日の丸半導材料噞の空化・弱化が懸念される舘f輸出管理(d┛ng)化
去る8月20日に東Bで開(h┐o)されたセミコンダクタポータル主(h┐o)「世c半導x場、2019Q後半からの1Qを氾辻集長と議bしよう」に出席した。(sh━)中易戦争の化、中国国内経済のK化、英国のEU`脱による欧Δ虜乱に加えて、日本Bのf国向け半導材料管理厳格化に端を発した日fR(sh┴)争により世c半導噞の予RがますますMしくなってきた。さらにはf国をいわゆるホワイト国(グループA)から除外するW倍権の措でに(t┤ng)をRぎ、日f関係はますます混迷の度合いを深めている。
当、氾辻集長は、日f易Co(h┫)についても_要テーマとしてDり屬臆饐譴ら問やコメントを求めたが、筆v以外誰も発言しなかった。7月以来2ヵ月に渡りf国向け売り屬欧立たず実害を被っているのはj(lu┛)阪の複数の中小フッ化水素メーカーだけのようなので、ほとんどの材料メーカーの参加vには当C影xがなく、デバイスメーカーからの参加vにとっては他人(あるいは思わぬチャンス到来?)だったのかもしれない。しかし、筆vは、7月1日の舘f輸出管理の厳格化の発表の直後から、「日本の材料・噞の空化さらには弱化・衰化が懸念される」とe(cu┛)惧の念をQいている(参考@料1)。
以下に、f国半導業cおよび日本半導材料業cへの影xについて当日会場で説した調hT果のアップデート版(9月1日現在)を掲載し、読vo(hu━)の参考に供したいと思う。
管理(d┛ng)化はポリイミド、フッ化水素、レジスト般ではなかった
経済噞省は、7月1日に「j(lu┛)fc国向け輸出管理の運の見直しについて」という文書を突発表し、「フッ化ポリイミド、フッ化水素、レジストの輸出管理を厳格化する」ことにした。これだけ読めば、3|類の材料はすべて管理厳格化の(j┫)と思う(sh┫)がほとんどだろうが。しかし、(c┬)去に何度も改、気譴討い觀从兢噞省令(tに貨馘省令と}ばれる書類)をtに検索すると次のようなものだけが該当することがわかる;
●フッ素の含~量が_量の10%以屬離侫嘆愁櫂螢ぅ潺
●フッ化水素の含~量が_量の30%以峇泙泙譴
●レジストであって、次のいずれかに該当するもの又はそれを塗布した基
・15nm以193nm未満のS長の光で使することができるように設したポジ型レジスト
・1nm以 15nm未満のS長の光で使することができるように設したレジスト
・電子ビーム又はイオンビームで使するために設したレジストであって、0.01マイクロクーロン/平(sh┫)ミリメートル以下の感度を~するもの
・45nm以下の線幅をWくことができるインプリントリソグラフィに使するように設又は最適化したレジストであって、X可塑性又は光硬化性のもの
f国半導]ラインのn働停Vはvcの見込み
これらの輸出管理(d┛ng)化で輸出が]ることでf国半導メーカーにどの度影xがあるのだろうか。まず、フッ化ポリイミドだが、半導]には使われていないので問は擇犬覆ぁディスプレイ]への影xについて興味のある(sh┫)は参考@料2を参照いただきたい。EUVレジストは、Samsungが7nmロジックデバイス]/ファウンドリビジネスに少量使し始めているが、同社は、JSRとベルギーimecが共同出@しているEUVレジストメーカーEUV Resist Manufacturing & Qualification Center N.V.(ベルギー)からP(gu─n)入するので、日本の輸出管理(d┛ng)化をかわすことができる。しかも、経愱は、すでに日本レジストに関しても輸出可を出し始めているので、レジストに関しても今後f国での半導]に影xを与えない。
