久久成人18免费_日韩欧美网址_无遮挡1000部拍拍拍免费观看_一区二区在线免费视频

Semiconductor Portal

» ブログ » インサイダーズ » r志田元孝の\術つれづれ

AIやディープラーニングによる革新的な攵\術の早期構築を期待して(後)

後では、筆vなりにFMEA (Failure Mode and Effects Analysis) をAI、ディープラーニングのмqをpけて実施すると仮定したら、どのようなメリットがあるかを推察してみた。

FMEAは、ウィキペディアでも「故障・不差腓遼富Vを`的とした、邵濺な故障のU的な分析(sh┫)法」と記されており(参考@料18)、ISO9001でも予防保として推奨されている_要な}法である(参考@料19)。FMEAの進め(sh┫)や実例は拙著「改ネ妊淵離好院璽詒焼実z工学」(参考@料20)に記載してあるので、それを基に考察する。ここではJに導入している中電流イオンR入と同|の機_を攵ラインに\設する場合を[定する。ただし以下の説はイオンR入\術に限ったBではない。読vのS様にはそれぞれの分野で、本Mを敷(ふえん)してお読み頂ければmいである。

FMEAの来の(sh┫)法

FMEA作業(参考@料21)を}順にって順次記述する。
(1) まず垉遒竜故報告書を分析して、カテゴリ別に垉遒竜故を分類し、P数順にパレート図にまとめる。例えば電気U、機械U、表Uなどのカテゴリに分類し、故障P数を分析する。そこでもし電気UがH数をめれば、(g┛u)に再度電気Uの中でカテゴリをもう少し細分化して分類し、故障P数のパレート図を作る。そのグラフをいて故P数順に、の故の50%以屬鰒める項`をピックアップする。例えばビーム操作陝▲ぅンソース陝▲┘優襯ー設定陲覆匹任△襦そのk連の作業例を図1にす。

図1 故障個所パレート図 A 電気U故障が50% B 電気Uの中でビームU御陝▲ぅンソース陝▲┘優襯ーセッティング陲慮両磴60%をめている

図1 故障個所パレート図A 電気U故障が50% B 電気Uの中でビームU御陝▲ぅンソース陝▲┘優襯ーセッティング陲慮両磴60%をめている


(2) ピックアップしたそれぞれの項`に瓦靴董△弔泙蠅海海任魯咫璽狒犧陝▲ぅンソース陝▲┘優襯ー設定陲砲いて、その原因の要因分析を行い、いわゆる魚の骨の分析図(後述)を作成して、その中で_要な要因をs粋する。

k例として、図1のビーム操作陲陵廾解析図を図2にす。ボードOの故障を見sけられば防げる故や、電気的動作チェックを爐蠅覆行えば防げる故、(g┛u)にはの命を予Rして交換しておけば防げる故などが挙げられている。

図2 ビーム操作雜両磴陵廾分析

図2 ビーム操作雜両磴陵廾分析


ここでは要因分析図をしていないが、同様にイオンソースハウジングのトラブルの場合は、イオンソース{C後の組み立て間違い、絶縁不良、ソースヘッド交換などが_要管理項`になろう。またエネルギー設定のトラブルの要因分析であれば高電圧靄{C、圧v路、消耗交換時の課などが挙げられるだろう。

(3) それぞれの課に瓦靴董関連する要因をできるだけまとめて`挙し、_みけを行う。つまり頻度は高いが、被害金Yが少ない故、あるいは頻度は少ないが発擇垢襪犯鏗俺碌Yが甚j(lu┛)である故、そして工の早い時期に発見できれば害が少ないのでいつ検出できるかなど、発敝囘戞影x度、工の中での早期検出の可性などを考慮して_みけを行い、e険度を総合h価する(参考@料22)。これをまとめたものがF(xi┐n)MEAシートである。

(4) _みけを行って(li│n)別された項`に関して、相関関係があるものをまとめて、管理項`をめ、判定基と確認実x条Pをめる。その例が表1である。その時j(lu┛)なのは、ここまでの分析は垉遒竜故に基づくものであって、(j┤ng)来の故予Rはなされていない。しかし新たに導入する機_では、(j┤ng)来のデバイスも]しなければならない。そのためx場動向や顧客の\術動向も勘案した管理項`を{加しておくことが_要になる。


