MEMSでバリコン、2mm3のリ〖ドスイッチを悸附ˇ睛墑步するベンチャ〖と戲獸
かつて、バリアブルコンデンサと鈣ばれる、ラジオチュ〖ナ脫の材恃キャパシタがあった。鄂丹を冷憋攣として脫い、羹かい圭わせた垛擄饒の室燙だけを怠常弄に攙啪させることで垛擄饒が羹かい圭う燙姥を恃え推翁を恃えるというもの。MEMSを蝗って垛擄饒粗の調違を恃えて材恃キャパシタを悸附する措度が附れた。リ〖ドスイッチ措度もMEMSで畝井房にした。
哭1 LTEの件僑眶掠に畔って驕丸のアンテナよりも跟唯の光い潑拉を評る
叫諾¨Cavendish Kinetics
勢弓鼠柴家Globalpress Connection肩號のE-Summit 2013では、MEMSバリコンを2008鉗料度のベンチャ〖、Cavendish Kinetics∈キャベンディッシュˇカイネティクス∷家が、MEMSリ〖ドスイッチを料惟90件鉗笆懼のCoto Technology∈コトˇテクノロジ〖∷家が、それぞれ券山した。措度の悟凰として灤救弄なベンチャ〖と戲獸がMEMSデバイスを倡券しているのである。
CavendishのMEMSバリコンは、光件僑チュ〖ニングするための材恃キャパシタである。スイッチング儡爬をなくすと票箕に祿己を負らし、アンテナ跟唯の光いチュ〖ナを侯ることが晾いである(哭1)。毋えばLTEの流慨と減慨の件僑眶掠を700MHz×800MHzとして、祿己が絡きければ蝗える件僑眶のRFパワ〖が布がってしまい、つながりにくくなる。2Gのデジタル啡掠排廈から2.5G、3G、4G、光怠墻なスマ〖トフォンとさまざまな件僑眶を蝗う怠墻が光まるにつれ、つながりにくくなる飯羹は覆螟になる(哭2)。
哭2 啡掠排廈の光怠墻步につれアンテナ拉墻のギャップは橙絡
叫諾¨Cavendish Kinetics
これまでCMOS禱窖を蝗ったスイッチトキャパシタフィルタやいろいろな砷操を澀妥とするアンテナ肋紛では、祿己が絡きく、哭2のような妄鱗と附悸とのかい違が渴んできた。そこで、投排唯が1になる鄂丹を冷憋攣としてMEMSのキャパシタを倡券している(哭3)。垛擄饒を羹かい圭わせてその調違に炳じて推翁を恃えて乖くため、ロスが警なく、スイッチも警ない。このためキャパシタのQ猛はRF脫に眶紗あるという。恃えられる瑯排推翁は5:1鎳刨だとしている。
哭3 懼布排端粗の調違を恃えて推翁を恃える 叫諾¨Cavendish Kinetics
勢柜のLTEスマ〖トフォンに蝗ったアンテナ(B17)悸賦では、700MHz、725MHz、750MHzに畔り、士堆1.3dB網評が光まった。これは、+35%猖簾したことに陵碰する∈哭4∷。
哭4 アンテナの網評は士堆1.3dB懼がった 叫諾¨Cavendish Kinetics
辦數、料度90鉗を畝えるCotoは、ガラス甚賄のリ〖ドスイッチを欄緩してきた。このほどMEMS禱窖を蝗うことによって、呵も井さなリ〖ドスイッチを倡券した。リ〖ドスイッチは、姬腸を浮叫すると儡爬がつながることでスイッチ瓢侯を乖うデバイスである。驕丸と票屯な儡爬瓢侯をさせるためにMEMSで動姬拉攣儡爬を妨喇した。
リ〖ドスイッチは、姬腸がかかる漣までは儡爬がオ〖プンになっているため、排萎は鏈く萎れない。略怠箕の久銳排蝸はゼロである。姬腸が裁わって介めて儡爬が誓じる。
これまでのリ〖ドスイッチは井房のガラス甚賄リレ〖でも、墓さは5mm鎳刨あり、さらにリ〖ド俐が凱びている。MEMSを蝗った糠瀾墑RedRockは墓さ2mm、升1mm、更さ1mmと端めて井さい(哭5)。
哭5 ガラス甚賄のリ〖ドスイッチは海2mm3と井さくなった 叫諾¨Coto Technology
井房步を悸附できたため、輸陌達や柒渾獨カプセル、ハンディタイプのインシュリン丁惦システム、クルマの聽暗システムのオイル翁浮叫などにも蝗えるようになる。
哭6 セラミックウェ〖ハによるMEMSとウェ〖ハレベルパッケ〖ジング
叫諾¨Coto Technology
Cotoが蝗ったMEMS禱窖はシリコンをベ〖スにはしていない。答饒となるウェ〖ハはセラミックである。その懼に動姬拉攣となるNi、Fe、Co Rdなどのメタルからなる姬拉亨瘟を排豺メッキで喇墓させる。ここにMEMS禱窖でアスペクト孺の光い考いエッチングを乖い、儡爬嬸尸を妨喇する(哭6)。スイッチの件跋には萍の噬を妨喇しておく。
儡爬嬸を肋けたセラミックウェ〖ハ答饒の懼から侍のセラミックウェ〖ハを、靠鄂面で腳ねることで、ハ〖メティックシ〖ル∈丹泰甚賄∷を乖う。シリコンに碰てはめればまさにウェ〖ハレベルパッケ〖ジングである。
井房步することで、これまでにはないGMR∈giant magneto resistive∷燎灰やホ〖ル燎灰のような姬丹センサも材墻になる。糠しい炳脫が倡けると、票家禱窖么碰VPのStephen Day會は揭べる。
