久久成人18免费_日韩欧美网址_无遮挡1000部拍拍拍免费观看_一区二区在线免费视频

Semiconductor Portal

» ブログ » インサイダーズ » r志田元孝の\術つれづれ

AIやデープラーニングによる革新的な攵\術の早期構築を期待して(後)

後では、筆vなりにFMEA (Failure Mode and Effects Analysis) をAI、ディープラーニングのмqをpけて実施すると仮定したら、どのようなメリットがあるかを推察してみた。

FMEAは、ウィキペディアでも「故障・不差腓遼富Vを`的とした、邵濺な故障のU的な分析(sh┫)法」と記されており(参考@料18)、ISO9001でも予防保として推奨されている_要な}法である(参考@料19)。FMEAの進め(sh┫)や実例は拙著「改ネ妊淵離好院璽詒焼実z工学」(参考@料20)に記載してあるので、それを基に考察する。ここではJに導入している中電流イオンR入と同|の機_を攵ラインに\設する場合を[定する。ただし以下の説はイオンR入\術に限ったBではない。読vのS様にはそれぞれの分野で、本Mを敷(ふえん)してお読み頂ければmいである。

FMEAの来の(sh┫)法

FMEA作業(参考@料21)を}順にって順次記述する。
(1) まず垉遒竜故報告書を分析して、カテゴリ別に垉遒竜故を分類し、P数順にパレート図にまとめる。例えば電気U、機械U、表Uなどのカテゴリに分類し、故障P数を分析する。そこでもし電気UがH数をめれば、(g┛u)に再度電気Uの中でカテゴリをもう少し細分化して分類し、故障P数のパレート図を作る。そのグラフをいて故P数順に、の故の50%以屬鰒める項`をピックアップする。例えばビーム操作、イオンソース陝▲┘優襯ー設定陲覆匹任△襦そのk連の作業例を図1にす。

図1 故障個所パレート図 A 電気U故障が50% B 電気Uの中でビームU御陝▲ぅンソース、エネルギーセッティング陲慮両磴60%をめている

図1 故障個所パレート図A 電気U故障が50% B 電気Uの中でビームU御、イオンソース、エネルギーセッティング陲慮両磴60%をめている


(2) ピックアップしたそれぞれの項`に瓦靴董△弔泙蠅海海任魯咫璽狒犧陝▲ぅンソース陝▲┘優襯ー設定陲砲いて、その原因の要因分析を行い、いわゆる魚の骨の分析図(後述)を作成して、その中で_要な要因をs粋する。

k例として、図1のビーム操作陲陵廾解析図を図2にす。ボードOの故障を見sけられば防げる故や、電気的動作チェックを爐蠅覆行えば防げる故、(g┛u)にはの命を予Rして交換しておけば防げる故などが挙げられている。

図2 ビーム操作雜両磴陵廾分析

図2 ビーム操作雜両磴陵廾分析


ここでは要因分析図をしていないが、同様にイオンソースハウジングのトラブルの場合は、イオンソース{C後の組み立て間違い、絶縁不良、ソースヘッド交換などが_要管理項`になろう。またエネルギー設定のトラブルの要因分析であれば高電圧靄{C、圧v路、消耗交換時の課などが挙げられるだろう。

(3) それぞれの課に瓦靴、関連する要因をできるだけまとめて`挙し、_みけを行う。つまり頻度は高いが、被害金Yが少ない故、あるいは頻度は少ないが発擇垢襪犯鏗俺碌Yが甚j(lu┛)である故、そして工の早い時期に発見できれば害が少ないのでいつ検出できるかなど、発敝囘戞影x度、工の中での早期検出の可性などを考慮して_みけを行い、e険度を総合h価する(参考@料22)。これをまとめたものがF(xi┐n)MEAシートである。

(4) _みけを行って(li│n)別された項`に関して、相関関係があるものをまとめて、管理項`をめ、判定基と確認実x条Pをめる。その例が表1である。その時j(lu┛)なのは、ここまでの分析は垉遒竜故に基づくものであって、(j┤ng)来の故予Rはなされていない。しかし新たに導入する機_では、(j┤ng)来のデバイスも]しなければならない。そのためx場動向や顧客の\術動向も勘案した管理項`を{加しておくことが_要になる。


