MEMSとCMOSとの呵努な礁姥步によりICの拉墻羹懼が湯澄に
さる9奉面杰、糠熾絡池で倡號された排灰攫鼠奶慨池柴のエレクトロニクスソサイエティ肩號の措茶≈More than Mooreを悸附するMEMS突圭LSI禱窖∽では、MEMSデバイスをCMOSLSIに突圭する眷圭の禱窖の羹かうべき數羹が斧え幌めてきた。MEMSとCMOSを突圭するならMEMSラストにすべき、65nmˇ45nmと腮嘿步の黎眉をゆくCMOSとの突圭なら1チップ步せずSiPを蝗うべき、との鼎奶圭罷が評られた。
セッションの郝墓を壇める澎疊供度絡池琵圭甫墊薄の弊辦喝兜鑒は、MEMS禱窖やCMOSとの突圭禱窖を寵券步させる懼で澀妥なファウンドリ茨董の腳妥拉について回紐した。瀾隴できる茨董、それも絡池簇犯莢が瀾隴できる茨董、さらには倡券莢票晃が磊懌脈酸できる茨董も腳妥で、絡池における瀾隴卉肋だけではなく絡池票晃のネットワ〖クを欄かす茨董やサ〖ビスの慌寥みも澀妥だと啼瑪捏彈した。弊兜鑒は、勢柜のジョ〖ジア劍アトランタとカリフォルニア劍などの絡池とを馮ぶ鼎票甫墊攣擴を疽拆し、みんながCMOSを蝗えるようにすることが絡禍だとした。泣塑にもCMOSファウンドリがあれば、CMOSプロセスで攙烯を瀾侯し、その稿でMEMS嬸尸を侯るというMEMSラストのプロセスを蝗えるようにしたいという。
CMOSとMEMSの礁姥步については貫李絡池の光薩毖水兜鑒も、これまで活侯したMEMSセンサ〖とCMOS攙烯による卡承センサ〖や3即裁廬刨センサ〖などを疽拆したが、礁姥步にはやはりMEMSラストが司ましいとしている。ただし、礁姥步には腮嘿なCMOSと潰恕の絡きなMEMSを痰妄に1チップに礁姥することは豈しいが、0.35μmのような孺秤弄絡きめなCMOS攙烯がMEMSとの礁姥に羹くとしている。卡承センサ〖アレイで爬機を粕み艱る眷圭にはやはり礁姥步のメリットは絡きい。
そもそもMEMSは腮井な怠常であり、CMOSはエレクトロニクス攙烯であるが、それらを1チップあるいは1パッケ〖ジに突圭するためには、怠常デバイスを部とかして礁面年眶で霹擦攙烯を山附できれば排丹攙烯のようにシミュレ〖ションできる。こう雇えたのは、疊旁絡池絡池薄供池甫墊彩マイクロエンジニアリング漓茍の炮舶靡統兜鑒。MEMSの菇隴攣を燎灰に尸豺し、MEMSpiceと鈣ぶシミュレ〖タのモデルや、バネや笨瓢數鎳及を排丹燎灰や攙烯に恃垂するシミュレ〖タなどを疽拆した。さらに瑯排推翁センサ〖としてのMEMSによる爾妨排端に木萎バイアスと蛤萎排暗を裁え、その件僑眶炳批を悸盧とシミュレ〖ションとを孺秤した。圭わせ哈みパラメ〖タを蝗って悸盧猛に圭うようにした稿は、悸盧猛とほぼ辦米した。
疊旁絡池炮舶靡統兜鑒の豺老したMEMSデバイスの孺秤
澎疊供度絡池琵圭甫墊薄の佬付競兜鑒は、MEMSデバイスはRF攙烯の減流慨スイッチやフィルタなどにも銅脫であることを揭べ、RFインダクタをMEMSで侯り、プレ〖ナ禱窖やWLP∈ウェハレベルパッケ〖ジング∷で侯る眷圭と孺べ、Q猛が光くなることを悸沮している。MEMSだとコイルの俐粗が鄂粗になり大欄推翁が負るためだとしている。
RFパワ〖アンプにMEMSを礁姥する毋は、絡池だけではなく、措度からも浮皮馮蔡が券山された。NTTドコモ黎渴禱窖甫墊疥アンテナˇデバイス甫墊グル〖プの鉑宏估皇肩扦甫墊鎊は、まだ睛脫步されていないRFのMEMSデバイスを啡掠排廈のマルチバンド步に蝗うための浮皮を乖っている。流慨攙烯のパワ〖アンプのフィルタ攙烯の磊り侖えスイッチにMEMSを網脫する。驕丸のバラクタダイオ〖ドなどの染瞥攣材恃デバイスは柒嬸鳥鉤や大欄推翁などの逼讀を減けやすいのに灤して、MEMSスイッチは你祿己、光アイソレ〖ション、你夏という潑墓がある。MEMSスイッチを蝗ったことで、0.9GHz、1.5GHz、2.0GHz、2.6GHzの稱件僑眶で稅下叫蝸がいずれも30×31dBm評られ、1dB你布箕の叫蝸でも28.1dBm×30.0dBmという紊攻な馮蔡を評ている。
NTTドコモ黎渴禱窖甫墊疥のマルチバンドRFパワ〖アンプ菇喇
少晃奶脊乖舔鎊撅壇の捍陵建宮會は、啡掠に蝗われているMEMSセンサ〖の毋を懼げ、MEMSのようなメカトロニクスに彈傍する墑劑弄な草瑪が賂哼することを回紐した。毋えば、MEMSの殊眶紛を啡掠排廈の欄緩ラインで瓢かなくなり、それを豺老していると傅に提った、という毋がかつてあったという。怠常弄デバイスは賴撅だったり肝俱したりするようなインタ〖ミッテント稍紊が券欄しやすいが、墑劑瓷妄としてももっとも恬拆な啼瑪の辦つになる。
さらにエレクトロニクスの排姬腸豺老だけではなく、錢豺老や炳蝸豺老といった怠常弄な豺老も崔めた琵圭肋紛ˇ瀾隴プロセスを啡掠排廈のモノづくりにフル寵脫していることを湯らかにした。
少晃奶の琵圭肋紛ˇ瀾隴茨董
シミュレ〖ションは悸盧猛と碰たるˇ碰たらない、ということがよく的俠されるが、この琵圭茨董でもそのような劑啼が叫た。捍陵撅壇は錢豺老や炳蝸豺老のようなメカニカルな豺老はよく碰たるが、RFやアンテナ豺老は碰たらないと批えた。これはメカニカルなものほど肋紛デ〖タの眠姥があるためだとしている。
