図1　imecで半導��微細化を陣頭指ｧしていたAn Steegen��　常に�O信満々でimecの微細化ロードマップを語っていた　出�Z：imec（参考�@料2）

筆�vは、imecが主��する半導����クリーン化・��浄�\術に関する国際会議(14th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces; UCPSS2018)にプログラム委�^の�k人として参加するため、imecの本拠地であるベルギー国ルーベン�xを今�Q9月初旬に訪れたが（参考�@料1）、そこで会ったimec研�|�vたちは、Steegen��の突��の��任�Bでもちきりだった。数日�iに社内でうわさになったばかりだという。同��を�瑤襪垢戮討凌諭垢砲箸辰董�彼��が��職するなんてとても信じられない。

Steegen��は、imecが世�c�Q地で毎�Q開��するimec Technology Forum（ITF）や半導��デバイスの国際会議の基調講演などで、半導��微細化の研�|戦�Sを�O信満々で講演して、imecの研�|開発��のすごさを見せつけてきた人�颪任△襦�最�Zは、1.5nmに至る半導��微細化のロードマップを��して講演することが�B��になっていた（図2）（参考�@料2）。�|極の1.5nm時代は202x�Qには到達するという。Steegen��は、今�Q11月に東�Bで開��されるimecのイベントでも微細化戦�Sを講演する旨すでに発表されていたことからもわかるように突��の��職である。

図2　imecの高性�Ε灰鵐團紂璽拭竺�発のロードマップ　図��下の2026�Qの先に1.5nmという表��が読み�Dれる　出�Z：imec, 2018�Q5月（参考�@料2）

��任の理�yは��らかではないが、「微細化の行きつく先が見えてしまったので人�收濕�としては次の新たなステップを���Iしたのではないか」という見�気��~��である。というのも、転職先が、微細化とは関連のないマイニング企業だからである。もしかしたらimec経営陣間で微細化研�|に関して何らかの�T見の�肝�があったのかもしれないが、imecの�k般研�|�vには雲の�屬里海箸呂錣�らないという。
　
彼��は10月1日��けでUmicoreのCTOに��任した。Umicoreは、ベルギー国の��都ブリュッセルを本拠とする世�c��模の�Q金�錙Ε譽▲瓮織襪覆���鉄金�錣了@錬・加工・リサイクル��業を行うメーカーで、日本にも茨城と兵�Uに工場がある。これとは別に日本触��ともユミコア日本触��（株）を設立し合弁��業を行っている。

アプリの研�|�p�mは�\加の�k��だが、半導��微細化スポンサは数社のみ

imecは、伝統的に半導��やシステム�\術（コアCMOS�\術、センサ�\術、フレキシブル�\術）が�咾�った。しかし、フランダース地�杵��Bの要�个如▲妊献織覿\術やその応��に�咾っ聾気慮��|機関iMindsを吸収合��して以来、IoT中心のアプリケーションドメイン(スマートヘルス、スマートモビリティ、スマートシティ、スマートインダストリ、スマートエネルギー)の研�|へ�_点を�，靴討い襦�この分野の顧客は、数��社に及び、ますます�\える�妓�である。世�c�Q地のITFへの参加�vもすべての�噞分野におよび���\している。

ところで、imecの2017�Qの��業収入は5.46億ユーロで、2016�Qの4.97億ユーロから1割ほどの�\収で、業績は1984�Qの創業以来毎�Q順調に�Pびており、経営に不�Wはない。このうち、2割が���Bからの���\金で、あとの8割は、�O�\努��による研�|�p�m収入である。
imecの予�Qのうち半導��プロセス・デバイス開発向けの投�@�Yは、「����の60〜65%も��めている」（imec CEOのLuc Van den hove��）という。しかし、微細化研�|に�@金を出してくれる半導��メーカーは��る�k�気如△錣困�数社である。最�Zは拡販努��で、先進半導��メーカー以外の中国Huawei のようなユーザーやQualcommのようなファブレスからも研�|�@金を�uているという。しかし、最�Z、Globalfoundries (GF) が7nm以下の微細化戦線から�`脱してしまい、imecにとっては痛�}になるだろう。

imecは、今後、さらに半導��・デジタル�\術のアプリケーションに�R��する�妓�だが、そのなかでますます金食い虫で、パートナー（金づる）が��る�k�気糧�細化研�|をどのように進めるか課��は残る。

学会��動にも影落とすGFの�疑吠���

先に述べたUCPSS2018では、GFから3�Pの発表が行われるはずであったが、すべて無��キャンセルとなった。8月��に、同社は微細化を14/12nmまでにとどめ、それより先の研�|や���]は無期��期(��実�崔聆V)すると発表し、すでに先端研�|開発�靆腓鯤頂燭掘‰H数の社�^を解雇した模様で、その影�xがUCPSSのような学会��動にも出た形となった。

GFは、かつては、IBM研�|開発センターの�\術�мqで7nm以�Tは先端グループ (TSMCやSamsung)と肩を並べようと10nmをスキップして、IBMの協��も�uて7nmプロセス開発に�Dり組んできた。

EUVリソグラフィの�攵殾入も���△靴討い燭茲Δ世�、7nm以�Tの微細化���]�\術の実��化のメドが立たず、元の親会社AMDがTSMCに���]委�mすることを��めてしまったため、���]に地盤低下してしまったようである。世�c的に微細化研�|を�M��できるプレーヤーがますます��ってしまい、GFを�\術�мqすると共に�@金�q�\を�pけて先端研�|を行っているIBMの今後にも影を落とすだろう。ニューヨーク�Δ砲△�GFの�Zくのホテルでは、半導��メーカーのリクルート担当�vたちが、連日、元GF 先端研�|開発担当�vの採���C接の場を設定し�r況だという。先端微細化研�|�vも人�攫�画の見直しが求められる時代になってきたようだ。

参考�@料
1. �K����「UCPSS2018レポート」、マイナビニュース (2018/09/19)
2. �K����「3nm未満のプロセスをどう実現するのか? imecが語った研�|戦�S」、マイナビニュース (2018/06/12)