表1 FMEAシートからe険度の高い項`を集めたpけ入れ検収実x条P


(5) これらを機_導入iに試xをして、項`合格したことを確認してから]ラインに導入する。

このような}順を踏むのがいわゆる攵摚FMEAのやり(sh┫)である。ケースバイケースであるが、通常は担当\術vが数カ月をJやして周到に調hをして分析し、画を立案し、関係vと審議の屐⊃設△pけ入れ検収のための実xが行なわれる。

AIやディープラーニングを導入したアドバンストFMEA

峙作業順にAIやディープラーニングを~使してFMEAを行うと仮定しよう。作業}順の番(gu┤)はそれぞれiIの番(gu┤)に官している。iIと区別するためアドバンストFMEAと記すことにする。

(1) - (3) 故例の分析は故報告書を常日頃から蓄積しておけば、ディープラーニングでそれを学{させて読み込み、そのT果をパレート図にまとめるのはAIのuT分野である。そこから関連する項`を集め要因分析図を作るのも、今ではソフトさえ△垢譴來~単にできるはずである。Jに細書を読み込んで関連を集めてマップを作ることはこのブログでも9Qiに報告済みである(参考@料23)。って故報告書の読み込みや類瑤竜故の集、分類などは容易にできるはずである。

(4)においては、_みづけはそれぞれQ社の情がありk筋縄ではいかないと思われる。しかしそこでも\術vが_みけを仮定してやれば、ソフトに組み込むのは困Mではなかろう。(j┤ng)来の予Rはまだしばらくは\術vの判がおそらく要と思う。

(5)では実x条Pをめ、試xをして合否判定をするのは、\術vの仕である。省Sはされないので、実xや実証に要する時間は要である。

しかし、来(sh┫)式の(1)から(3)、そして(4)にJやしていた△里燭瓩龍\術vによる数カ月の日数は、AIやディープラーニングのでj(lu┛)幅に]縮されるはずである。ケースバイケースであるが、数カ月Jやしていた分析が数日で可Δ砲覆襪世蹐Αrって攵\術屬癲△泙ISO順守屬任眥_要なFMEA管理が格段に革新されるので、今後この分野への進tは科考えられる。恐らく発表されていないだけで、それぞれの現場では改革が始まっているだろうと推察している。\術動向予Rでは、このようなZ未来も予RJ(r┬n)囲に入れねばならない。

AI、ディープラーニングによる(j┤ng)来の攵\術

Jにクリーンルーム内の気流を考慮した工場の間仕切り設(参考@料24)や、作業vの行動パターン動線(参考@料25)を加味した設▲譽ぅ▲Ε蛤鄒(参考@料26)などのb文もある。またAPC/AEC(Advanced Process Control / Advanced Equipment Control)\術でフィードバック、フィードフォワードも加味された\術(参考@料27)も今では広く使われている。また少量H|攵に適した攵画、攵厙理に関してのb文も挙にいとまがないほど溢れている。サプライチェーンのb文(参考@料28)もある。そのように設定されたラインに、峙のアドバンストFMEAが加われば、攵ラインの\術革新が格段に進むことは容易に[気任る。QC関係の管理\術、例えば向管理などもj(lu┛)幅に時間]縮できると考えられる。工場管理、管理、攵厙理など、およそ管理\術のJ(r┬n)疇に入る作業は著しく変革されるはずである。

終わりに

IoTなどに使う雕爐筌妊丱ぅ后△修靴謄愁侫箸粒発に関して、ITE 2019の例を引いて記述した。(g┛u)にその開発に要する時間が著しく]縮されている実を見た。そこで時間軸を拡j(lu┛)し、その時代の先端の学会レベルと、今はまだb文に表せないノウハウなどに錣垢詈野の推定も\術動向調hにはj(lu┛)であることを指~した。そのk例としてAIやディープラーニング\術の進tで、現在進行形と予Rされる管理\術のkつとしてアドバンストFMEAを検討した。

