SiTime、拉墻も怠墻も垮窘慷瓢灰の懼を乖くMEMS券慷達を瀾墑步
MEMS券慷達は、拉墻も怠墻も垮窘を窗鏈に卻くようになった。勢サイタイム∈SiTime∷家は、1Hzから32.768kHzまでの件僑眶を聯買でき、しかも1.5mm∵0.8mmと端めて井さな券慷達を瀾墑步した(哭1)。プラスチックパッケ〖ジのCSPを蝗えるというメリットも絡きい。垮窘は光擦なキャンかセラミックのパッケ〖ジしか蝗えない。
哭1 サイタイムが瀾墑步した井房のMEMS券慷達 叫諾¨SiTime
考いエッチングやデポジションなど染瞥攣禱窖を蝗うMEMSの券慷達や慷瓢灰は井房步できるというメリットは傅」あったが、垮窘も染瞥攣裁供禱窖を額蝗することで、票屯に井房にしてきた。このためMEMSデバイスはなかなか垮窘の茬倦を束すことができなかった。しかし、MEMSデバイスは慷瓢灰だけではなくCMOS攙烯も票辦のプラスチックパッケ〖ジに箭めることで、券慷達として井房步というメリットが絡きい。クロック券欄攙烯を礁姥している染瞥攣ICチップに慷瓢灰からの慨規を流る眷圭、垮窘ではチップコンデンサ2改も納裁する澀妥がある。このため、票じ慷瓢灰で孺秤してもMEMSでは85%∈1/6×1/7∷井さな燙姥になる。1.5mm∵0.8mmという絡きさは垮窘では悸附できていない。
MEMSのタイミング答潔チップを緘齒けているサイタイムは、慷瓢灰、券慷達、クロックジェネレ〖タを圭わせたタイミング輝眷∈TAM: total available market∷を50帛ドルと斧ている。それぞれ20帛、20帛、10帛ドルという條だ。井房步が動く妥滇されるスマホ輝眷を晾えるようになってきた。ここでは絡翁の眶を斧哈める。これまでサイタイムはインフラ廢の輝眷で垮窘の彌き垂えを晾ってきた。補刨奧年拉でようやく垮窘に納いつくことができたからだ。
サイタイムのMEMS券慷達は、MEMS慷瓢灰とCMOS ICの2チップを姥霖して1.5mm∵0.8mmのCSP、事びに2.0mm∵1.2mmのSMD∈山燙悸劉∷パッケ〖ジというサイズを悸附した。供度憚呈補刨認跋での補刨奧年拉は100ppmと、垮窘の160ppmよりも井さいとしている。技補では20ppmと垮窘事みのレベル∈哭2∷。SMDパッケ〖ジは垮窘とピン高垂拉を積つため、驕丸の垮窘をそのまま彌き垂えることができる。すでにPCB肋紛貉みの答饒でさえ、これだけでもコンデンサ2改尸のスペ〖スは妥らなくなる。
哭2 サイタイムのMEMS慷瓢灰を垮窘と孺秤 叫諾¨SiTime
サイタイムはもともとロバ〖トボッシュからスピンオフして肋惟された柴家であるため、MEMS禱窖をボッシュから均り減けている。MEMS脫の考くまっすぐなエッチングにはボッシュプロセスを蝗っている。
MEMSデバイスをプラスチックパッケ〖ジに箭推できるようにするため、サイタイムはEpiSealと鈣ぶMEMS First禱窖を倡券してきた。この禱窖を詞帽に疽拆する(哭3)。まずSOI∈silicon on insulator∷ウェ〖ハを脫い、慷瓢灰嬸尸となるシリコンを考くエッチングし、貳ったトレンチを煥步遂で塔たす(哭3の焊懼)。煥步遂懼にポリシリコンを妨喇し、HF絕丹を瞥掐するための逢をあけ(哭3の寶懼)、HF絕丹を萎し、煥步遂をエッチングする(哭3の焊布)。この稿山燙の煥步遂懼にシリコンを1100☆という光補で孿姥すると、HF絕丹脫の逢はふさがれ甚賄される。排丹弄冷憋脫の煥步遂、さらに排端を妨喇すると叫丸懼がる∈哭3の寶布∷。窗喇ウェ〖ハの更さは100μm踏塔だという。
哭3 サイタイムのMEMS Firstプロセス 緘界は焊懼、寶懼、焊布、寶布という萎れ
叫諾¨SiTime∈徊雇獲瘟1∷
MEMSの材瓢嬸尸は丹泰甚賄されているため、このままトランスファ〖モ〖ルディングしても踐婚が材瓢嬸尸には掐って乖かない。トランスファモ〖ルド箕の腆100丹暗∈1500psi∷という暗蝸にも澆尸卵える。裁えて、ウェ〖ハ窗喇漣に1100☆という光補で丹泰甚賄しているため、慷瓢灰としての補刨奧年拉は澄瘦されているという。セラミックパッケ〖ジのように你補で甚賄すると、荒偽ガスや垮尸を荒す恫れがあり、補刨奧年拉に逼讀を第ぼしてしまう、と斧ている。
プラスチックモ〖ルドが蝗えるMEMS攙烯は、你コスト、という罷蹋で胎蝸弄である。だからと咐ってサイタイムはMEMS瀾墑を奧卿りしない。件僑眶を材恃でき、井房、臼嬸墑というメリットがあるため、垮窘と票じ擦呈で任卿しても擦猛が光い。
泣塑輝眷に廟謄するのは、泣塑では5000×6000它駱のスマホがすでに賂哼しており、海稿の傾い侖えや糠瀾墑見妥を晾えるからだ。サイタイム家は臭及懼眷していないため、卿懼馳を給倡していないが、卿り懼げの30%は泣塑輝眷からの箭掐だと票家CEOのRajesh Vashist會は胳る。
徊雇獲瘟
1. SiTime's MEMS First Process (2009/02/17)
