坷竿絡/ASET、4096改のTSVを拆して3D姥霖IC活侯、100GB/sの廬刨を悸沮
坷竿絡池と畝黎眉排灰禱窖倡券怠菇∈ASET∷は鼎票で、4096塑のTSVバスを積つインタ〖ポ〖ザを拆して、メモリチップとロジックチップを姥霖した3肌傅ICを活侯、100Gバイト/擅の光廬デ〖タ帕流を悸沮した。これを勢サンフランシスコで倡かれたISSCC∈International Solid-State Circuits Conference∷で券山した。
哭1 3D ICをソケットに掐れ、100GB/sの光廬慨規を澄千
TSV∈through silicon via∷は染瞥攣チップを腳ねて從奶排端を妨喇したものであるため、芹俐墓が沒く光廬瓢侯に羹く。これまではシミュレ〖ションで、光廬瓢侯を沮湯していたが、悸狠に4096改ものI/Oバスを活侯した攙烯で光廬瓢侯を悸沮した(哭1)のはこれが介めて。
この染瞥攣デバイスは、527改のI/Oを積つロジックICの懼にシリコンのインタ〖ポ〖ザを很せ、さらに800KバイトのSRAMを3肌傅弄に姥霖し、それぞれをTSVで儡魯したもの。驢霖芹俐の霖眶はロジック、SRAM、インタ〖ポ〖ザ鼎に8霖メタル。SRAMとインタ〖ポ〖ザ、インタ〖ポ〖ザとロジックはそれぞれ50μmピッチのマイクロバンプで儡魯している(哭2)。インタ〖ポ〖ザの山燙から微燙に畔り、50μmピッチで7,328改のTSVを妨喇した。FR-5のプリント答饒とロジックチップとは200μmピッチのバンプで儡魯している。それぞれのチップは柜柒ファウンドリのe-シャトルが瀾隴した。
哭2 坷竿絡池とASETが活侯した3D ICの菇隴哭
インタ〖ポ〖ザ柒の從奶排端7,328改のうち、4096改をメモリのI/Oバスとして蝗い、荒りを排富眉灰、グランド眉灰、テスト脫眉灰、128ビットの鵑墓メモリセル、などに蝗っている。
坷竿絡とASETはこのインタ〖ポ〖ザをアクティブインタ〖ポ〖ザと鈣んでいる。8霖芹俐のシリコンチップ柒にロジックチップとメモリチップをテストする攙烯を礁姥しているからだ。テスト攙烯は、スキャンチェ〖ンとメモリ脫BIST∈built-in self test∷、JTAG陵高儡魯パタ〖ンの3鹼梧を礁姥した。このため、メモリとロジックのテスト攙烯を嘲嬸眉灰からアクセスできる。
これまで3肌傅ICの啼瑪の辦つは、テストができなかったこと。メモリとロジック、それぞれはウェ〖ハテストで圭呈していても、TSVで儡魯した稿に100%つながっているかどうかテストしてみなければわからない。TSV妨喇箕のストレスや山燙の泅い煥步遂などの妨喇などで100%つながっているとはいえないからだ。そこで、シリコンのインタ〖ポ〖ザにテスト推白步肋紛緘恕を礁姥し、3肌傅IC嘲嬸からテストできるようにした。
海攙は、嘲嬸眉灰を奶じて、沒いパルスでこの3肌傅ICを額瓢し、4096ビット票箕に事誤瓢侯させた。その箕のアイパタ〖ンを哭3に績す。アイパタ〖ンがしっかり倡いていることは1·0の冉年が湯澄にできるという罷蹋だ。奶撅、光廬帕流の眷圭に徒め慨規を動拇しておくプリエンファシスや、パルス僑妨を拇臘するイコライズ、といった禱窖を努脫するが、海攙の悸賦では部もしていない、欄のパルスを叫蝸したものだという。
哭3 パルスのアイパタ〖ンはしっかり倡いている 叫諾¨坷竿絡、ASET
TSVは芹俐墓が沒いため、大欄推翁が負り光廬瓢侯できる。しかし、TSVのピッチを低めた眷圭に婁噬の大欄推翁が籠えるのではないかと丹になるところだが、悸狠に侯って盧年したところ、50×100fFしかない。揉らは、驕丸のプリント答饒にロジックとメモリを烹很した眷圭、20pF鎳刨の大欄推翁が欄じるが、3肌傅に姥霖した眷圭には0.7pF鎳刨に負警するという。100fFは0.1pFであるから、婁噬推翁は痰渾できると咐って汗し毀えないだろう。
