パナソニック、バ〖チャルメトロロジ〖でゲ〖ト煥步遂更のバラつきを徒盧
ウェ〖ハごとにばらつくゲ〖ト煥步遂更の盧年デ〖タを眠姥し、その稿のウェ〖ハごとの恃瓢を徒盧し墑劑瓷妄に欄かす、というパナソニックの欄緩禱窖俠矢がAEC/APC Symposium-Asia 2009のベストペ〖パ〖巨を減巨した。このシンポジウムは澎疊ˇ坷拍辦ツ抖淡前怪撇で乖われ、パナソニックが染瞥攣の墑劑を瓷妄できる禍毋を券山した。
腮嘿步とともにプロセスマ〖ジンが豆くなってくるにつれ、劉彌のバラつき、沸箕恃步をきっちり娃え、殊偽まりを你布させないことが稍材風(fēng)になってくる。パナソニックがAEC/APCシンポでベストペ〖パ〖に聯(lián)ばれた券山は、バ〖チャルメトロロジ〖∈VM∷と鈣ぶシミュレ〖ション禱窖。盧年ウェ〖ハサンプル眶を籠やせば籠やすほど籃刨は懼がるがコストがかさむ。このため徒盧を崔めて盧年する數(shù)恕、すなわちバ〖チャルメトロロジ〖を網(wǎng)脫してウェ〖ハバラつきを徒盧しようという條だ。
パナソニックは、ゲ〖ト煥步遂を妨喇するRTP(締廬裁錢プロセス)の劉彌を蝗って、ゲ〖ト煥步遂のウェ〖ハごとのデ〖タを何り、さらに恃瓢を驢恃翁豺老數(shù)恕と濕妄モデルを惟ててシミュレ〖ションする數(shù)恕について拇べた。
煥步廬刨のVMモデルは、Oラジカルを妨喇させて煥步する數(shù)恕であり、Oラジカル腔刨はチャンバ柒暗蝸Pとウェ〖ハ補(bǔ)刨(ランプ叫蝸Iに垂換)に孺毋することを網(wǎng)脫する。驢恃翁豺老のモデル及では、それぞれPとIを恃眶とみなして犯眶をかける數(shù)鎳及、濕妄モデルの及は、ランプ叫蝸から錢祿己簇眶を汗し苞いた數(shù)鎳及を惟てた。いずれのモデルでもランプの叫蝸はウェ〖ハ微燙から15改のパイロメ〖タ〖で補(bǔ)刨を盧るため、15改尸の叫蝸を裁えておく。
企つのモデルが悸盧猛と圭っているか、悸盧猛との陵簇犯眶はどの鎳刨かを拇べた馮蔡、琵紛モデルでは陵簇犯眶は0.73、濕妄モデルでは0.89と湯らかな銅罷汗が斧られた。また稍紊墑と冉年するアラ〖ムが疙侯瓢する充圭は琵紛モデルでは11%あったが、濕妄モデルは0%だった。これらの馮蔡からパナソニックは、濕妄モデルでさらなる徒盧も滇めることを瘋めた。
ウェ〖ハ眶2它綏まで悸盧し、そのデ〖タをもとにそれ笆慣、ゲ〖ト煥步遂更をウェ〖ハごとに徒盧を惟て、さらにその悸盧猛とも孺秤した。その馮蔡、陵簇犯眶は0.92とさらに光まり、このモデルで徒盧することが材墻であることを績している。
さらに悸狠の排丹弄テストから斧姥もったEOT∈煥步遂垂換更さ∷と、海攙のVMモデルによって徒盧した更さとの陵簇も滇めた。その馮蔡、EOTとの陵簇犯眶はダミ〖ウェ〖ハ∈NPW∷での悸盧猛が0.57しかなかったが、VM恕だと0.66とむしろ光いことがわかった。
