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半導先端パッケージング\術のDり組みニュース相次ぐ

ICの組立パッケージング\術と收AI向け半導チップのニュースが相次いだ。組立パッケージング\術では、レゾナックが日10社とコンソーシアムを形成、アオイ電子はシャープ_県H気郡の1工場を、先端パッケージラインを構築する。リンテックは櫂レゴンΔ縫僖奪院璽献鵐阿離▲廛螢院璽轡腑鵐札鵐拭爾鮨契澆垢襦收AIでは、SBグループがGraphcoreをA収、プリファードはSamsungをファウンドリにんだ。

US-JOINT / レゾナック

図1 US-JOINTのロゴ 出Z:レゾナック


レゾナックは半導パッケージング\術に要な材料開発やそのh価を行うコンソーシアムを日10社で設立する。日本国内にはすでにJOINTおよびJOINT2と}ぶコンソーシアムを形成しているが(参考@料1)、顧客のあるシリコンバレーに新たにUS-JOINTコンソーシアムを設立することで素早い開発につなげる狙いがある。参加する10社は日本企業6社に盜餞覿4社。参加する日本企業はレゾナックに加え、メック、ナミックス、東B応化工業、TOWA、アルバックの6社、盜餞覿箸Azimuth Industrial、KLA、Kulicke &Soffa Industries、Moses Lake Industriesの4社。材料メーカーだけではなくh価・検h、モールドなどのメーカーも加わっている。

レゾナックのJONITプロジェクトでは、パッケージング工の工間の情報共~が課解を早めることから、プロセスのi工を参考にしながら設立した。先端パッケージ工の例えば微細なバンプ形成では、シードメタル形成からレジスト塗布、露光、現機浄などのリソグラフィ工を経て、メッキによる厚いメタル形成、レジスト`などk連の工を使うようになる。ここに問が発擇靴討癲工間での情報が共~され解を早めることができる。盜颪砲皀灰鵐宗璽轡▲爐鮴瀘することで、顧客と共にコンセプト検証が可Δ砲覆襦

日本で唯kのOSAT(Outsourced Semiconductor Assembly and Test)というべきアオイ電子が、シャープの]晶工場の建颪篝△し、半導の先端パッケージのパネル攵ラインを構築する。2024Q中に}し、2026Q中の本格的なn働を`指す。パネルの攵ξは月2万。チップレットや2.5D/3D-ICのヘテロ集積化パッケージをはじめ、チップmめ込み型のパワー半導パッケージや、5G/6Gなど通信およびADAS向けの高周Sパッケージも提供するとしている。]晶の攵ラインと半導のパッケージ工におけるパネル攵ラインとは基がjきく共通点がHいため、最新の半導パッケージング工としてするには都合がよい。

ウェーハの表C保護テープやフィルム、ダイシングテープなどを扱うリンテックは、盜颪竜鯏世涙kつ、オレゴンアプリケーションセンターにおいて、パッケージング工の\術開発と検証を行う。7月9日の日刊工業新聞によれば、オレゴンΔ了楡瀑發法半導]の後工で使うテープaりけ・`・加工などを順次搬入しているという。盜颪離船奪廛瓠璽ーとの協業を深めていく。

收AIでも動きがあった投@会社のソフトバンクグループ(SBG)は、英国の收AIチップとコンピュータを開発しているGraphcoreを完子会社にした。Graphcoreはデータセンター向けに收AIチップを開発しているスタートアップで、並`コンピュータアーキテクチャのkつであるMIMD(Multiple Instruction Multiple Data)を推進し、拡張可Δ噴並`AIコンピュータを開発している(参考@料2)。電源供給のウェーハとAI処理v路のウェーハをWoW(wafer on wafer)で張り合わせて形成している。電源供給ウェーハにはディープトレンチで容量のjきなキャパシタを形成できるというメリットがある。

Samsungは、日本のAIスタートアップであるプリファードネットワークスに、2nm GAA(ゲートオールアラウンド)プロセスと、チップレットや先端2.5Dパッケージング\術の「Interposer-Cube S」を使ったターンキーソリューションを提供すると発表した。再配線層(RDL)のインターポーザをはじめとする設は、SamsungのデザインパートナーであるGaonchips社が个栄蕕Α

参考@料
1. 「レゾナックがOらコンソーシアムを組E化する理yとは」、セミコンポータル、(2023/05/25)
2. 「最咾AIプロセッサをウェーハオンウェーハで実現したGraphcore」、セミコンポータル、(2022/03/08)

(2024/07/16)
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