MEMSでなければ拉墻叫せない瀾墑が判眷、センサネットワ〖クへの炳脫も渴鷗
MEMS瀾墑の拉墻が懼がっている。慷瓢灰では垮窘の拉墻を畝えた瀾墑も叫てきた。ドイツのボッシュ∈Bosch∷からスピンアウトした勢サイタイム∈SiTime∷家は垮窘の彌き垂えを晾い、-40×+85☆に畔り件僑眶奧年拉がわずか∞10ppmで、1×220MHzでプログラム材墻なMEMS券慷達瀾墑を券卿し、勢MEMSICは捶拉センサをコアにスマホからセンサネットワ〖クまでの炳脫を材墻にするシステムまで瀾墑を弓げている。
哭1 MEMS鼎慷達とICでクロックジェネレ〖タを瀾墑步 叫諾¨SiTime
MEMSはシリコンを考くエッチングしたり、CVDなどで潑檢な亨瘟を姥霖したり、リソグラフィでレジストを裁供したりするシリコンプロセスそのものであるが、100nm踏塔の腮嘿步は鏈く澀妥としないため、面井の染瞥攣措度が渴叫している。しかもただ帽にシリコンプロセスの裁供だけではなく、MEMSの炳脫まで雇えた瀾墑侯りをしている。
サイタイムが海攙リリ〖スしたMEMS券慷達瀾墑は件僑眶が奧年しており、疤陵ノイズともいうべきジッタ〖が500 fsと端めて井さい。1鉗粗瓢侯させた箕の沸箕恃步も∞1ppm笆布と井さい。久銳排蝸は40×70mAと驕丸の券慷達と孺べてもやや你い。この瀾墑は籃刨が光いため、RAIDストレ〖ジやクラウドサ〖バ〖、奶慨答孟渡、紛盧達、FibreChannel、イ〖サ〖ネットスイッチなどハイエンドの炳脫に羹いている。
山1 垮窘、SAWを畝えたMEMS 叫諾¨SiTime
垮窘と般い、MEMSが暗泡弄に銅網なのは、件僑眶を攻きなようにプログラムできることである。垮窘だとカットする逞刨によって慷瓢件僑眶が瘋まるため、件僑眶は蓋年してしまうが、MEMSは件僑眶を恃えることができる。海攙券山したオシレ〖タ瀾墑9121/9122は1×650MHzで恃えられる。
サイタイムは、企つのMEMSビジネスをコアとしている。辦つはMEMS鼎慷達チップを任卿するビジネスであり、もう辦つは券慷達とクロックジェネレ〖タとしてプラスチックパッケ〖ジに掐れた瀾墑として任卿するビジネスである。チップ卿りは染瞥攣メ〖カ〖に、パッケ〖ジ瀾墑はOEM/ODMメ〖カ〖(排灰怠達メ〖カ〖)に任卿する。染瞥攣メ〖カ〖は、垮窘慷瓢灰を嘲燒けしなくて貉むようにSiPパッケ〖ジに掐れたMEMS+ICを任卿できる。またOEM/ODMメ〖カ〖は、∞5ppmと光籃刨でキャリブレ〖ションされたクロックモジュ〖ルを緘に掐れることができるようになる。
サイタイムは、MEMS禱窖を蝗った券慷達とクロックジェネレ〖タの瀾墑のポ〖トフォリオを路えているため、ユ〖ザ〖は你久銳排蝸、光籃刨、排暗擴告などさまざまな瀾墑から聯ぶことができる。票家の瀾墑のもう辦つの潑墓は、垮窘慷瓢灰とは般いプラスチックパッケ〖ジを蝗えるため、コストを布げることができる。票家のMEMSチップは、シリコンウェ〖ハで窗鏈に甚賄しているため、モ〖ルド踐婚を萎してもMEMS鼎慷達嬸尸の鄂粗を澄瘦できるとしている。
MEMSの炳脫を卿るソリュ〖ションプロバイダ
勢MEMSICのビジネスは裁廬刨センサのような捶拉蝸を網脫するMEMSチップを卿るのではなく、MEMSセンサをベ〖スにしたソリュ〖ションを卿りモノにしている。これまでは極瓢賈、スマ〖トフォン、供度脫システムなどに動く、癱欄はさほど動くない。しかもMEMSの裁供肋灑はあるものの、肋紛に礁面し、翁緩となるとファウンドリを網脫するMEMSのセミファブ措度という疤彌燒けである。
裁廬刨センサやジャイロスコ〖プなどの捶拉センサは怠常弄な瓢きや濕妄弄な飯きを浮叫する。MEMS禱窖によって井房步と光慨完拉が材墻になるため、この禱窖もMEMSでなければできない炳脫の辦つである。MEMSICはMEMSセンサを肋紛瀾隴するだけではなく、MEMSをシリコンICチップに烹很しパッケ〖ジングする。呵糠のMEMS+ICの瀾墑では、裁廬刨センサにアンプやADコンバ〖タだけではなくDSPまで礁姥し、PCインタ〖フェ〖スにより木儡マイコンとやり艱りできるWLP∈wafer level packaging∷パッケ〖ジに掐れたセンサICをリリ〖スした(哭2)。
哭2 デジタル叫蝸できるMEMS裁廬刨センサIC 叫諾¨MEMSIC
このXC6226XCは、潰恕が1.2mm∵1.7mm、更さ1mmという畝井房のMEMS+ICだ。浮叫すべき裁廬刨のしきい猛をプログラムでき、飯夾逞を賴澄に肋年でき、ユ〖ザ〖がプログラムできるヒステリシスは4改ある。呵絡5它g(裁廬刨)にも卵えられる磋炬なシリコンICであり、スマ〖トフォンにおいて繼靠羹きを飯けるだけではなく、シャカシャカと慷って90刨恃えることもできる。
このMEMS ICではないが、X、Y、Zの3即を蝗って抖溫の慷瓢を撅箕盧年モニタ〖して、抖の蛻れや慷瓢などの佰撅を雌渾するというセンサネットワ〖クを菇蜜している。抖をつっている呂いワイヤに艱り燒けその慷瓢恃步をモニタ〖する。碰介、抖のワイヤには70改のセンサノ〖ドでモニタ〖盧年していたが、海鉗の9奉には150改に籠動した。
哭3 抖溫にセンサ〖を肋彌し抖を倪っている渺の慷瓢を盧年 叫諾¨MEMSIC
センサネットワ〖クの奶慨にはZigBeeを脫い、排灰攙烯を額瓢するのはソ〖ラ〖セルと眠排糜である。嘲嬸から排富を丁惦しないエネルギ〖ハ〖ベスティング禱窖となる。
哭4 センサノ〖ドは菇隴濕の覺輪をモニタ〖する 叫諾¨MEMSIC
MEMSICは、抖笆嘲にも搶度でも炮卷の季刨や、駝の季り惡圭を補刨センサと季刨センサを蝗うワイヤレスセンサネットワ〖ク羹けのシステムも丁惦している。ZigBeeセンサネットワ〖クのデ〖タをゲ〖トウエイからインタ〖ネットを奶してクラウドを網脫したりスマホを網脫したりすることでデ〖タを寵脫する。これにより呵努な箭誠泣を夢ることができ、ベストなおいしい侯濕を欄緩できる。この馮蔡、おいしい侯濕を光く卿れることから、獲垛の攙箭は玲ければ1シ〖ズンで貉むと斧姥もっている。
哭5 搶度にもセンサネットワ〖クを炳脫、呵努な箭誠泣を夢る 叫諾¨MEMSIC
