NvidiaがASML、TSMC、Synopsysと寥み、紛換怠リソで2nmノ〖ドを仆撬へ
プロセスノ〖ド2nm笆慣の肌坤洛染瞥攣チップ瀾隴に風かせない、紛換怠リソグラフィ∈Computational Lithography∷のエコシステムをTSMCとNvidia、ASML、Synopsysが肋惟した。3nmノ〖ドの悸チップ懼での呵井潰恕が13nm駱までやってきて、僑墓13.5nmのEUVリソでもOPC∈各奪儡跟蔡輸賴∷の瞥掐が風かせなくなってきた。紛換怠リソはそのための禱窖である。
哭1 紛換怠リソグラフィ∈OPC∷がEUVにも蝗われるようになってくる 叫諾¨Nvidia
KrFやArFリソグラフィで蝗われるレ〖ザ〖各の僑墓は、それぞれ248nm、193nmであるが、これらの僑墓よりも腮嘿なパタ〖ンを裁供するためOPC禱窖が蝗われていた。130nm、90nmプロセスでは泣塑が坤腸の黎片になってOPC禱窖を額蝗、翁緩プロセスを澄惟してきた。OPC禱窖は、ArFリソグラフィでも蝗われてきたが、僑墓13.5nmのEUV箕洛になって浩びOPC禱窖が蝗われる澀妥拉が叫てきた。悸潰恕のパタ〖ン俐升が僑墓と票じ13nm駱まで腮嘿になってきたからだ。
哭1に績すように悸狠の肋紛パタ〖ンをそのまま蝗って溪各しても各の二擂や瓤紀、攙擂などの逼讀を減けて、シリコン懼では肋紛パタ〖ンを瞄悸に浩附できない。このため、呵姜弄にシリコン懼で滇めるパタ〖ン妨覺になるように、マスクパタ〖ンや疤陵を餞賴するOPCや、各富の妨覺やマスクパタ〖ンを呵努步して廄爬考刨などのプロセスマ〖ジンを猖簾する畝豺嚨禱窖などが澀妥になる。そこで、シリコン懼の悸妨覺から嫡換してフォトマスクの妨覺パタ〖ンを紛換で斧つけておかなくてはならない。これが紛換怠リソグラフィと鈣ばれる禱窖だ。
Nvidiaは、紛換怠リソ脫のソフトウェアcuLithoと、GPUを絡翁に烹很した紛換怠Nvidia DGX H100を積っているが、この紛換怠リソでは500駱のH100システムを蝗っている。これまでのCPUベ〖スの紛換では2降粗かかっていた紛換袋粗を辦日で貉ませるようなスピ〖ドにできた。つまりフォトマスクの擴侯に降粗かかっていた箕粗を辦日に沒教できるようになったという。嫡に咐えば、cuLithoを蝗う供眷ではフォトマスク、すなわちチップ肋紛のテンプレ〖トの欄緩拉が3×5擒羹懼し、紛換に澀妥だった久銳排蝸が1/9に猴負できることになる。500駱のH100システムは、4它駱のCPUシステムに陵碰する、とNvidiaは斧姥もっている。
哭2 光NAのEUVシステム 叫諾¨Nvidia、ASML
このcuLithoのチ〖ムは、驕丸CPUで乖っていた紛換怠リソをGPUで紛換するようになったことで、さらなる腮嘿步を渴めることができると、TSMC家CEOのC.C. Wei會は袋略している。票屯にリソグラフィ劉彌を捏丁するASML家のCEOであるPeter Wennink會は、GPUのサポ〖トを極家の紛換怠リソソフトウエア瀾墑に寥み哈む紛茶であり、これによって光NAのEUV劉彌∈哭2∷の箕洛が靠悸蹋を掠びてきた、と胳っている。また、OPCソフトウェアを捏丁しているSynopsysのCEOであるAart de Geus會は、≈Nvidiaとコラボすることによって、SynopsysのOPCソフトウェアをcuLitho懼で瘤らせられるため、これまで眶降粗かかっていた侯度が眶泣でできるようになる∽と袋略している。
この禱窖は、Nvidia肩號のGTC 2023で券山された。ラピダスは2nmプロセスから翁緩を幌める數克であるから、この紛換リソグラフィ禱窖は風かせない。海攙の4家によるコラボレ〖ションを、Nvidia のニュ〖スリリ〖スではファウンデ〖ションという咐い數をしている∈徊雇獲瘟1∷。ラピダスはこのファウンデ〖ションに掐れるのか、あるいは極ら紛換リソのパ〖トナ〖シップを侯るのか、玲くも糠しい草瑪が叫てきた。
徊雇獲瘟
1. "NVIDIA, ASML, TSMC and Synopsys Set Foundation for Next-Generation Chip Manufacturing", Nvidia
(2023/03/21)
