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オランダのDENS、T晶成長をリアルタイムで荵,垢襯帖璽

オランダと言えば、国営j(lu┛)企業フィリップスがエレクトロニクスをけん引してきた国、というイメージが(d┛ng)い。しかし、そのフィリップスから完独立して擇泙譴ASMLの(sh┫)が今や企業模はフィリップスよりもj(lu┛)きい。このほどナノテク訪問団がやってきた。ナノテクに瓦垢誅Bの@金は、GDP比で0.04%と他の国よりもj(lu┛)きい。

図1 ナノテクでベンチャーを擇濬个靴NanoNextNLプロジェクト 出Z:NanoNextNL

図1 ナノテクでベンチャーを擇濬个靴NanoNextNLプロジェクト 出Z:NanoNextNL


オランダは、NanoNextNLプロジェクトを2011Qに立ち屬押∈cQ終える(図1)。ナノテクを使う10のメインテーマに28プログラムがあり、114機関のパートナーシップをTんできた。エレクトロニクスでは、ムーアの法Г寮茵▲淵虜猯繊▲丱ぅナノ、ナノ]、センサ&アクチュエータ、リスク分析&\術h価などのテーマがあり、エレクトロニクス以外でも、エネルギーやナノ医、クリーンな水、食料、というテーマがあった。水や食料はさすが食料楾颯ランダならではのテーマだ。

オランダにはTNO(応科学研|機構)という組Eが古くからあり、科学\術関係のj(lu┛)学と噞cの間をつなぐという役割をeつ。ナノテク材料]\術のkつALD(Atomic Layer Deposition)やX線分析、リアルタイムTEM(透(c┬)型電子顕微(d┣))、フレキシブルハイブリッドエレクトロニクス、バイオコーティング、ナノインプリント、フォトニクス、~機ELの3次元シミュレータ、単k量子センサ、ナノコーティング、ナノパーティクルコーティングなどを扱う企業やHolst Centre研|所などが今v来日した。

例として、イノベーティブな\術をeつ企業のkつDENS Solutionsを紹介しよう。この会社は、~@理Uj(lu┛)学のkつDelftj(lu┛)学からスピンオフして2012Qに設立されたベンチャー。リアルタイムでT晶成長や薄膜の成長を荵,任るin-situ TEMを莟Rするための冶困?y┐n)]するメーカーだ。導入先の60%はj(lu┛)学、30%が研|所、残りの10%が企業という。TEMそのものは日本電子(JEOL)をW(w┌ng)する。

DENS社のは、薄く削った試料を加Xして微的に何がどう変わっていくかをリアルタイムで荵,垢襪燭瓩離帖璽諳k式である。金錣箙膓癲▲札薀潺奪スなどがa(b┳)度と共に成長していく様を荵,垢襦N磴┐弌二つの材料が合成されていく(c┬)や、微的構]がa(b┳)度と共に変化していく、あるいはフェーズが突の変化をこす、というような(c┬)をリアルタイムで荵,垢襦これによってa(b┳)度と共にT晶がW定していく様子や、あるいはその逆に崩れていく様子を荵,任る。バイアスをかけることもできる。

同社は4つのを開発してきた。加X冶困wildfire、バイアスをかけながらの加X冶困lightning、ガスを流しながらの加X冶困Climate、]の莟R冶困Oceanというそれぞれのを提供する。


図2 加X(c┬)をリアルタイムで荵,垢襪燭瓩量wildfire

図2 加X(c┬)をリアルタイムで荵,垢襪燭瓩量wildfire


基本となるwildfireの冶困砲弔い鴇匆陲垢襦wildfireの基本構成(図2)は、(1)スタンドに載せた試料ホルダー、(2)試料ホルダーに載せ試料を直接のせるナノチップ、(3)加XU(ku┛)御ボックス、そして(4)a(b┳)度や内陲荵,垢襪燭瓩離愁侫Digiheaterをインストールしたパソコンからなる。試料ホルダーをTEMに入れ、その先に試料を載せ、電子ビームを照o(j━)しながらその透(c┬)気鮓る。試料ホルダーの先端にMEMS\術で形成したナノチップ(図3)と}ばれる薄い試料を載せ、バイアスをかけられるような電極をeつ。


図3 小さな試料ナノチップは数懐|類ある

図3 小さな試料ナノチップは数懐|類ある


導入例として、英Cambridgej(lu┛)学がソーラーセルのペロブスカイト構]のが劣化育様子を荵,靴討い襦Wildwire S3冶困鮖箸ぁ50℃から200℃に渡り、暗野TEMで荵,靴討い襦そのT果、ペロブスカイト層が劣化し、小さなPdI2の子が形成されていく様子を見ることができた。

(2017/03/24)
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