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配線金鑠譴鬚匹里茲Δ粉韶にもけられるi-SB\術を岩}jが業化へ

プリント基だけではなく、テフロンなどの基にも密性の良い配線を形成できる\術を岩}j学が開発、高周S性の優れたv路を容易に形成できるようになる。岩}jのi-SBと}ばれる\術は、分子接合材をいる異|材料接合\術である。噞cもすでに`し始め、実化に向けたエコシステムの構築中だ。この\術を普及させるためのプラットフォームを今秋には構築する画で進めている。

半導チップをどのような基にも実△任るというi-SB\術を開発した岩}j学は、学長から副学長、さらに\術を担当する教bをはじめとして学を挙げて実化にDり組んでいる。リジッドなプリントv路基だけではなく、フレキシブル基にも260°C以下のa度でけることができる。このため誘電率が低く低失の高周S基にはもってこいの\術となる。しかも共~T合の分子接合\術は表Cを荒らす要はなく、またポリイミドフィルムのようなフレキシブル基やテフロンのように表Cにこびりつきにくい基でも配線金錣Cuなどを形成できる。

このi-SBの@称は、iはIwateやInnovation、SはStrongやSimple、Superior、Surfaceなどを表現したB(Bonding)というT味を含むことから来ている。何でも接合できるという性をWしてまずは、高周S基への応をまず念頭にいた開発を進めている。ポリイミド`脂基屬貌次Cu)配線をWくという実績もある。


次世代分子接合\術i-SB法(プロセス)とは / 岩}j学

図1 レジストのように分子接合膜を処理できる 出Z:岩}j学


電子v路の配線パターンをWく\術では光反応性分子接合材をいる。フォトリソグラフィ\術に使われるレジストのように使える(図1)。この接合材では、光反応によって下地基との密性が屬るため、フォトマスクをいて光の当たる場所と当たらない場所を作り出し、浄すると光の当たったところの分子膜だけが残る。ここに触となるパラジウム(Pd)をけるとその屬坊狙する金鑠譴箸龍~T合を任拘陲できる。ここに無電解メッキすることで分厚い金鑠譴出来屬るというlだ。

露光の解掬戮砲茲襪、今のところ実xでは線幅、線間隔とも2µmの配線が形成できているという。半導チップを基に接させる場合には、科な性といえそうだ。高機Δ僻焼チップ(CPUやSoCなど)をパッケージ基に実△垢訃豺腓砲10µm度の配線が要求されており、さらなるHピン化や微細配線に使える\術となりそうだ。また、分子接合材料を入れた溶]に室aで1分度浸すだけで2|の材料同士を密させることができる。a度を屬欧要がないため、基の中にチップをmめ込む実\術にも使えそうだ。

岩}j学は、噞cへの応をにらみ、先端半導パッケージングへの応を念頭にき、低誘電材料基への電極配線形成\術を狙っている。来は、下地の基と密性がKくなるのを防ぐために表Cを荒くする桔,使われていたが、下地が荒れている霾のB^が高くなるため、高周Sなどで寄暘B^として現れる。外光を当てると下地とのT合をち切ることができ、リソグラフィ\術のように分子接合膜をパターニングできるため、微細な配線加工も可Δ任△。

パワー半導やマイクロプロセッサのように発Xのjきな半導チップを封VできるトリアジンUシアナート`脂やトリアジンUプロパルギルU`脂などの高耐X性`脂も開発している。転}a度300°C以屐√X分解a度400°C以屬鰓uており、さらにX伝導が良く絶縁性が高い`脂として応できるとしている。

岩}j学は、文隹奮愍覆痢崔楼茱ぅ離戞璽轡腑鵝Ε┘灰轡好謄犒狙プログラム」の中で、この分子接合\術を推進してきた。この\術をさらに発tさせるため、「分子接合\術センター」を2022Q4月に設した。ここには社会実△鮨泙襪燭瓩慮|vが参加し、エレクトロニクス・実∧野での応を狙い、この\術を発tさせようというもの。


i-SB業化プラットホームの構築案(2023.10設立予定) / 岩}j学

図2 2023Q10月に設立を予定しているi-SB業化プラットフォーム 出Z:岩}j学


10月に立ち屬欧i-SB業化プラットフォーム(図2)では、岩}県工業\術センターとも共同開発を行う。共同研|を通じて、主に県内企業やエレクトロニクス実以外の応、例えばO動Zや医分野へのt開も野に入れている。さらに分子接合\術センターや県工業\術センターなどで開発した\術の中でも、接剤に関するi-SB\術はいおう化学研|所を通して、`脂合成に関しては\術商社を通して業化をt開していく。このプラットフォームを使って業化をt開していくことになる。

(2023/03/22)
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