MEMSとCMOSの突圭的俠を弛しめた排灰奶慨攫鼠池柴シンポジウム
20鉗ぶり、30鉗ぶりだろうか、排灰攫鼠奶慨池柴で怪遍するのは。絡池を麓度してメ〖カ〖に掐り、まだ染瞥攣のエンジニアだった孩、頌長蘋絡池で倡かれたこの池柴、碰箕は帰攫鼠帲がなく排灰奶慨池柴と疚していた箕に光件僑MOSトランジスタのノイズの啼瑪を券山した。海攙糠熾絡池で倡かれたこの池柴で、≈More than Mooreを悸附するMEMS突圭LSI禱窖∽と瑪したシンポジウムでお廈しさせていただいた。
諱が乖ったのは、≈More than Mooreを謄回したビジネス鷗倡∽と瑪して呵奪の染瞥攣ビジネスの絡きなトレンドと、そのトレンドの布でのMEMSの坤腸弄なトレンドについてである。セミコンポ〖タル柴鎊の數」はすでに、≈これからのMEMSデバイスは慨規借妄ICと腑いアルゴリズムが燒裁擦猛をもたらす∽、≈MEMSモ〖ションセンサ〖を網脫、12改のコマンドをプログラムできるASIC∽などでMEMSを蝗った糠しい炳脫について疽拆した。
このシンポジウムでは、MEMSとCMOSとの突圭、あるいは礁姥步がテ〖マであり、箋い池莢がMEMSについて錢看に吉を飯けておられるのに考く炊堂を減けた。MEMSとCMOSとの般いや灤惟を的俠することで糠しいアナロジ〖や糠しい渾爬が欄まれてくる。毋えば、このシンポジウムをオ〖ガナイズされた澎疊供度絡池の弊辦喝兜鑒は、MEMSは腮井な怠常であり、怠常供池から欄まれ、概諾蝸池弄であり、艱り胺う沸貉緩度臼の面でも緩度怠常草である辦數、CMOSは排灰供池から欄まれ、翁灰蝸池弄な染瞥攣であり、沸緩臼は攫鼠奶慨怠達草であるとした。
怠常弄と排灰弄を突圭するわけだから、辦斤になりにくい禱窖の突圭ということになる。ただし、鼎奶しているのはシリコンを蝗った裁供禱窖という爬である。シリコンを排灰が萎れる染瞥攣としてではなく、付灰が鼎銅馮圭している帽馮窘亨瘟をエッチングやデポジション、リソグラフィなどの裁供を奶して怠常弄な妨覺を侯り叫す。亨瘟がシリコンであり、裁供禱窖がシリコンプロセスである。ここが染瞥攣禱窖と突圭する付爬となる。
1980鉗洛面孩、諱が泣沸エレクトロニクスの淡莢箕洛に、シリコン暗蝸センサ〖に簇する10ペ〖ジ鎳刨の豺棱淡禍を艱亨ˇ脊僧した。怠常紛盧達メ〖カ〖の數は、これまで蝗っていた垛擄亨瘟の夏ゲ〖ジと孺べてシリコンは怠常弄に動い、とおっしゃっていた。垛擄亨瘟だと部刨も擂り妒げを帆り手すと垛擄辱汐を彈こし、呵姜弄にはポロっと磊れてしまうが、シリコンは部刨妒げてもびくともしない、炬勺だなあと炊看しておられた。だからシリコンの夏ゲ〖ジに侖えるのだそうだ。
シリコンが怠常弄に動い亨瘟だなんて、染瞥攣エンジニアは夢らない。垛擄の怠常嬸墑は票じように澆鉗笆懼蝗っていると澀ず垛擄辱汐で昔步する。極瓢賈エンジニアに艱亨したときは垛擄の怠常嬸墑をできるだけシリコンに彌き垂えたい、とおっしゃっていた。だから海、カ〖エレクトロニクスへと羹かっているのである。ハンドル拎侯でさえ、ステアリングˇバイˇワイヤ〖という、芹俐とモ〖タ〖、染瞥攣で極瓢賈の數羹を極哼に拎侯できる擴告禱窖がすでにある。
シリコンの怠常弄に動い潑拉と、排灰の萎れをオン/オフできる染瞥攣の拉劑を辦斤に網脫するのがMEMSとCMOSとの突圭だ。裁供禱窖とシリコン亨瘟という鼎奶爬はあるものの、もう警し拒嘿にみると般いは絡きい。CMOSは海や65nmあるいは45nmという睛墑がある辦數で、MEMSは1μm∈1000nm∷鎳刨を裁供する。リソグラフィ、エッチング禱窖はあまりにも般いは絡きい。殊偽まり紊くMEMSセンサ〖とCMOS慨規借妄攙烯を票箕に侯ることは豈しい。
攙烯俐升が0.35μm鎳刨までなら1チップに礁姥する罷蹋はあるだろうが、45nmCMOSだと侍チップで侯りSiPパッケ〖ジに掐れる、というのが撅急弄な雇えだ。45nmCMOSとMEMSセンサ〖を痰妄に1チップに礁姥することの擦猛がどれほどあろうか。もちろんはっきりとした擦猛があるのであれば痰妄にでも礁姥步すべきだろう。むしろ、海やアップル家のiPhone 3GSや扦歐撇のWiiに蝗われるMEMS裁廬刨センサ〖のヒット睛墑の擦猛を雇えると、MEMSからのセンサ〖慨規をどう胺うか、どういうアルゴリズムで弛しさを山附するか、に絡きな擦猛があるのではないか。だからMEMSと慨規借妄アルゴリズムとは磊り違せない。諱の怪遍の馮俠はこれである。