最j(lu┛)の問となるのは、フッ化水素含~量30%をえる(フッ化水素の水溶]であるフッ化水素┐簗疑絅侫嘆戎總妊ス。以下易統分類にい「フッ化水素」と表記)で、f国笋ら見れば日本Bによる禁輸も同だった。しかし、8月30日に、f国のマスコミは、f国B通商@源陝米本の経愱に相当)関係vからの情報として「ステラケミファからSamsung向けのフッ化水素の輸出を日本Bが可した」と報じた。中央日報は「今v、日本がフッ化水素の輸出をR認したのは(日本Bの)k|の『広報戦』と解(ji─n)される。f国半導業cが日本フッ化水素の代案を模索することにより売嶷(f┫)の脅威を感じた日本企業が(早な)輸出認可を求めた点も作した」と分析している。
ステラケミファは「7月4日以Tの申佇の可はまだ1Pも出ておらず、的に出荷量は落ちている」(朝日新聞8月30日朝刊)とBしていたばかりだから、 今vのf国発のニュースは、同社にとっても寝耳に水の情報だったようだ。これでSamsungの半導]ラインn働停Vは当Cvcされる可性が高まったと言えよう。通商@源陲蓮日本Bの舘f輸出管理(d┛ng)化がf国半導業cの]ラインn働にЬ磴鰺燭┐慎例は9月1日時点で報告をpけていないという。だからといって、舘f輸出管理厳格化やf国のホワイト国除外が中Vされたわけではないので、こじれてしまった日f関係がT復するきっかけにはなりそうにはない。
f国内でフッ化水素\や新参入、Samsungは中国採を検討
ところで、f国易協会の調べによると、フッ化水素のうち、日本からの調達分は4割度にすぎない。森田化学によると、f国向けの高純度フッ化水素の日本企業のシェアは6割で、4割は日本以外(中国、湾など)から輸出されている。f国には森田化学とステラケミファの現地@工場(f国@本との合弁業)があるほか、ソルブレイン(Soulbrain)というj(lu┛)}フッ化水素メーカーもT在する(図1)。3h人をえる業^をQえ、フッ化水素だけではなく700|もの半導・ハイテク材料を?y┐n)]する化学メーカーだが、日本ではほとんど(m┬ng)られていない。同社は、現在、フッ化水素]プラント(2工場)\設の突椑を行っているが、f国半導メーカーからのな\?f┫)个砲呂垢阿砲榔えられてはいない?/p>
図1 高純度フッ化水素を?y┐n)]しているf国Soulbrain 社の化学工場:いままで日本に依Tしていた高純度フッ化水素ガスの供給も9月から可Δ砲覆襪箸いΑ 出Z:Soulbrain社ウェブサイト
このため、f国半導メーカーは、(r┫n)日本(f国、中国、日本企業のL(zh┌ng)外@工場などの)やフッ化水素をh価中と伝えられているが、今vの日本Bが輸出可したフッ化水素の数量は不で、Samsungは日本だけでえるのか、それとも(r┫n)日本に乗り換えるのか、それともP(gu─n)入先をH様化させるのか否かは本M執筆時点ではらかではないが、以下に述べるように、リスク管理屐日本への(c┬)度の依Tはやめる(sh┫)向だろう(なお、フッ化水素に関するf国情勢の詳細は参考@料3参照)。
f国と中国は半導材料の国僝をぐ
f国Bは、8月28日、今後3Q間で4400億以屬旅驗Jを投じて素材・・]の国僝を進める(sh┫)針を発表した。SK Hynixの親会社であるSK Holdingsは、傘下のSK MaterialsでQ内にもフッ化水素ガスを国僝する。f国に里泙蕕此半導工場を保~する国や地域では、材料やのサプライチェーンの見直しやL(zh┌ng)外企業の誘致を含め、O国内で調達する機運が高まるだろう。とりわけ、中国は「]2025」 の貉櫃凡pって、半導デバイスだけではなく、材料もも国僝をぐだろう。
