図1　ASMLの長期開発ロードマップ

ASMLは、共同開発プログラムを提案、パートナー(実��的にはASMLの顧客となる半導��メーカーやファウンドリ)に株式の最�j(lu┛)25%（13億8000万ユーロ相当）出�@してもらう、というもの。このうちインテルが最初に�}を�屬�、15%相当（8億2900万ユーロ：インテルの場合1株＝39.91ユーロ）を出�@するという�lだ。残りの10%分を別の顧客などに投�@してもらうが、1株当たり39.91ユーロ以�屬硫然覆波�行する。�@本参加は任�Tだが、提供された�@金は研�|開発だけに投入されることに同�Tしなければならない。

�@金提供パートナーにとっては、共同で開発することでリスクを分�g・共�~することができる。インテルは、ASMLと共に研�|することで450mmとEUVの実��化を加�]できる。インテル以外にも、他の半導��メーカーやファウンドリにも参加を�}び�Xけている。

ASMLは、IMEC、SEMATECHともこれまで進めてきたEUVリソグラフィ�\術開発にさらに��要な今後の�@金を調達するため、この共同プログラムを考案した。今�v真っ先に�}を�屬欧燭里�インテルであり、インテルは450mmウェーハ�\術に��を入れてきた。そこで、両社が�Tんだ合�Tでは、この二つのテーマを今後5�Q間に渡って共同で開発する。

インテルが出�@する8億2900万ユーロの内�lは、EUV開発に約3億ユーロ、450mm開発に約5億ユーロとなっている。今�v、8億2900万ユーロのうち2/3に相当する金�Yを出�@し、残りの1/3を次の新株発行時に出�@する。

この共同開発プログラムは、研�|開発に��点を��いた�\�@であり、�@金提供パートナーは研�|開発に�瓦垢襯螢好�をASMLと共に�eつことになるが、450mmとEUVの����に�瓦靴突ダ菘�に�R文できるというメリットがある。ただし、今�vの�@金提供パートナーには基本的に議��権はなく�D締役会に代表�vを送ることはできない。

また、今�vのプログラムでは�J�Tの株主の�R認も��要としており、�J�T株主をケアしている。�J�T株主の�R認を�u(p┴ng)た後、�\�@による株式の希��(ji─n)化がないようにするため、新株発行による現金は株主に直接�恩気気譴襪箸いΑ�

�j(lu┛)きな投�@が��要な研�|開発を�O�iで行うのではなく、ASMLはユーザーである半導��メーカーやファウンドリに向けて、�k緒に開発しようと�}びかけ、開発リスクを分�gしている。こういったコラボレーションこそ、リスクを��(f┫)らし、開発期間を�](m└i)縮し早く����を�x場に出せる�}法となる。研�|開発に絞った、この�\�@プログラムは、新しい�@金調達�}法として�R�`されるだろう。