基��の�|類が広がってきたとはいえ、シリコンで加工するメリットは実は�jきい。電子�v路も集積できるからだ。シリコンのMEMSデバイスでは、10�Q以�屬��iから加�]度センサーや圧��センサーが�x場で使われており、テキサスインスツルメンツ社のDLPディスプレイに使われてきたデジタルミラーデバイスも実績がある。最�Zは、��小型マイクロフォンとしてのMEMSデバイスが商��化されており、携帯電�Bの薄型化や防�畸�の音圧センサーとしての����がある。シリコンを使うためアンプも内�鼎任�、ノイズの影�xを�pけやすい高インピーダンス入��を低インピーダンスに変換することで、ゲイン�\加とノイズ耐性を両立できる。

　今�vの�t��会では、高周�Sの送�p信スイッチとしてのMEMSを��菱電機とオムロンの2社が見せていた。これまでの携帯電�Bでは、GaAsFETを使った送�p信スイッチが�k般的であるが、MEMSを�W��した機械的スイッチはオン/オフのアイソレーションが�jきくとれ、送信と�p信あるいはマルチ周�S数の送�p信でも性�ξ�化はそれほど低下しない。たとえば��菱電機が�t��したMEMSスイッチでは周�S数20GHzの通信でも19dB以�屬離▲ぅ愁譟璽轡腑鵑�とれる。直流から20GHz��度までは使えるスイッチである。

　原理的にこれらのスイッチはシリコンのカンチレバーを��電気で動かし、オン/オフ動作させるもの。機械式のリレースイッチと�瑤討い襦�接点�霾�に金�鑠譴鬟好僖奪燭覆匹��\積し、その�霾�の接触/��接触でオン/オフ動作をする。ただし、他のMEMS応��デバイスと同様、��電気を�W��するため電圧が10V以�屬塙發�なるという�L点はある。

　この高周�S��MEMSスイッチは、その後段に可変フィルタを��いることで、マルチ高周�S数�v路を小型にできるというメリットがある。例えば、世�c中どこでも使える携帯電�Bやモバイルテレビなどに向く。モバイルテレビのワンセグは日本でしか使えない。欧�Δ籘f国、これからの�盜颪覆匹���格とは異なるためだ。しかし、このMEMSスイッチは使��周�S数�J囲が広いため、世�c中のどこにでも合わせることができる。

　いずれのメーカーも試作段階での�t��となったが、オムロンは2008�Qの1月に商��化を�`指すという�`�Yを�eっている。