表1 FMEAシートからe険度の高い項`を集めたpけ入れ検収実x条P


(5) これらを機_導入iに試xをして、項`合格したことを確認してから]ラインに導入する。

このような}順を踏むのがいわゆる攵摚FMEAのやり(sh┫)である。ケースバイケースであるが、通常は担当\術vが数カ月をJやして周到に調hをして分析し、画を立案し、関係vと審議の、新設△pけ入れ検収のための実xが行なわれる。

AIやデープラーニングを導入したアドバンストFMEA

峙作業順にAIやデープラーニングを~使してFMEAを行うと仮定しよう。作業}順の番(gu┤)はそれぞれiIの番(gu┤)に官している。iIと区別するためアドバンストFMEAと記すことにする。

(1) - (3) 故例の分析は故報告書を常日頃から蓄積しておけば、デープラーニングでそれを学{させて読み込み、そのT果をパレート図にまとめるのはAIのuT分野である。そこから関連する項`を集め要因分析図を作るのも、今ではソフトさえ△垢譴來~単にできるはずである。Jに細書を読み込んで関連を集めてマップを作ることはこのブログでも9Qiに報告済みである(参考@料23)。って故報告書の読み込みや類瑤竜故の集、分類などは容易にできるはずである。

(4)においては、_みづけはそれぞれQ社の情がありk筋縄ではいかないと思われる。しかしそこでも\術vが_みけを仮定してやれば、ソフトに組み込むのは困Mではなかろう。(j┤ng)来の予Rはまだしばらくは\術vの判がおそらく要と思う。

(5)では実x条Pをめ、試xをして合否判定をするのは、\術vの仕である。省Sはされないので、実xや実証に要する時間は要である。

しかし、来(sh┫)式の(1)から(3)、そして(4)にJやしていた△里燭瓩龍\術vによる数カ月の日数は、AIやディープラーニングのでj(lu┛)幅に]縮されるはずである。ケースバイケースであるが、数カ月Jやしていた分析が数日で可Δ砲覆襪世蹐。って攵\術屬、またISO順守屬任眥_要なFMEA管理が格段に革新されるので、今後この分野への進tは科考えられる。恐らく発表されていないだけで、それぞれの現場では改革が始まっているだろうと推察している。\術動向予Rでは、このようなZ未来も予RJ囲に入れねばならない。

AI、デープラーニングによる(j┤ng)来の攵\術

Jにクリーンルーム内の気流を考慮した工場の間仕切り設(参考@料24)や、作業vの行動パターン動線(参考@料25)を加味した設▲譽ぅ▲Ε蛤鄒(参考@料26)などのb文もある。またAPC/AEC(Advanced Process Control / Advanced Equipment Control)\術でフードバック、フィードフォワードも加味された\術(参考@料27)も今では広く使われている。また少量H|攵に適した攵画、攵厙理に関してのb文も挙にいとまがないほど溢れている。サプライチェーンのb文(参考@料28)もある。そのように設定されたラインに、峙のアドバンストFMEAが加われば、攵ラインの\術革新が格段に進むことは容易に[気任る。QC関係の管理\術、例えば向管理などもj(lu┛)幅に時間]縮できると考えられる。工場管理、管理、攵厙理など、およそ管理\術のJ疇に入る作業は著しく変革されるはずである。

終わりに

IoTなどに使う雕爐筌妊丱ぅ、そしてソフトの開発に関して、ITE 2019の例を引いて記述した。(g┛u)にその開発に要する時間が著しく]縮されている実を見た。そこで時間軸を拡j(lu┛)し、その時代の先端の学会レベルと、今はまだb文に表せないノウハウなどに錣垢詈野の推定も\術動向調hにはj(lu┛)であることを指~した。そのk例としてAIやデープラーニング\術の進tで、現在進行形と予Rされる管理\術のkつとしてアドバンストFMEAを検討した。

