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GlobalFoundriesが28nm/22nmのFab2ラインの工式を7月24日に行う

GlobalFoundries社がニューヨークΕ汽薀肇郡に建設する300mmプライムウェーハ工場Fab2の工式を7月24日に行うことをらかにした。かつてアプライドマテリアルズ社やLSIロジックに在籍していたことのある、Fab2の責任vNorm Armourがセミコンウェスト2009において、「メーカーにとってのグッドニュースは盜颪忘農菽爾旅場を戻したこと」と述べ、拍}_采を浴びた。

同社バイスプレジデント兼ジェネラルマネジャーであるArmourは、Fab2の画を語り、2010Qはじめに建屋が完成し、2010Q後半にFabラインが完成、そして2011Q後半にn働開始するとしている。

GlobalFoundries


同社がこれまでのファウンドリのビジネスモデルとのjきく違うことを同は喞瓦垢襦まずオースチン、ニューヨークΑ▲轡螢灰鵐丱譟爾肇侫.屬分gしていること、IBMとのコラボレーションによるプロセスのY化をしていること、さらに世c中のエンジニアをできること、そしてカスタムデザインによるプロセス構築ができること、を挙げている。来なら国や地域に限定したファブラインやそこにおける開発、地域にしかいないエンジニアなどの違いがあったとしている。に、PDK(プロセス設キット)を提供し、顧客とのコラボレーションがやりやすいことも喞瓦垢襦

「最先端ファウンドリのスキルを盜颪北瓩掘盜颪]業の争をけられる_要な位に来た」と述べた。このために、ニューヨークΔ隆碓cの投@が最もjきく、42億ドル(4000億)の模に達すると見積もっている。これによって1400@の直接雇を擇漾間接的には5000@の雇を擇爐噺ている。ニューヨークΔ任龍\術クラスタのインパクトはjきく、レンセラー工科j学などの教育機関やニューヨークという経済の荽△修靴萄農菽璽侫.屬箸いΕ┘灰轡好謄爐出来屬るとする。

300mmウェーハを使うFab2では、当初28nmプロセスからはじめ、22nmプロセスも認定していく。ラインが立ち屬ると3万5000/月の攵ξをeち、ドイツのドレスデンでの経xをテコに世cクラスの効率と歩里蠅鮹成できると述べる。そのためにドレスデンの40nmラインで使っているAPM(automated precision manufacturing)の次世代版を採し、ラインすべてに渡りリーンプロセスを基本とするとしている。さらに、グローバルなファブのネットワークを集積し、相互に使えるような\術を開発する。

このファウンドリがあると顧客にO信を与え、最先端\術のξを広げることができ、供給の要求にうまく合わせていくことができるとしている。

Fab2の仕様として、ファブが883,000平汽侫ート、そのうち、クラス100のクリーンルームは300,000平汽侫ート、所が220,000平汽侫ートなど、総1,327,420平汽侫ートに屬襦M△侶颪33,699平汽侫ートある。当初の攵ξは35,000/月だが、少しずつ6万/月に屬欧蕕譴襪茲Δ砲覆辰討い襪箸いΑ

これまで、SOI向けのFab1 モジュール1ライン、バルクCMOS向けのFab1 モジュール2ラインと合わせて、45nm/32nm/28nm/22nmプロセスのハイkメタルゲート、]浸リソ/EUVなどのプロセスのポートフォリオができる。


(2009/07/23 セミコンポータル集室)

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