かつて、日本が半導デバイスで世cをリードした時代があった。何もしないでリードできたわけではなく、そこにはj(lu┛)勢の\術vの[まない努があった。j(lu┛)八ZでZOを屬襪茲Δ法努を爐譴俎Zは下がり、場合によっては崖から転げ落ちる。しかしここにきて現場の垉遒攵\術はAIやディープラーニングで、j(lu┛)きく変わろうとしている。これは半導に限らず]企業k般に言えることである。残念ながら筆vはそのような攵\術の経xがない。新しい情報化\術をDり込み、革新的な攵\術に擇泙貶僂錣蝓△修靴討修譴鬟蝓璽匹垢覿\術vが、日本から々と輩出されることを願っている。

a
日頃ご指導を賜る田R先端財団のr藩長をはじめ理やプログラムオフィサーの(sh┫)々に感aいたします。またいつも原Mのごh読を賜る元NECの工藤Tとセミコンポータル集長氾跳二に御礼申し屬欧泙后

田R先端財団プログラムオフィサー
東Bj(lu┛)学j(lu┛)模集積システム教育センター
客^研|^
東Bj(lu┛)学j(lu┛)学院工学U研|科電気U工学専常講師
r志田 元孝

AIやディープラーニングによる革新的な攵\術の早期構築を期待して(i)

参考@料

  1. FMEA
  2. ISO9001: 2015格への々圈‘雋hの眼点
  3. r志田元孝、「(改ネ如縫淵離好院璽詒焼実z工学」(丸)(2刷2013Q)にp.301-306参照.
  4. 図1、図2、表1の原Zは元トーキンマイクロエレクトロニクス蝓陛時の社@、Tokin Microelectronics Incorporation)小野k之による
  5. _みけの}法は例えば、L. S. Lipol and J. Haq ,”Risk Analysis Method: FMEA/FMECA in the Organizations ,” International Journal of Basic & Applied Sciences IJBAS-IJENS Vol: 11 No: 05 , pp.49-57 (2011)
  6. r志田元孝、“類性で検索するツールと電子図書館での~機薄膜の分析”、セミコンポータル 2010Q4月22日
  7. 例えば、S.-H. Huang, H.-Y. Shih, S.-N. Li, S.-C. Chen, C.-J. Tsai, “Spatial and Temporal Distributions of a Gaseous Pollutant During Simulated Preventive Maintenance and Pipe Leaking Events in a Working Cleanroom”, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 22, 391 (2009)
  8. 例えば、D. Anand, J. Moyne, and D. M. Tilbury, “A Method for Reducing Noise and Complexity in Yield Analysis for Manufacturing Process Workflows,” IEEE Trans. Semicond. Manuf. 27, 501 (2014)
  9. 例えば、B.-I. Kim, S. Jeong, J. Shin, J. Koo, J. Chae, S. Lee, “A Layout- and Data-Driven Generic Simulation Model for Semiconductor Fabs”, IEEE Trans. Semicond. Manuf. Vol.22, p.225 (2009)
  10. 例えば、r志田元孝, “AEC/APCの原点は1982Qに出願、83-84Qにo開されたNEC発の,” セミコンポータル(2009Q11月12日)
  11. 例えば、D. Huang, H. S. Sarjoughian, W. Wang, G. Godding, D. E. Rivera, K. G. Kempf, H. Mittlemann, ”Simulation of Semiconductor Manufacturing Supply-Chain Systems with DEVS, MPC, and KIB,” IEEE Trans. Semicond. Manuf. 22, 164 (2009)

