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萍の5擒の錢帕瞥拉を積つ圭喇ダイヤ泅遂で、泣塑輝眷晾うElement Six家

毖柜の供度脫ダイヤモンド亨瘟メ〖カ〖であるElement Six Technologies家が泣塑での寵瓢を塑呈步させている。これまで供度脫のダイヤモンド胖緯やパウダ〖など濕妄弄に蓋いという潑墓を欄かし怠常弄な侯度の尸填に廟蝸していたが、エレクトロニクスにも蝸を掐れ幌めた。錢帕瞥の紊さに廟謄している。

票家は、祁アフリカに塑家を彌くダイヤモンドの何貳から裁供ˇ卜任卿まですべてを緘齒ける坤腸弄ダイヤモンド措度De Beers∈デビアス∷家グル〖プの辦鎊で、供度脫圭喇ダイヤのメ〖カ〖。圭喇ダイヤは5它5000丹暗の暗蝸と、1500☆笆懼の光補で瀾隴することに廟蝸してきた。票家には光補光暗惜は驢眶駱、供眷に肋彌されている。

呵奪は、ダイヤモンド泅遂脫のプラズマCVDにも蝸を廟いでいる。パワ〖染瞥攣やレ〖ザ〖など錢を券するデバイスに羹けた輝眷へ泅遂圭喇ダイヤの瀾隴を渴めている。ダイヤモンド極咳は冷憋攣にも染瞥攣にもなる。プラズマCVDを蝗った圭喇ダイヤ泅遂染瞥攣の甫墊は、柜柒でもいくつかの甫墊疥で乖われている。しかし、睛脫步にはまだ魂っていない。

Element Sixが泅遂の圭喇ダイヤを瀾隴する晾いは、錢帕瞥唯の光さにある。萍と孺べで錢帕瞥唯は2000W/mK笆懼と萍の5擒笆懼もある。裁えて、イントリンシックでは排丹弄に冷憋攣である。このため染瞥攣レ〖ザ〖や流慨怠脫のパワ〖アンプなどのヒ〖トスプレッダ〖への脫龐に羹く。甫墊フェ〖ズでは、エネルギ〖バンドギャップがSiCの3.1eV、GaNの3.5eVよりもずっと絡(luò)きい5.5eVもあることを網(wǎng)脫してパワ〖染瞥攣の甫墊が乖われている。

泅遂の答饒は2鹼梧。潑釣を積つダイヤモンド圭喇脫のプラズマCVD劉彌を蝗って、井さなダイヤモンド答饒懼では帽馮窘ダイヤモンドをエピタキシャル喇墓させ、ダイヤ笆嘲の答饒では驢馮窘のダイヤを喇墓させる(哭1)。答塑弄には、CH4メタンガスを垮燎で叢傅ˇ尸豺するとダイヤモンドが妨喇され、グラファイトが妨喇される充圭は端めて警ない、と丸泣した票家染瞥攣嬸嚏シニアディレクタのBruce Bolliger會は極慨を績す(哭2)。カギは、喇墓掘鳳は咐うまでもないが、姐刨の光い垮燎ガスを蝗うことだという。


哭1 驢馮窘と帽馮窘のダイヤモンドを瀾隴 叫諾¨Element Six Technologies

哭1 驢馮窘と帽馮窘のダイヤモンドを瀾隴 叫諾¨Element Six Technologies


驢馮窘の圭喇ダイヤを喇墓させる眷圭には、メタルのW∈タングステン∷答饒を蝗うという。これまでの疥、5インチウェ〖ハでの圭喇を肩蝸瀾墑としているが、絡(luò)庚仿步では呵絡(luò)木仿138mmの答饒まで脫罷している。


哭2 プラズマCVD劉彌 叫諾¨Element Six Technologies


海稿、圭喇ダイヤを染瞥攣デバイスとして蝗う炳脫はかなり黎になるが、その漣にヒ〖トスプレッダ〖の炳脫をさまざまな染瞥攣デバイスに努脫していく。ワイヤレス奶慨インフラに澀妥な流慨怠のパワ〖アンプIC、各奶慨モジュ〖ルの光叫蝸レ〖ザ〖、さらには經(jīng)丸の絡(luò)推翁奶慨脫の光叫蝸レ〖ザ〖アレイなどのヒ〖トスプレッダ〖に染瞥攣デバイスをじかに很せることができ、排丹弄に冷憋する亨瘟を洞む澀妥がない。

さらに、マイクロプロセッサ懼の錢肋紛に澀妥なホットスポットの潑拉刪擦や、フリップチップのI/Oダイボンディングにも蝗えるとする。GaN on diamondとしての答饒に蝗えば、庶錢が庭れているため光件僑叫蝸を懼げることができる。奶慨インフラだけではなく、柜松脫の光叫蝸レ〖ダ〖にも蝗える。すでに3インチ答饒のGaN on diamondは掐緘材墻で、海稿4×6インチも謄回すとしている。

バンドギャップが弓く、錢潑拉も庭れていることから、EUVリソグラフィ劉彌の各富レンズとしても蝗えると斧る。LPP∈Laser Produced Plasma∷各富のウィンドウとしての炳脫である。ウィンドウの昔步による蛤垂のための笨啪蒂賄箕粗を負(fù)らすことができるという。さらに墓袋弄な(5鉗笆懼)黎には佬聽や歐臉ガス玫漢脫のセンサ炳脫も晾っている。

票家は泅遂圭喇ダイヤの瀾隴を姥端弄に渴めており、毖柜のオクスフォ〖ド官嘲にグロ〖バルイノベ〖ションセンタ〖を7奉に倡肋した。勢柜カリフォルニア劍サンタクララにも10鉗漣にオフィスを肋惟しており、Bolliger會はサンタクララをベ〖スにする。

(2013/08/30)
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