80nm踏塔IC、300mmウェ〖ハの蒼漂唯はさほど負警しなかったSICASの琵紛
海攙のSICAS∈坤腸染瞥攣欄緩キャパシティ琵紛∷のデ〖タから斧えてくるものは、欄緩墻蝸と悸抨掐眶との絡きなかい違、すなわち蒼漂唯の負警である。2008鉗媽4煌染袋と2009鉗媽1煌染袋の皖ち哈みは楓しく、染瞥攣圭紛でそれぞれ68.4%、55.6%と負警した。候鉗の媽2煌染袋までは蒼漂唯は90%漣稿で夸敗していたが、媽3煌染袋に負警し、漣攙その飯羹を回紐した。
この2袋息魯でさらにひどい皖ち哈みを績した。これは、欄緩墻蝸が媽3煌染袋に242.7它綏/降から媽4煌染袋に238.56它綏/降へと1.7%しか布がらなかったが、悸抨掐眶が媽3煌染袋の211.03它綏/降から22.7%も負警して媽4煌染袋には163.1它綏/降にまで皖ち、媽4煌染袋には欄緩墻蝸の8.4%負に灤して悸抨掐眶は25.5%負の121.51它綏/降へと皖ちたためである。
蒼漂唯の皖ち哈みをもう警し拒嘿に斧てみると、MOS瀾墑のデザインル〖ルが0.7μm笆懼だと蒼漂唯は46%、0.4×0.7μmでは36%、0.3~0.4μmでは37.2%、0.2×0.3μmでは47.7%、0.16~0.2μmでは39.1%、0.12~0.16μmでは44.6%とだいたい40~50%鎳刨であるのに灤して、0.08~0.12μmでは68.4%、0.08μm踏塔では69.9%と70%煎まで懼がっている。すなわち呵黎眉の腮嘿なMOSICは蒼漂唯は70%煎にとどまっているが、腮嘿ではないICの蒼漂唯が40~50%に皖ちている。
票屯な飯羹がウェ〖ハサイズにも斧られる。8インチ踏塔のウェ〖ハの蒼漂唯は09鉗媽1煌染袋では33.7%、8インチウェ〖ハでは44%だが、12インチ(300mm)ウェ〖ハでは72.8%と絡庚仿步と鼎に蒼漂唯も懼がっていく。
これらのことから、呵黎眉のウェ〖ハほど蒼漂唯は70%鎳刨に偽まり、概い肋灑で欄緩できるウェ〖ハの蒼漂唯は40%鎳刨まで布がる、ということがいえる。この馮蔡、士堆では55.6%の負警という馮蔡に皖ち緬いている。
