図1　 Atonarp社の小型��量分析��Aston　出�Z：Atonarp社

スマート���]、あるいは���]におけるデジタルトランスフォメ―ション（DX）がさまざまな���]現場で求められている。�攵奟率を高めるためだ。半導�����]でもDXによる���]の歩�里泙蠅��攵奟率の向�屬蓮▲灰好蛤鑿�の�~��な�}段になりうる。その�kつが、���]����の現時点での�X況（����の健康����）の把�曚砲茲����]条�Pの最適化である。

例えば、エッチングや�\積するための���]����では、プラズマで発�擇靴�����がチャンバの壁に����したり削られたりすることで、ウェーハ間のバラつきが�擇犬討靴泙Ε蹇璽妊�ング効果をリアルタイムで防ぐことができるようになる。ウェーハ間のバラつきやロット（Foupボックス）間のバラつきを��らすことができるようになる。そのためには����内の「健康�X��」をインサイチュで�瑤���要がある。

半導��プロセスは、��にFinFETやGAA（ゲートオールアラウンド）構�]、3D-NANDでの高アスペクト比など複雑になってきていると共に微細化が進むため、小さなばらつきは�jきなプロセス変動となりやすい�X況にある。そこで最�ZではEPCO（Equipment and Process Co-Optimization：����とプロセスの協調最適化）が求められ、より�@密な�R定ツールとインサイチュ・モニタリングが�_要になっているという。

そのためには、AI（機械学�{）を使って実際のデータと機械学�{モデルの入出��データとの相関を求める��要がある。実データはインサイチュで�D�uし、AIによる分析はクラウドベースで行うことでこれからのDXを使った半導��プロセスの最適化を図れるという。

今�v、Atonarp社の小型��量分析�_Aston（図2）は、���]����内のチャンバ内で発�擇靴討い�����をインサイチュで検出・分析する����である。����を分析することで、例えばエッチングでの終点検出やチャンバ内のリークの検出、量���iの調�Dなどができるようになる。��量分析の基本は、四�_極アナライザ�擬阿世�、放電加工�\術を使って双曲線の曲�Cを�△┐薪填砲鮖箸ぁ▲ぅ�ンを�Dり出すことに尽きる。

図2　��量分析�_Astonのカギは、プラズマイオン化�\術と�O己クリーニング�\術　出�Z：Atonarp

��来の��量分析�_だと、エッチング工��では検出�_のチャンバ内のフィラメントが反応性の高いエッチングガス(NF3やCF4、Cl2など)によって劣化し��命が�]くなるが、Astonでは、プラズマを�W��してイオン化する�\術を開発、フィラメントを使わずに済ませた。ここでは、検出すべき����をRF�v路で振動させ、分子振動と共鳴させることでイオン化させたとしている。

さらに、ReGenと�}ぶ�O身でクリーニングする�\術も導入した。ReGenは、チャンバ内に�\積した反応�颪鯑Dり除くためのプラズマイオンを発�擇垢襦�これら二つの�\術を使って、センサの感度をMTBC（Mean Time Between Cleans）で数��時間も落とさずに動作させることに成功したという。

同社には、シリコンバレーのVC（ベンチャーキャピタル）だけでなく、日本のINCJ（�噞革新機構）やライフサイエンスのニプロ、金融のSBIホールディングス、古�Q電工なども出�@している。�R��する����は、この半導�����]向け��量分析�_と、ライフサイエンス向けの光学式分光分析�_の二つである。このほど5000万ドルの�@金調達シリーズD�耀uに成功し、合��1億1000万ドルの出�@になった。創業�vであり社長兼CEOのPrakash Murthy��は東�B在住というユニークなスタートアップ企業である。