ASMLのEUV翁緩怠、いよいよ幌瓢へ
オランダASML家のEUV∈Extreme Ultra-Violet∷劉彌がいよいよ翁緩檬超に掐った。勢柜のある杠狄に15駱のEUV劉彌を羌掐すると券山した。裁えて、2015鉗媽1煌染袋瘋換鼠桂において、EUVの沒袋弄な紛茶について券山している。ASMLの瘋換鼠桂今からEUV紛茶を粕み艱る。
哭1 ASMLの糠瀾墑NXE:3350B怠 叫諾¨ASML
ASMLが羌掐するEUVは、これからのプロセスノ〖ドにおいて、驢眶のプロセス供鎳でEUVリソグラフィを蝗うことを罷哭している。勢柜の肩妥杠狄嘆についてASMLは湯らかにしていないが、Intelに粗般いない。というのは、Intelは2012鉗にASMLに15%叫獲することを券山しており、EUVプロジェクトや450mmプロジェクトなどを奶じて、ASMLとの簇犯が考いからだ(徊雇獲瘟1)。Intel笆嘲の勢柜染瞥攣措度で叫獲しているところはない。附哼もその杠狄にEUV劉彌が剩眶駱瞥掐されているが、糠瀾墑NXE:3350Bが2駱2015鉗瑣までに羌掐される徒年である。
2015鉗媽2煌染袋には1駱のEUV劉彌が卿り懼げに紛懼される斧奶しであるが、その劉彌は貸賂のNXE:3300B怠であろう。
海鉗のEUV劉彌の謄篩は1泣碰たり1000綏の借妄翁であり、その拒嘿は肌の奶り〃
(1) ある杠狄の供眷で24箕粗に溪各されたウェ〖ハ綏眶が1022綏(各富は80W)という悸烙
(2) 剩眶の杠狄の供眷で80Wの各富にアップグレ〖ド
(3) ASMLの供眷で呵絡110W各富をデモする
材脫拉(アベイラビリティ)、悸劑弄には蒼漂唯といってよいが、その謄篩は70%〃
(1) 附覺は剩眶の杠狄の供眷で評られているのは貸賂のNXE:3300B怠で55%
糠瀾墑NXE:3350Bの叫操謄篩は6駱〃
(1) ASMLで渴められている剩眶のNXE:3350B怠の怠常弄な琵圭
(2) 翁緩脫に2駱減廟
(3) 剩眶の杠狄で渴んでいる減廟蛤灸
NXE:3350B怠の怠常弄な琵圭が海鉗窗位し、面ごろに糠房の額瓢脫ハイパワ〖レ〖ザを灑え、プロセス面のコレクタクリ〖ニング怠墻を烹很する。このハイパワ〖レ〖ザは、スズ(Sn)のドロプレットに救紀するための額瓢劉彌。
海鉗の叫操斧哈みは、NXE:3300B1駱に裁え、NXE:3300BからNXE:3350Bへのアップグレ〖ドが袋略されるのが1×3駱、NXE:3350Bの羌掐が6駱、を紛茶している。ただし、海鉗面に卿り懼げ紛懼されるかどうかは稍湯としている。また、各富のアップグレ〖ドは剩眶の杠狄の供眷で幌まっているという。
ちなみに、EUV劉彌が羌掐された悸烙の眶機から斧姥もった帽擦は、84帛邊になる(1ユ〖ロ♂129邊)。これは、2014鉗媽4煌染袋での卿り懼げ10帛8500它ユ〖ロの6%がEUVの卿り懼げであり、卿り懼げ紛懼した駱眶は1駱というレポ〖トに答づいている。
徊雇獲瘟
1. ASML、EUV倡券のリスク尸歡を晾いインテルらと鼎票倡券プログラムを捏捌 (2012/07/11)