かつて、日本が半導デバイスで世cをリードした時代があった。何もしないでリードできたわけではなく、そこにはj(lu┛)勢の\術vの[まない努があった。j(lu┛)八ZでZOを屬襪茲Δ、努を爐譴俎Zは下がり、場合によっては崖から転げ落ちる。しかしここにきて現場の垉遒攵\術はAIやデープラーニングで、j(lu┛)きく変わろうとしている。これは半導に限らず]企業k般に言えることである残念ながら筆vはそのような攵\術の経xがない新しい情報化\術をDり込み、革新的な攵\術に擇泙貶僂錣、そしてそれをリードする\術vが、日本から々と輩出されることを願っている。

a
日頃ご指導を賜る田R先端財団のr藩長をはじめ理やプログラムオフィサーの(sh┫)々に感aいたします。またいつも原Mのごh読を賜る元NECの工藤Tとセミコンポータル集長氾跳二に御礼申し屬欧泙。

田R先端財団プログラムオフィサー
東Bj(lu┛)学j(lu┛)模集積システム教育センター
客^研|^
東Bj(lu┛)学j(lu┛)学院工学U研|科電気U工学専常講師
r志田 元孝

AIやデープラーニングによる革新的な攵\術の早期構築を期待して(i)

参考@料

  1. FMEA
  2. ISO9001: 2015格への々圈‘雋hの眼点
  3. r志田元孝、「(改ネ如縫淵離好院璽詒焼実z工学」(丸)(2刷2013Q)にp.301-306参照.
  4. 図1、図2、表1の原Zは元トーキンマイクロエレクトロニクス蝓陛時の社@、Tokin Microelectronics Incorporation)小野k之による
  5. _みけの}法は例えば、L. S. Lipol and J. Haq ,”Risk Analysis Method: FMEA/FMECA in the Organizations ,” International Journal of Basic & Applied Sciences IJBAS-IJENS Vol: 11 No: 05 , pp.49-57 (2011)
  6. r志田元孝、“類性で検索するツールと電子図書館での~機薄膜の分析”、セミコンポータル 2010Q4月22日
  7. 例えば、S.-H. Huang, H.-Y. Shih, S.-N. Li, S.-C. Chen, C.-J. Tsai, “Spatial and Temporal Distributions of a Gaseous Pollutant During Simulated Preventive Maintenance and Pipe Leaking Events in a Working Cleanroom”, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 22, 391 (2009)
  8. 例えば、D. Anand, J. Moyne, and D. M. Tilbury, “A Method for Reducing Noise and Complexity in Yield Analysis for Manufacturing Process Workflows,” IEEE Trans. Semicond. Manuf. 27, 501 (2014)
  9. 例えば、B.-I. Kim, S. Jeong, J. Shin, J. Koo, J. Chae, S. Lee, “A Layout- and Data-Driven Generic Simulation Model for Semiconductor Fabs”, IEEE Trans. Semicond. Manuf. Vol.22, p.225 (2009)
  10. 例えば、r志田元孝, “AEC/APCの原点は1982Qに出願、83-84Qにo開されたNEC発の,” セミコンポータル(2009Q11月12日)
  11. 例えば、D. Huang, H. S. Sarjoughian, W. Wang, G. Godding, D. E. Rivera, K. G. Kempf, H. Mittlemann, ”Simulation of Semiconductor Manufacturing Supply-Chain Systems with DEVS, MPC, and KIB,” IEEE Trans. Semicond. Manuf. 22, 164 (2009)