k(sh┫)、日本勢はこのままでは国際争が低下してしまう。そこで、森田化学は、Q内に中国浙江省の日中合弁企業で、設投@J100億を折半出@し、高純度フッ化水素の攵を始めることをめている。(ji┐n)要に応じて中国から日本を経y(t┓ng)せずf国へも輸出するという。東B応化工業もすでにf国にレジスト]工場をeっているが、f国内でのレジスト\U(ku┛)を敷きEUVレジストもf国で]開始する(sh┫)向で検討中という。j(lu┛)}の住友化学は、f国および中国で合弁業をt開し、さまざまな高純度薬や機性化学を現地攵しているが、さらにH様な材料の]ヾ匹眇覆瓩襪海箸砲覆蹐Α昭和電工も中国の子会社での高純度フッ化水素ガス]を(d┛ng)化する。
e(cu┛)惧される日本国内]業の空化、弱化
f国勢は代をL(zh┌ng)外あるいはf国内で調達できれば、「もはや日本企業にはない」ということになる。森田化学の森田社長は「日本企業のシェアが下がりかねない」とe(cu┛)機感を表している(日本経済新聞8月9日)。SUMCOの橋本会長もf国に瓦垢詬⊇U(ku┛)について「何kつプラスなことはない」とBloomberg(8月6日)のインタビューで語っている。
Oc党外交隹颪任蓮∈cQ初め「フッ化水素を禁輸してf国半導噞をぶっHせ」というN国顔負けの(c┬)な提案が議bされていたが(「Oc党」「フッ化水素」で検索すれば驚くべき実が浮き彫りにされよう)、思惑は完に外れてしまって、T局はf国半導噞にダメージをあたえられなかったばかりか、アジアのW?zh┳n)歉磴鱚e(cu┛)うくするほどの最Kの日f関係をもたらし、中露や?z─i)zを喜ばせ、さらに長期的には日本の半導・材料噞の弱化をdきかねないをもたらしている。
日f関係が戦後最KのX(ju└)況にあるというのに、世耕弘成経済噞相は8月27日「(日、f国をホワイト国から除外することで)日f関係に影xを与えることはT識していない」と平と語っている。こんな感覚では、日f関係は(g┛u)にK化するばかりで、経愱の}には負えないところへ来てしまっている。
経済学v(傐IIj(lu┛)学@誉教b)の金子M(hu━)は、8月29日に「舘f輸出U(ku┛)は、歴史問の争に易を巻き込んだ『愚策』」とするhbを寄Mし、「経愱は何があっても日本企業のW(w┌ng)益を守らなければならなかったのに、それを突、「歴史問」の争に巻き込み、逆に日本企業のW(w┌ng)益をなうe(cu┛)険性を引きこした。このままでは日本の噞は滅びていくしかない」とTbけている(参考@料4)。今vの「愚策」によって、日本材料・サプライヤのf国や中国への]ヾ匹砲茲詁本国内]業の空化、さらには弱化・衰化することが懸念される。「f国や中国がやれるわけない」などと思っていると、半導、ディスプレイに次いで、半導・材料までもいつか来たOを歩むことになるかもしれない。
参考@料
1. K(d─n):Huaweiへの禁輸解除や{加関税先送りの陰に半導業cの圧の最終I「経愱、通商策に半導材料をW(w┌ng)、日f関係さらにK化へ」、セミコンポータル (2019/07/02)
2. K(d─n):日本からf国への輸出管理(d┛ng)化はディスプレイ雕珈x場にどう影xするのか?、マイナビニュース、 (2019/08/09)
3. K(d─n):舘f輸出U(ku┛)(d┛ng)化開始から2か月、日本の半導関連企業への影xは?(1) 7月の易統でらかになったフッ化水素の舘f輸出のX(ju└)況、マイナビニュース (2019/08/30)
4. 金子M:舘f輸出U(ku┛)は、歴史問の争に易を巻き込んだ「愚策」だ、ダイヤモンドオンライン (2019/08/29)