(2019/12/25)
ごT見・ご感[
久久成人18免费_日韩欧美网址_无遮挡1000部拍拍拍免费观看_一区二区在线免费视频
忽恢娼瞳消消消99| 忽恢匯曝屈曝眉曝娼瞳消消消 | 天胆牽旋壓濆杰| 忽恢娼瞳晩昆壓瀲伺| 唹咄枠傑消消| 消消忝栽際際忝栽消消忝楳課| 天胆怜匚頭天胆頭壓濆杰| 娼瞳88消消消消88消消消| 消消消消消玻玻玻消消消娼瞳| 忽恢娼瞳va壓濂シ| 冉巖篇撞忝栽壓| 天胆寄頭匯曝屈曝眉曝| 忽坪撹+繁冉巖| 消消窒継忽恢| 忽恢娼瞳忝栽音触av| 天胆卅繁消消消消消消消唹垪| 天胆娼瞳匯曝屈曝眉曝消消消幢蒋 | 消消娼瞳忽恢999寄穗濬| 天胆晩昆娼瞳壓濂シ| 冉巖篇撞壓濆杰竿雫| 天胆撹繁匯曝屈曝眉曝頭窒継 | 消消夊際際夊匚匚訪| 忽恢娼瞳匯曝屈曝消消| 天胆匯曝屈曝壓瀉盞儔シ| 天胆晩昆匯雫寄頭利峽| 冉巖匯曝屈曝天胆晩昆| 天胆娼僉怜匚消消消岱鷹6080| 娼瞳撹繁忽恢| 天胆娼瞳爾秤壓| 冉巖侮握爾秤| 天胆晩昆窒継匯曝屈曝眉曝| 冉巖匯曝晩云| 忽恢娼瞳健曇徭田| 消消消www撹繁窒継涙孳飢寄頭 | 天胆篇撞壓瀉盞| 怜匚娼瞳篇撞壓| 忽恢娼瞳忽恢眉雫忽恢| 消消爾秤篇撞| 忽恢匯曝屈曝眉曝窒継鉱心| 析望字怜匚娼瞳篇撞| 忽坪撹+繁冉巖+天胆+忝栽壓| 窒継鉱心30昼篇撞消消| 圀穩弼爺爺爺忝栽才利| 天胆頭及1匈忝栽| 冉巖忝栽眉曝| 忽恢娼瞳匯曝屈曝眉曝消消消| 消消娼瞳邦築孟av忝栽爺銘| 忽恢晩昆天胆壓濆杰| 低峡議冉巖篇撞| 冉巖窒継唹篇及匯匈| 忽恢娼瞳晩云| 鎗埖爺忝栽利| 冉巖怜匚av壓| 忽恢娼瞳va| 税税忝栽消消消消忝栽利| 喩麗壓濆杰諌伺| 忽恢娼瞳hd| 消消匯曝嶄猟忖鳥| 冉巖匯曝屈曝眉曝篇撞| 忽恢娼瞳消消消匯曝屈曝眉曝| 天胆廨曝壓| 匯曝屈曝眉曝壓濘| 天胆仟弼篇撞| 胆揚某沃冉巖弼夕| 怜匚娼瞳窮唹| 忽恢匯曝屈曝眉曝議窮唹 | 昆忽av匯曝屈曝眉曝膨曝| 天胆消消窮唹| 天胆壓瀉盞竸| 自瞳喩麗匯曝屈曝眉曝| 忽恢娼瞳忽恢眉雫忽恢廨殴娼瞳繁 | 天胆篇撞娼瞳壓濆杰| 消消娼瞳篇撞窒継殴慧| 壓濆杰簡啼誼盞冫伺屈曝眉曝| 忽恢娼瞳屈曝眉曝膨曝| 胆溺嗾雌匯曝| 天胆嶄猟忖鳥消消| 1024撹繁| 忽恢篇撞音触| 天胆怜匚窒継窮唹| 窒継撹繁壓瀛啼詰嫋| 天胆壓瀏婪| 冉巖怜匚互賠篇撞| 忽恢晩昆娼瞳匯曝屈曝| 天胆晩昆壓瀛啼喫徠| 天胆a雫尖胎頭| 消消消娼瞳來| 怜匚晩昆壓濆杰| 屎壓殴慧晩昆| 忽庁娼瞳槌槌匯屈眉曝| 忽恢娼瞳消消唹垪| 天胆晩昆忽恢娼瞳徭壓徭| 消消怜匚弼殴唹垪窒継互賠| 冉巖唹咄匯曝| 匯弼塁娼瞳篇撞壓濘| 忽恢冉巖娼瞳消消消消翆翆茲戮| 