図1　レゾナックホールディングス　代表�D締役社長兼CEO　高橋秀�n��(hu━)

1939�Qに設立された昭和電工は、石��化学を中心に��業を進めてきたものの、��(j┤ng)来の成長となる半導��へは2000�Q代に入り参入した。ハードディスクの��盤を�}始めにパワー半導��の冷却�_(d│)、さらにGaAsなどの化合�馮焼���を�}�Xけた。半導��の中核であるシリコンへの参入は、なかなか叶わなかったものの2020�Qに日立化成を�A収することで�}に入れた。�k��(sh┫)、1962�Q創立の日立化成は、1970�Q代に電子材料に参入、銅張り積層のプリント配線基��や感光性フィルム、エポキシ�`脂、CMPスラリーなど半導��材料を��(d┛ng)化した。2012�Qに日東電工から半導��封�V��業を譲り�pけ、モールドパッケージでIC分野を�\��(d┛ng)した。

今�Qに入ってレゾナックHDの��業会社であるレゾナックは、パワー半導��材料の�kつSiC材料をパワー半導��トップのInfineon Technologiesに供給することで長期的に契約した。Infineonは1��のウェーハを2��にカットする低コスト�\術を�eっているものの、ウェーハそのものを?y┐n)��]していない。レゾナックと長期契約することでSiCの調達を確保する�T味があった。レゾナックにとっても今後成長が期待されるSiCを�W定的に供給できる顧客を�耀u(p┴ng)できた。

SiCは電�Zなどにはすでに使われているが、数量は��(r┫n)常に少ない。�j(lu┛)量消�Jが見込まれる電気�O動�Z（EV）には高コストゆえに浸透が��れているが、Infineonはコストを下げるための�\術開発に余念がない。レゾナックは現在6インチのSiCブール（インゴット）を8インチに�j(lu┛)口径化する�\術開発でもInfineonと合�Tしている。Infineonは、オーストリアのフィラハ工場でSiC半導��を�攵�しているが、マレーシアのクルムにも2024�Qに�攵凮始する予定で工場建設を進めている。

レゾナックはInfineonという最�j(lu┛)�}のパワー半導��の顧客をつかんだことで、小�儺�業所（栃�v県小�處x）内に、EV向けパワーモジュール材料の�h価・開発拠点「パワーモジュールインテグレーションセンター」を本格始動させる。EVではインバータやパワー半導��を搭載するサブシステムからの�Xを逃がしたり電気的な��失を��(f┫)らしたりする�\術を開発する。これによってパワーモジュールの開発期間を�](m└i)縮するという。

レゾナックは、半導��後工��の材料にも��(d┛ng)くなり、モールドだけではなく、異��(sh┫)性導電フィルやロール2ロールのフィルム�攵��\術、ソルダーレジスト、5Gアンテナ材料に向けた高誘電率で低��失のモールド材料などを�eつようになった。単なる�A収による����ポートフォリオの�\��(d┛ng)だけではなく、研�|開発においても、旧日立化成のウェーハ研磨剤を旧昭和電工の原料�\術で����(d┛ng)するなどの「イノベーションのリレーが��きている」と語る高橋秀�n社長のコメントを1月18日の日刊工業新聞は掲載している。20日の日経�噞新聞は、高橋社長の「�B元では半導����(ji┐n)要が弱まっているが、長期トレンドは�Pびる。投�@のブレーキを踏む気はない」というコメントを載せている。

SiCのスタートアップでは、�@古屋�j(lu┛)学でSiC材料を研�|する宇�E原徹教�bがSiCブールを溶�]法で形成することを�`的として2021�Q6月に設立したUJクリスタル社のインタビュー記��を日刊工業新聞が掲載した。SiC�T晶そのものは常圧では�a(b┳)度を�屬欧討砠]化せず��(j━ng)華するため、現在では��(j━ng)華法で作��しているが、新会社は溶�]成長法で作るとしている。デジタルツインを使って新しい��(sh┫)法を見つけるという。

パワー半導��は、パッケージ基���笋�MOSFETのドレインと接��されているため、基��に放�Xフィンをつけるためには電気的に絶縁する��要があった。マイカを敷いたりグリースを塗ったりしていたが、今後の���]充電には800Vをかけるため絶縁が�科�ではない恐れが出てくる。このためAlNやBNなど、電気的には絶縁��で�X的には良伝導��が望ましい。�@古屋のスタートアップU-MAPは、AlNの放�X��を2024�Q後半から量��する、と23日の日刊工業は報じた。繊維�X(ju└)のAlNを使ったセラミック基��で、�Q間4000平��(sh┫)メートルを供給する��画だという。

�j(lu┛)陽日�┐蓮∫y本県の��陽町に半導����ガスの�駑�拠点を��設した��業所を新設した、と20日の日刊工業が報じた。�y本�x内にある����をこの新��業所に�，掘▲�スの保管施設を倍�\する。��陽町に建設中のTSMCの新工場や、ソニーグループの半導��新工場などの��(ji┐n)要を見込む。