光い錢帕瞥拉をもつ糠しい冷憋亨瘟、エポキシ踐婚とフィラ〖の倡券渴む
錢をよく屁がすが、排丹は奶さない、という庶錢脫の冷憋亨瘟を、エポキシにフィラ〖緯灰として寒ぜることで錢帕瞥の庭れた踐婚が蝗えるようになる泣が奪い。AlNのフィラ〖を倡券しているトクヤマ、錢帕瞥唯の光いエポキシ踐婚を甫墊している簇讕絡池の付拍甫墊技が、マイクロˇナノファブリケ〖ション甫墊柴で撮を圭わせた。
辦忍に、排丹が萎れやすい濕劑は錢も萎しやすい。錢を燎玲く萎す(屁がす)ものの排丹は萎れにくい、という濕劑があれば、庶錢肋紛ˇ攙烯肋紛が弛になる。SiCセラミックスやAlNセラミックスのような亨瘟は排丹を奶さないが、錢は紊く奶す濕劑だ。パワ〖染瞥攣、光當刨の救湯脫LEDといった錢を庶叫する染瞥攣デバイスに羹く。
MOSFETやIGBTトランジスタのドレインは辦忍にシリコン答饒婁に眉灰が叫ており、nチャンネルなら排富排暗につなげる炳脫が孺秤弄驢い。このようなパワ〖トランジスタのドレイン票晃をつなぐという攙烯ならそのまま蝗えるが、答饒∈ドレイン眉灰∷を庶錢饒に木儡燒けられない脫龐では、冷憋濕を拆すことが驢い。この冷憋濕としてかつてはマイカ、崩熟といった光擦な亨瘟が蝗われていたが肌媽にコストの奧い亨瘟へと恃わってきた。AlNはセラミックディスクとして蝗われているが、その蝗い數のバリエ〖ションとして踐婚に寒ぜるフィラ〖としてAlN緯灰をトクヤマは倡券している。
哭1 AlNは錢帕瞥唯が光く、冷憋拉も光い
叫諾¨トクヤマ
トクヤマは10鉗笆懼も漣からAlNを緘齒けてきたが、その妄統は排丹帕瞥拉が你く錢帕瞥拉が光く、しかも奧鏈に艱り胺えるからである。戮の亨瘟と孺べると∈哭1∷、AlNは錢帕瞥唯が180、230 W/mKと光い。さらに光いBeO∈ベリリウム煥步濕¨奶疚ベリリア∷は魄拉がある。錢帕瞥唯が270 W/mKと光いSiCは冷憋拉が你くどちらかといえば染瞥攣である。冷憋拉と潤魄拉を灑えた亨瘟はAlNしかないともいえる。
AlNは、ホットプレスなどでディスク覺に裁供してセラミック瀾墑にすることがあるが、その答塑は蝕瑣である。その蝕瑣の緯仿を擴告することが滇められるが、票家の積つ叢傅免步恕では0.1μm笆布のものから10μm鎳刨のものまで瀾隴できる。しかし緯仿のさらに絡きな蝕瑣は評罷ではないようだ。附悸にシリコ〖ン踐婚などにフィラ〖として蝗う眷圭には、緯仿の佰なるAlN緯を寥み圭わせて蝗うとフィラ〖の郊哦唯は羹懼するという。
哭2 踐婚に錢帕瞥拉の庭れた蝕瑣をフィラ〖として寒ぜると踐婚を庶錢饒として蝗える
叫諾¨トクヤマ
叢傅免步恕は、アルミナ∈Al2O3∷とカ〖ボン∈C∷を寒ぜたものを免步しAlNとする條だが、その稿煥步して、AlN緯の山燙を煥步遂で勝う。木儡免步恕と孺べ山燙煥步遂の更さは2擒の11Ⅱ∈オングストロ〖ム∷鎳刨になる。呵稿の煥步借妄によって、緯山燙のイミド答∈N-H∷やアミド答∈N-H2∷を近殿し、姐胯なAlN緯ができることをXPS∈X俐各排灰尸各尸老恕∷で澄千している。
トクヤマは、パワ〖デバイスの庶錢饒としてAlNセラミックスをSHAPALという瀾墑嘆で任卿しているが、倡券墑では錢帕瞥唯がこれまで呵光の255 W/mKという猛を評ている∈哭3∷。これは、AlN緯腸に賂哼する稍姐濕を負らすことで茫喇したとしている。
哭3 OやYの稍姐濕を緯腸から你負させることで錢帕瞥唯を懼げた
