンレスから踐婚瀾に垂えたものが慨臂ポリマ〖の倡券した踐婚フレ〖ムだ。プラスチックテ〖プに磨り燒けた泅いウェ〖ハを毀える踐婚フレ〖ムは、ダイシングプロセスとダイボンディングプロセスとの粗、およびウェ〖ハの叫操と嚷流に蝗われる。
慨臂ポリマ〖が捏捌した300mmウェ〖ハ脫の踐婚フレ〖ムの更さは2.5mm。ステンレスフレ〖ムの1.5mmと孺べると更いが、これは逛拉を動くするため。ただし、これ笆懼更くすると、篩潔弄なダイボンダ〖のエキスパンドテ〖ブルに很せるための3mmの蜂粗を奶らなくなる。踐婚瀾フレ〖ムで黎乖した頂圭戮家のフレ〖ムは3.7mmもの更みがあり、驕丸の怠常には很せられないため、漓脫の怠常が澀妥とされた。踐婚フレ〖ムで動步したウェ〖ハを網脫する怠常には、ダイボンダ〖、ウェ〖ハマウンタ〖、ダイサ〖などがある。
垛擄フレ〖ムと孺べて銅網な爬は企つ、汾翁步と你券啃である。汾翁步は、侯度莢が13綏のカセットを笨ぶ眷圭の網爬が絡きい。300mmウェ〖ハ脫のフレ〖ムは驕丸のステンレス瀾だと1改0.3kgだが、踐婚フレ〖ムは0.12kgしかない。13綏のカセットに箭推する眷圭ステンレスフレ〖ムだけで3.9kgにもなる。ここに13綏尸のウェ〖ハ∈テ〖プを磨り燒けたウェ〖ハの腳さは40g∷とキャリヤボックス∈ステンレス瀾5.9kg∷が裁わると、10.3kgにもなる。踐婚フレ〖ムは13綏尸で1.56kgにしかならない。これにウェ〖ハ13綏と推達∈踐婚瀾キャリヤ3.0kg∷を裁えて5.1kgに箭まる。侯度莢がカセットを積ち懼げるのに10kgと5kgの汗は絡きい。
長嘲に稿供鎳の供眷がある眷圭は、ウェ〖ハをテ〖プフィルムに漚り燒けその件跋をテ〖プフレ〖ムで毀積した妨で叫操することが驢い。それをキャリヤボックスに掐れて涵蜀する。腳翁は廷流銳のコストに逼讀する。
券啃が你いという網爬も絡きい。慨臂ポリマ〖によると、メタルのフレ〖ムを蝗ってカセットに叫し掐れしたメ〖カ〖がウェ〖ハの排丹弄ショ〖ト稍紊が驢券したことがあったという。付傍はメタルカセットとメタルフレ〖ムとの肅護によって垛擄の蝕をウェ〖ハ懼にまき歡らしてしまったためだとしている。この付傍を潑年するため驕丸のステンレスフレ〖ムと踐婚フレ〖ムとの孺秤悸賦を乖った。
このフレ〖ムをカセットボックス∈キャリヤ∷に叫し掐れする箕に券欄するごみの翁を拇べた。300mmウェ〖ハ脫のテ〖プフレ〖ムについて、ウェ〖ハを磨り燒けた覺輪で、叫し掐れを１它攙乖った。1綏のウェ〖ハの腳さは128g。悸賦では、慨臂ポリマ〖瀾の踐婚瀾キャリヤボックスを脫い、驕丸のステンレスフレ〖ムには驕丸のアルミ瀾のキャリヤボックスを蝗った。ステンレスフレ〖ムと踐婚フレ〖ム、アルミのキャリヤと踐婚のキャリヤ、という4鹼梧の寥み圭わせが材墻になった。
この馮蔡、ステンレスフレ〖ムとアルミのキャリヤボックスでは70mgの券啃を囪盧し、謄渾でもはっきりわかった。券啃の絡きさは、10~300μmで、その喇尸はFe、Cr、Alとステンレスとアルミ喇尸が叫てきたことから、肅護により券啃が彈きたといえる。踐婚瀾のフレ〖ムと踐婚瀾のキャリヤボックスは謄渾では囪盧されず、券啃の翁は1mg笆布であった。踐婚はポリカ〖ボネ〖ト廢であり垛擄を崔まない。
辦數、踐婚フレ〖ムとアルミのキャリヤという寥み圭わせでは、21mgの券啃が礁まり、その喇尸はアルミと踐婚であった。券啃の絡きさは2×100μmと、ステンレス&アルミの寥み圭わせでの券啃よりはややましになった。垛擄の佰濕がウェ〖ハに很ると、眉灰粗がショ〖トする錯副拉がある。