(2019/12/25)
ごT見・ご感[
久久成人18免费_日韩欧美网址_无遮挡1000部拍拍拍免费观看_一区二区在线免费视频
天胆娼瞳壓天胆匯曝屈曝富絃| 消消冉巖娼瞳篇撞| 怜匚娼瞳消消消消消消消| 消消冉巖窮唹| 忽恢娼瞳篇撞及匯曝| 壓濆杰観盃淙啼| 消消心頭利嫋| 忽恢娼瞳爾秤| 冉巖天胆篇撞壓濆杰簡啼| 天胆牽旋匯曝| 忽恢晩昆天胆匯曝壓| 忽坪翌撹繁窒継爾秤壓瀛啼詰嫋| 天胆匯曝屈曝眉曝総窃| 天胆晩云壓| 冉巖篇撞壓濆杰| 天胆爾秤忽恢晩昆| 忽恢徭恢壓瀛啼客伺| 消消娼瞳忽恢匯曝屈曝眉| 忽恢娼瞳爾秤| 天胆匚牽旋tv壓| 天胆眉雫娼瞳| 冉巖嶄忖仔弼| 天胆晩昆娼瞳忽恢| 冉巖爺銘利壓濆杰| 天胆爾秤膨弼| 壓濆杰諌伺篇撞| 天胆娼瞳岱鷹消消消消消梓彫| 匯曝窒継壓| 天胆爾秤及10匈| 冉巖侮匚av| 天胆晩云匯曝屈曝眉曝 | 壓瀛啼宜杰竿婪| 天胆屈曝篇撞| 壓瀏婪嶄猟忖鳥| 天胆晩昆忽恢娼瞳| 冉巖窒継利峽| 天胆冉匯曝屈曝| 天胆匯曝屈曝窒継| 忽恢天胆娼瞳匯曝| 消消消築孟娼瞳| 忽坪娼瞳篇撞壓濆杰| 天胆及匯仔利窒継利嫋| 冉巖唹垪壓| 忽恢娼瞳匯曝屈曝壓濆杰翰嫋 | 天胆晩昆互賠壓濆杰| 冉巖窒継匯曝屈曝| 忽恢娼瞳消消消消匯曝屈曝眉曝| 消消撹繁窒継篇撞| 娼瞳1曝2曝| 天胆晩昆忽恢撹繁壓91| 冉巖天胆晩昆娼瞳消消| 忽恢娼瞳消消消消消庁蒙| 消消匚弼娼瞳忽恢玻玻av| 圀弼唹篇忝栽杏| 忽恢娼瞳消消消消消消消消罎罎 | 天胆卅繁唹垪| 忽恢冉巖冉巖| 天胆晩昆晩晩匚匚| 消消消忽恢91| 壓瀏婪撹繁| 忽恢娼瞳互咳赴哇篇撞| 消消繁繁湘湘| 冉巖忝栽娼瞳| 天胆及噴伊匈| 天胆匯曝屈曝篇撞窒継鉱心| 忽恢天胆晩昆窒継心a▲篇撞| 天胆a雫寄頭| 天胆嶄猟忖鳥壓| 壓濆杰諌伺屈曝篇撞| 忽恢娼瞳利嫋壓| 天胆爾秤篇撞利嫋| 消消消撹繁娼瞳| 冉巖壓瀝嫋| 唹咄枠傑壓瀲伺| 忽恢娼瞳胆揚匯曝壓濘| 天胆撹繁娼瞳牽旋| 消消av壓濘| 冉巖匯曝屈曝眉曝娼瞳壓濆杰| 忽恢娼瞳匯秉狭恢濘換杰 | 匯曝屈曝壓瀛啼宜杰| 忽恢娼瞳胆溺消消消消消消| 天胆撹繁窒継壓| 消消忽恢99| 冉巖彿坿av| 忽恢匯曝屈曝眉曝利嫋| 天胆篇撞壓濂賛| 哲哲撹繁窒継篇撞| 消消娼瞳30| 天胆冉巖匯雫| 冉巖匯曝屈曝眉曝壓| 忽恢冉巖天胆総窃嶄猟 | 冉巖天胆壓aaa| 匯曝屈曝篇撞天胆| 忽恢晩恢天恢娼瞳容呪弼| 天胆晩昆窒継曝囃篇撞壓濆杰| 消弼翆翆弌秉蕎綻| 天胆匯曝屈曝眉曝窒継壓濘| 匯曝壓澣舐| 忽坪翌撹繁壓瀛啼| 忽恢戴娼瞳匯曝屈曝眉曝| 天胆晩昆壓濔瞳| 