叫諾¨トクヤマ
エポキシ踐婚に憚摟菇隴を瞥掐
辦數、錢帕瞥拉の紊い踐婚ができれば、裁供拉が庭れているため炳脫はさらに弓がる。簇讕絡池の步池欄炭供池嬸步池ˇ濕劑供池彩光尸灰炳脫亨瘟甫墊技の付拍叁統氮節兜鑒は、錢帕瞥拉の光いエポキシ踐婚の倡券に艱り寥んでいる。エポキシ踐婚はICチップの甚賄亨として茂でも夢っている亨瘟だが、錢帕瞥唯が你く券錢しやすいデバイスには蝗いづらい。付拍節兜鑒は、アモルファスのような踐婚に憚摟拉を積たせる菇隴にすれば、錢帕瞥拉が懼がり、廊拉も動くなるに般いないと雇え、エポキシ踐婚に憚摟拉を瞥掐してみた。
濕劑の憚摟拉を光めるアイデアの辦つは馮窘拉を瞥掐することである。そこで、光尸灰踐婚となじみの紊い閉窘亨瘟を寒ぜることにした。閉窘陵を績すメソゲン答モノマ〖をエポキシ踐婚に寒ぜた。メソゲン答は鼎舔菇隴を積ち、腳なって極甘寥駿步しやすいため、馮窘菇隴を侯るという拉劑がある。この閉窘拉エポキシ踐婚∈モノマ〖∷は、你補では馮窘拉、啪敗補刨を畝えるとネマチック閉窘やスメクチック閉窘などになり、さらに光補だとアモルファス覺輪の霹數拉を績す。毋えば、C195S205N215Iという啪敗補刨を積つ閉窘拉エポキシ踐婚は、195☆笆布は馮窘拉、それ笆懼205☆まではスメクチック閉窘弄、それ笆懼の補刨から215☆まではネマチック閉窘弄、215☆笆懼は霹數弄になることを罷蹋している。
哭4 閉窘拉を績すと驢馮窘弄にドメインが蓋まる
叫諾¨簇讕絡池光尸灰炳脫亨瘟甫墊技
悸賦では、C178S205N227Iの閉窘拉エポキシ踐婚DGETP-Meを脫い、キュア∈古步∷を2檬超乖い、補刨掘鳳を恃えた。170☆で1尸≤170☆で10尸の眷圭∈ネマチック∷と、160☆1尸≤120☆10尸の眷圭∈スメクチック∷に、市各覆腮獨で閉窘覺輪が囪盧された。ただ、これだけだと驢馮窘のようなポリドメイン覺輪であり、帽馮窘覺輪ではない。このため、1T∈テスラ∷の姬眷をかけて閉窘の羹きを路えてみた。X俐攙擂の馮蔡、馮窘拉のピ〖クを囪盧すると票箕に僥ˇ玻の動刨パタ〖ン般いも囪盧した。
哭5 錢帕瞥唯は2×3擒光まったがまだ稍顱
叫諾¨簇讕絡池光尸灰炳脫亨瘟甫墊技
錢帕瞥唯を盧年すると、驕丸のエポキシ踐婚は0.17~0.21 W/mKだったのに灤して、ネマチック閉窘覺輪は0.55 W/mK、スメクチック閉窘覺輪は0.68 W/mKという馮蔡が評られた。とはいえ、この鎳刨の錢帕瞥唯では悸脫步はほど斌い。そこで、フィラ〖も寒ぜてみることにした。脫いた閉窘拉エポキシ踐婚はC169N212IのDGETAMでフィラ〖にはBNを脫いた。BNもAlNと票屯、錢帕瞥唯の光い冷憋亨瘟であるが錢帕瞥唯はAlNの1/3に偽まる。
哭6 BNのフィラ〖で錢帕瞥唯は2.5 W/mKまで懼がった
叫諾¨簇讕絡池光尸灰炳脫亨瘟甫墊技
BNのフィラ〖を瞥掐すると、閉窘拉エポキシ踐婚の錢帕瞥唯は0.38 W/mKから2.5 W/mKまで懼がった。しかし、庶錢饒として蝗うためには、さらに猖簾が澀妥である。その數恕の辦つとして、フィラ〖にトクヤマのAlNを蝗うという緘がある。海稿の浮皮が弛しみだ。
徊雇獲瘟
1. パワ〖デバイスの呵糠禱窖瓢羹 ∈家∷エレクトロニクス悸劉池柴 芹俐饒瀾隴禱窖把鎊柴マイクロˇナノファブリケ〖ション甫墊柴媽13攙給倡甫墊柴 ∈2011/07/26∷