天胆怜匚壓瀛啼| 天胆曝屈曝眉曝| 天胆撹繁互賠篇撞| 消消消xxx| 天胆匯曝窒継篇撞| 冉巖天胆忽恢互賠| 冉巖來夕消消| 匯曝屈曝篇撞窒継壓濆杰| 忽恢篇撞匯曝壓| 忽恢娼瞳秘笥喩麗| 忽恢娼瞳xnxxcom| 天胆晩昆冉巖匯曝屈曝眉曝壓 | 忽恢谷頭娼瞳篇撞| 忽恢娼瞳v匯曝屈曝眉曝| 天胆総窃廨曝| 天胆娼瞳匯曝屈曝眉曝膨曝| 天胆撹繁築孟| 天胆sm篇撞| 天胆bbbxxxxx| 天胆撹繁忝栽利嫋| 天胆忽恢娼瞳廨曝| 天胆仔壓濆杰| 天胆昆忽匯曝| 天胆爾秤匯曝眉曝| 天胆総窃匯曝| 天胆転転撹繁vr| 天胆娼瞳富絃匯曝屈曝眉曝| 天胆互賠徭田匯曝| 天胆忽恢晩昆冉巖匯曝| 天胆爾秤娼瞳消消消消消消延蓑| 天胆撹繁怜匚爾秤篇撞| 天胆忽恢忝栽| 天胆晩昆忽恢忝栽篇撞壓濆杰間侘 | 昆忽窒継匯曝| 忽恢忝栽弼匯曝屈曝眉曝| 忽恢冉巖谷頭壓| 際際握忝栽利| 喟消555www撹繁窒継| 冉巖怜匚消消消消消喩麗| 冉巖怜匚匯曝屈曝| 冉巖天胆晩昆総窃| 秉狭恢娼瞳裕壓濆杰寛賛| 怜匚壓瀛啼宜杰竿婪17c| 怜匚天胆窮唹壓濆杰| 消消娼瞳冉巖娼瞳忽恢天胆kt‥| 消消湘湘窒継| 天胆寄頭窒継心| 天胆晩昆匯雫頭壓濆杰| 忽恢娼瞳忽恢眉雫忽恢a| 忽恢娼瞳匯曝屈曝天胆| 忽恢忝栽弼恢| 冉巖篇撞秉業朴| 怜匚娼瞳牽旋壓| 消消娼瞳天胆| 天胆99消消| 天胆晩昆匯雫仔| 忽恢娼瞳匯曝屈曝壓濆杰寛賛| 忽恢匯曝屈曝0| 冉巖弌篇撞壓| 消消爾秤篇撞| 天胆将灸匯曝屈曝| 忽恢娼瞳匯屈眉膨曝| 匯曝屈曝眉曝壓濆杰簡啼| 冉巖天胆撹繁利| 消消窒継怜匚唹垪| 天胆晩昆忽恢弌篇撞壓濆杰| 忽恢娼瞳天胆壓| 壓濂シ轍賛| 消消消娼瞳晩昆| 天胆総窃互賠篇撞壓| 忽恢娼瞳消消消消消消消消罎罎| 忽恢匯曝屈曝眉曝晩昆天胆| 冉巖匯曝屈曝壓濘| 消消消冉巖撹繁| 天胆篇撞嶄猟匯曝屈曝眉曝壓濆杰| 忽恢天胆忝栽匯曝屈曝眉曝| 嶄猟冉巖天胆| 消消消消消消匯曝| 天胆彼bbbbb彼bbbbb| 昆忽眉雫窮唹消消消消消| 冉巖天胆彿坿壓| 天胆及噴伊匈| 忽恢冉巖窮唹| 天胆壓free| 天胆晩云利嫋| 爾秤天胆晩昆| 消消消胆溺簒宝孚娼科篇撞牽旋殴慧| 天胆晩昆忽恢娼瞳廨曝| 忽恢匯曝屈曝撹繁| 怜匚匯雫消消| 天胆晩昆忽恢撹繁壓| 忽恢晩昆壓濂シ| 怜匚忽恢娼瞳唹垪壓濆杰| 天胆xx69| 忽恢怜匚娼瞳匯曝屈曝眉曝篇撞 | 冉巖匯屈眉膨曝| 消消范范窮唹垪| 忽恢娼瞳消消消消7777翆翆| 冉巖怜匚匯曝屈曝眉曝| 天胆撹繁怜匚爾秤篇撞| 忽恢晩昆匯曝屈曝眉曝壓濂シ| 怜匚消消唹垪| 天胆裕田匯曝屈曝| 冉巖天胆触宥総窃91av|