毖ベンチャ〖がMEMS數(shù)及IRセンサをけん苞、光炊刨の睛墑ラインを橙絡(luò)面
毖柜のベンチャ〖Pyreos家がMEMSを蝗い、浮叫僑墓が0.7×500μmと端めて弓いIR∈樂嘲俐∷センサの睛墑ラインを橙郊している。菠劍のIMECやLETIが海、甫墊倡券しているテ〖マ∈MEMSのIRセンサ∷を黎額けた。MEMSメンブレンを蝗うと、浮叫する錢喇尸が屁げにくいため、炊刨が光く、武笛する澀妥がない。
哭1 IRセンサの刪擦キットを緘にするPyreos家CEOのJeffrey Wright會
2007鉗に肋惟、スコットランドのエディンバラ絡(luò)池菇柒に肋けられたスコットランドマイクロエレクトロニクスセンタ〖∈Scottish Microelectronics Centre¨SMC∷に塑家を彌くベンチャ〖であるが、すでに40家の杠狄を評ている、と票家CEOのJeffrey Wright會は揭べる。すでに30もの瀾墑ラインを路えており、晾うべき炳脫尸填も弓い。客粗や瓢濕などを浮叫するIRセンサを欄かし、ジェスチャ〖擴告、セキュリティ、モ〖ションセンサなどのほか、ガスセンサやスペクトロスコピ〖などのセンサ瀾墑も路えている。
このMEMS數(shù)及は、奪樂嘲∈0.7μm×2.5μm∷から面樂嘲∈2.5μm×4μm∷、斌樂嘲∈4μm×500μm∷までカバ〖できる。瀾墑によってそれぞれの僑墓撾拌を網(wǎng)脫する。MEMS禱窖で裁供する泅遂は、PZT∈チタン煥ジルコン煥瀕∷馮窘の廄排跟蔡を網(wǎng)脫する。廄排跟蔡は補刨恃步によって排操を欄じる。券錢攣があれば、補刨恃步を浮叫し瓢濕を浮夢するセンサとして蝗える。瓢濕は30~40☆という辦年の補刨を券しているからだ。
驕丸のPZTは、更さが100μm鎳刨のセラミック菇隴をしており、驢馮窘菇隴であり錢を帝箭する潑拉が澆尸ではなかった。また、蝗う眷圭に武笛を澀妥とすることが驢い。海攙のMEMS菇隴は、シリコン答饒を網(wǎng)脫しており、MEMS泅遂の更さは1μmしかないため錢を澆尸帝箭でき、しかも炊刨が光いという。毋えば2チャンネル掐蝸の廄排センサの毋では炊刨は150,000V/Wという。更さ1μmの泅遂はスパッタリング恕で侯瀾するが、驕丸とは般う馮窘陵を侯り、炊刨の光い潑拉を評ていると棱湯する。しかも、泅遂の擴告拉は端めてよく、錢浮叫達としては恃妨がなく、慷瓢にも動く、ノイズが井さいとしている。このデバイス菇隴と瀾隴プロセスに簇してPyreosは潑釣を艱評している。
辦忍にMEMS禱窖の潑墓は、モノリシックに驢眶のセンサ嬸尸を瀾隴できることである。このため票家の瀾墑には帽攣のセンサから512改のラインセンサ、4∵4のエリアセンサなどがある。豺嚨刨を滇める眷圭にはラインセンサを蝗い、スキャンして茶嚨を菇喇する。
哭2 FTIR脫のセンサはTO-39パッケ〖ジ 叫諾¨Pyreos
炳脫尸填は弓い。僑墓撾拌が弓いからだ。毋えば、FTIR∈フ〖リエ恃垂樂嘲俐尸各各刨紛∷に炳脫する眷圭、ZnSeレンズを蝗い0.7~20μmのフラットな僑墓の尸各潑拉を評ている(哭2)。このシングルセンサチップはTO-39キャンタイプのパッケ〖ジに甚賄されている。パッケ〖ジのステム∈駱郝∷懼にICアンプを烹很し、CRのフィ〖ドバック攙烯を蝗っている。センサ嬸の木仿はレンズの木仿と票じ3.5mm。武笛劉彌なしで-20×+70☆の補刨認跋で瓢侯できる。このセンサを蝗えば、畝井房のFTIR劉彌ができる。
緩度脫龐での毋として、慎蝸券排脫タ〖ビンのオイルやガスの浮叫や、縫劈猛の盧年やグルコ〖スモニタ〖、佬聽步池や咯墑裁供などのモニタリングにも蝗えるとしている。潑に、隸酋や若乖怠、慎蝸などタ〖ビン瓢蝸柒にあるギアボックスがオイルの昔步や稍姐濕緯灰の寒掐などによって肝俱しやすくなるが、面樂嘲僑墓のIRセンサではこういった啼瑪を豺瘋できる。ここでもFTIRのように濕劑潑銅のスペクトラムを浮叫することで、寒掐や恃拉を潑年する。板聞簇犯でも旅閉や洽、縫閉などから佰撅を浮叫できる。
票家はベンチャ〖ながら、センサと各富、その戮の嬸墑を烹很した刪擦キットやソフトウエアなどを杠狄に捏丁している。
エディンバラの塑家にいる家鎊は18嘆。SMCにはMEMSの瀾隴活侯供眷があり、6インチウェ〖ハを蝗って瀾隴する。ただし、憚滔はそれほど絡(luò)きくないため、翁緩にはファウンドリを網(wǎng)脫する。MEMSファウンドリパ〖トナ〖として3家、パッケ〖ジングパ〖トナ〖として4家積ち、瀾墑ラインの橙郊に網(wǎng)脫する。面には200它改/降の欄緩墻蝸を積つパッケ〖ジングパ〖トナ〖もいるという。ベンチャ〖のため瀾隴ラインを橙絡(luò)できないが、アウトソ〖シングを橙絡(luò)している。
この禱窖は、ドイツのシ〖メンスのIRセンサ嬸嚏を傾い艱ったものだが、碰箕シ〖メンスはパワ〖エレクトロニクスに廟蝸し幌めていた。シ〖メンスは海でも臭肩の1家である。海鉗に掐り2刨謄のファイナンシングを乖ったが、海攙は泣塑の話嫂UFJも叫獲し、臭肩となった。卿り懼げはまだ井さいが、そのうちの20%は泣塑輝眷から丸ており、泣塑にも錢い渾俐を流っている。
