染瞥攣禱窖とプリント攙烯答饒禱窖との董腸がますます斧えにくくなる
染瞥攣禱窖とプリント攙烯答饒禱窖の董謄が斧えなくなってきた。これまでは、プリント攙烯禱窖は染瞥攣禱窖の稿を納いかけてきた。攙烯俐升/俐粗持∈L/S∷で山される升は、染瞥攣禱窖では30nmくらいまで腮嘿步が渴んできたのに灤して、プリント攙烯禱窖は呵も腮嘿なパタ〖ンでさえ10/10μmだ。しかし、テクノロジ〖では嫡啪附據(jù)も斧える。
まずパタ〖ン裁供だ。プリント攙烯答饒そのものの鈣び嘆が努磊ではなくなってきた。芹俐パタ〖ンを驕丸のプリント(磅湖)禱窖ではなく、各リソグラフィ禱窖で裁供することが海や撅急となっている。プリント禱窖を蝗わないプラスチック答饒の芹俐パタ〖ンをどう鈣べばよいのかわからないが、ここでは捶毋懼、プリント攙烯答饒と鈣ばせていただく。
染瞥攣の坤腸ではArFレ〖ザ〖の閉炕禱窖が呵も腮嘿なパタ〖ンを翁緩レベルで磊っているが、プリント攙烯答饒ではレ〖ザ〖によるマスクレス木儡閃茶劉彌が翁緩レベルで蝗われている。レ〖ザ〖木閃は、染瞥攣のEB∈排灰ビ〖ム∷木儡閃茶に霹しい。ところが、JPCA2010ショ〖においてウシオ排怠が券山したリソグラフィ劉彌はL/Sが4μmとこれまでの呵光レベルに茫し、レ〖ザ〖木閃の俐升を卻いている。1970鉗にインテルがマイクロプロセッサを券山した箕が10μm俐升だったから、その碰箕のシリコン染瞥攣を畝えた條だ。ウシオの劉彌はしかもステッパである。
攙烯俐升が呵井でも4μmだから僑墓の沒いエキシマレ〖ザ〖ではなくUVランプを救紀(jì)する條だが、事乖各俐をステップアンドリピ〖ト數(shù)及で攙烯答饒に救紀(jì)することで絡(luò)きな攙烯答饒のパタ〖ニングを乖う。ここまで腮嘿なプリント攙烯答饒とは悸は染瞥攣チップをアセンブリする答饒に蝗う。毋えばインテルのプロセッサチップのアセンブリは泣塑のイビデンや糠各排丹供度が乖っているが、シリコンチップを烹很する答饒の攙烯俐升が10μm鎳刨まで腮嘿步している。このウシオのステッパUX-55はこういったメ〖カ〖に羌める徒年である。驢くの辦忍弄なプリント攙烯答饒ではフォトマスクには繼靠のフィルムそのものを蝗っているが、このステッパでは染瞥攣と票屯、光擦なガラスマスクを蝗うという。
辦數(shù)、レ〖ザ〖木閃劉彌を2000鉗ころから叫操してきたオルボテック∈Orbotech∷家は、驕丸の腆2擒光廬の呵絡(luò)5000綏/泣というスル〖プットの糠瀾墑を叫してきた。オランダのASMLがデュアルスキャン數(shù)及によってスル〖プットを懼げたように、オルボテックのParagon-Xpress9も略ち箕粗のない、デュアルスキャン數(shù)及でスル〖プットを懼げた。1箕粗碰たりのスル〖プットは240綏である。この劉彌の呵井パタ〖ンサイズは25μm、豺嚨刨は2.5μm、疤彌圭わせ籃刨は∞12μmである。
パタ〖ン裁供の悸蝸から咐えばレ〖ザ〖木閃よりもステッパの數(shù)が腮嘿步に努しているといえる。これが染瞥攣リソグラフィとの嫡啪附據(jù)だ。
10Gbpsのような光廬帕流に灑えて、プリント攙烯答饒懼にも各芹俐を網(wǎng)脫する活みが叫てきている。泣惟步喇供度は、泣塑CMKと鼎票で、光廬帕流が澀妥な炳脫では答饒柒に各瞥僑烯を侯り、ギガビット帕流ができることを捏捌した。これは攙烯答饒の懼にクラッド霖となる踐婚、さらにコア霖となる各古步房踐婚を很せてゆき、コア踐婚をパタ〖ニングして瞥僑烯を菇喇する。呵稿のその懼にクラッド霖を很せ、各を誓じ哈める條だが、コア霖の尉眉は夾めの逞刨を燒けて各を瓤紀(jì)できるような菇隴を侯瀾する。クラッド-コア-クラッドだけの譬湯なフィルムを泣惟步喇は倡券し、泣塑CMKがプリント攙烯答饒を捏丁、裁供する。瞥僑烯の祿己は0.04dB/cmと你いため40×50cm鎳刨なら蝗脫に卵える。テラバイト/擅の光廬ル〖タなどの答饒を儡魯するのに蝗えると斧ている。4Gbps帕流のアイパタ〖ンを囪盧している。 また、交艇ベ〖クライトも泣惟步喇と票屯なクラッド-コア-クラッドだけの譬湯なフレキシブル答饒を倡券しているが、プリント攙烯答饒には寥み哈んでいない。
泣惟步喇とCMKによるプリント攙烯答饒懼の各芹俐の捏捌
光廬答饒ではなく、リチウムイオン排糜を僥誤儡魯して絡(luò)排萎炳脫にプリント攙烯答饒を蝗おうという捏捌もある。交艇ベ〖クライトは、更さ600μmという更い萍のバスバ〖でリチウムイオン排糜をつなぎ、バッテリマネジメントICも烹很できる圭紛8霖のリジッド-フレキの答饒を捏捌した。另更は3.6mmとなる。これでリチウムイオン排糜をつなぎ蓋年する。芹俐脫の萍プレ〖トは摧い芹俐よりもインダクタンスが井さいため、こういった絡(luò)排萎脫龐に羹いているかもしれない。ただし、海のところ排萎推翁は40×50Aどまりだとしている。
交艇ベ〖クライトの絡(luò)排萎儡魯答饒
海鉗のJPCAショ〖は候鉗に孺べ攔斗で、介泣、2泣謄の圭紛丸眷莢眶は、候鉗の5它9476客に灤して、海鉗は6它8457客と15%籠になった。
