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英ベンチャーがMEMS擬IRセンサをけん引、高感度の商ラインを拡j中

英国のベンチャーPyreos社がMEMSを使い、検出S長が0.7〜500μmと極めて広いIR(軍粟)センサの商ラインを拡充している。欧ΔIMECやLETIが今、研|開発しているテーマ(MEMSのIRセンサ)を先~けた。MEMSメンブレンを使うと、検出するX成分が逃げにくいため、感度が高く、冷却する要がない。

図1 IRセンサのh価キットを}にするPyreos社CEOのJeffrey Wright

図1 IRセンサのh価キットを}にするPyreos社CEOのJeffrey Wright


2007Qに設立、スコットランドのエディンバラj学構内に設けられたスコットランドマイクロエレクトロニクスセンター(Scottish Microelectronics Centre:SMC)に本社をくベンチャーであるが、すでに40社の顧客をuている、と同社CEOのJeffrey Wrightは述べる。すでに30ものラインを揃えており、狙うべき応分野も広い。人間や動颪覆匹鮓―个垢IRセンサを擇し、ジェスチャーU御、セキュリティ、モーションセンサなどのほか、ガスセンサやスペクトロスコピーなどのセンサも揃えている。

このMEMS擬阿蓮Z軍亜0.7μm〜2.5μm)から中軍亜2.5μm〜4μm)、遠軍亜4μm〜500μm)までカバーできる。によってそれぞれのS長覦茲鮠Wする。MEMS\術で加工する薄膜は、PZT(チタン┘献襯灰l)T晶の電効果をWする。電効果はa度変化によって電荷を擇犬襦HXがあれば、a度変化を検出し動颪鮓瑤垢襯札鵐気箸靴道箸┐襦F颪30~40℃というk定のa度を発しているからだ。

来のPZTは、厚さが100μm度のセラミック構]をしており、HT晶構]でありXを吸収する性が科ではなかった。また、使う場合に冷却を要とすることがHい。今vのMEMS構]は、シリコン基をWしており、MEMS薄膜の厚さは1μmしかないためXを科吸収でき、しかも感度が高いという。例えば2チャンネル入の電センサの例では感度は150,000V/Wという。厚さ1μmの薄膜はスパッタリング法で作するが、来とは違うT晶相を作り、感度の高い性をuていると説する。しかも、薄膜のU御性は極めてよく、X検出_としては変形がなく、振動にも咾、ノイズが小さいとしている。このデバイス構]と]プロセスに関してPyreosはをDuしている。

k般にMEMS\術の長は、モノリシックにH数のセンサ霾を]できることである。このため同社のには単のセンサから512個のラインセンサ、4×4のエリアセンサなどがある。解掬戮魑瓩瓩訃豺腓砲魯薀ぅ鵐札鵐気鮖箸ぁ▲好ャンして画気鮃柔する。


図2 FTIRのセンサはTO-39パッケージ 出Z:Pyreos

図2 FTIRのセンサはTO-39パッケージ 出Z:Pyreos


応分野は広い。S長覦茲広いからだ。例えば、FTIR(フーリエ変換軍粟分光光度)に応する場合、ZnSeレンズを使い0.7~20μmのフラットなS長の分光性をuている(図2)。このシングルセンサチップはTO-39キャンタイプのパッケージに封Vされている。パッケージのステム(座)屬ICアンプを搭載し、CRのフィードバックv路を使っている。センサ陲猟招造魯譽鵐困猟招造汎韻3.5mm。冷却なしで-20〜+70℃のa度J囲で動作できる。このセンサを使えば、小型のFTIRができる。

噞での例として、風発電タービンのオイルやガスの検出や、p糖値のR定やグルコースモニター、石化学や食加工などのモニタリングにも使えるとしている。に、`舶や飛行機、風などタービン動内にあるギアボックスがオイルの劣化や不純饐子の混入などによって故障しやすくなるが、中軍S長のIRセンサではこういった問を解できる。ここでもFTIRのように~のスペクトラムを検出することで、混入や変性を定する。医関係でも唾]や尿、p]などから異常を検出できる。

同社はベンチャーながら、センサと光源、その他のを搭載したh価キットやソフトウエアなどを顧客に提供している。

エディンバラの本社にいる社^は18@。SMCにはMEMSの]試作工場があり、6インチウェーハを使って]する。ただし、模はそれほどjきくないため、量にはファウンドリをWする。MEMSファウンドリパートナーとして3社、パッケージングパートナーとして4社eち、ラインの拡充にWする。中には200万個/週の攵ξをeつパッケージングパートナーもいるという。ベンチャーのため]ラインを拡jできないが、アウトソーシングを拡jしている。

この\術は、ドイツのシーメンスのIRセンサ靆腓AいDったものだが、当時シーメンスはパワーエレクトロニクスにRし始めていた。シーメンスは今でも株主の1社である。今Qに入り2度`のファイナンシングを行ったが、今vは日本の菱UFJも出@し、株主となった。売り屬欧呂泙西さいが、そのうちの20%は日本x場から来ており、日本にもXい線を送っている。

(2011/12/28)
ごT見・ご感[
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