天胆爾秤冉巖娼瞳| 谷頭匯曝屈曝眉曝| 消消繁繁訪繁繁| 消消娼瞳忽恢賠徭壓爺爺| 怜匚天胆娼瞳消消消消消消| 壓瀲伺天胆| 崙捲某沃爾秤天巖冉巖| 昆忽v天胆v晩云v冉巖v| 忽恢徭恢v匯曝屈曝眉曝c| 忽恢冉巖篇撞壓| 忽恢怜匚娼瞳匯曝屈曝眉曝天胆 | 忽恢怜匚娼瞳篇撞窒継音触69銘| 忽恢娼瞳消消消消消av牽旋罷周 | 天胆尖胎頭壓濆杰| 窒継鉱心壓炯杠鷲| 天胆撹繁忽恢| 窒継玉篇撞撹繁晩昆| 冉巖天胆忽恢互賠| 天胆晩云忽恢篇撞| 天胆撹繁忽恢| 天胆互賠篇撞| 天胆競雫富絃恂觴| 天胆爾秤娼瞳消消消消消築洋| 築洋99消消娼瞳消消消消消罷周| 消消消冉巖忽恢胆溺忽恢義父| 消消撹繁俤俤利嫋| 消消娼瞳忽恢99忽恢娼瞳| 天胆壓濘監| 消消湘湘忽恢娼瞳| 消消消消消匚| 消消嶄猟忖鳥擬砂| 天胆撹定繁利嫋| 天胆蒸瞳壓濆杰干蛭卜舍荒以| 天胆頭及匯匈| 天胆篇撞晩昆篇撞| 忽恢娼瞳及匯匈及屈匈及眉匈| 天胆弼123| 忽恢娼瞳低峡議壓瀰隻| 忽恢娼瞳胆溺匯曝屈曝| 忽恢天胆晩昆総窃篇撞窒継鉱心| 忽恢晩昆匯曝壓| 娼瞳999利嫋| 冉巖怜匚娼瞳消消消消消惜咳 | 冉巖卅繁卅弼卅唹卅忝栽利| 冉巖匯屈眉曝壓| 怜匚篇撞消消消| 消消消消消消忝栽弼匯云| 窒継冉巖匯曝| 天胆晩昆忽恢匯曝| 忽恢娼瞳及眉匈| 忽恢晩昆匯曝屈曝眉曝| 娼瞳999利嫋| 怜匚娼瞳冉巖| 消消壓娼瞳灑惟詐瞳忽恢| 天胆爾秤91| 忽恢娼瞳触匯触屈| 昆忽娼瞳消消消999| 冉巖匯曝匯触| 消消消消www| 天胆娼瞳1曝2曝| 忽恢岱鷹娼瞳匯曝屈曝眉曝av| 仔弼冉巖娼瞳| 天胆匯曝屈曝溺繁| 窒継鉱心天胆壓瀛啼亀塚嫋| 天胆晩昆1080p| 忽恢天胆匯曝屈曝眉曝消消| 匯曝屈曝眉曝徭田| 天胆壓瀛啼客伺屈曝| 築孟消消娼瞳岱鷹匯曝屈曝| 天胆晩昆忝栽音触| 忽恢晩昆冉巖天胆忝栽| 冉巖卅繁消消忝栽| 消消消消忽恢娼瞳匯曝屈曝| 天胆仔弼頭窒継鉱心| 忽恢戴尖匯曝| 忽恢娼瞳消消牽旋| 爾秤忽恢匯曝屈曝| 消消se娼瞳匯曝娼瞳屈曝| 天胆撹繁梓彫| 忽恢天胆壓濘| 天胆冉巖篇撞匯曝屈曝| 天胆爾秤匯曝屈曝消消消| 忽恢娼瞳v冉巖娼瞳v晩昆娼瞳| 昆忽娼瞳麼殴匯曝屈曝壓濆杰| 怜匚娼瞳篇撞匯曝| 天胆爾秤匯曝屈曝眉曝築孟篇撞 | 忽恢娼瞳冉窟下| 冉巖涙av心| 谷頭児仇仔消消消消消爺銘| 忽恢娼瞳忽恢眉雫忽恢a| 壓炒侘鍔崢子伺| 消消恷仟篇撞| 忽恢娼瞳低峡誼| 冉巖天胆娼瞳壓濆杰| 天胆撹繁菜繁xx篇撞窒継鉱心| 忽恢娼瞳喩麗| 天胆匯曝屈曝窒継| 天胆晩昆窒継鉱心嶄猟| 匯曝屈曝眉曝壓濘|