欄緩拉羹懼は緩度腸のためになると慨じるISMIが450mm寵瓢覺(jué)斗を湯らかに
≈200mmから300mmウェ〖ハへ?cái)」预工毪趣猡饯Δ坤盲郡⒇Mしい啼瑪にぶち碰たるとすぐにできない、という客がいるが、エンジニアはイノベ〖ティブな緘恕を倡券し豈啼を豺瘋した。そのときの豈啼はリソグラフィのスル〖プットだった。しかし、300mmスキャナ〖が券湯されたことで200mmと票じスル〖プットを緘に掐れた。部もしないうちからデキナイという客は攻きじゃない∽。SEMATECH槐布のISMI∈International SEMATECH Manufacturing Initiative∷の瀾隴禱窖嬸嚏バイスプレジデントのScott Kramer會(huì)は咐い磊る。
300mmから450mmウェ〖ハへの敗乖に灤して悼啼渾する蘭は動(dòng)いが、450mmウェ〖ハを蝗った瀾隴プロセスはそう詞帽には菇蜜できない。しかし、≈錢罷のあるエンジニアは澀ず豺瘋する∽と票會(huì)は胳る。450mmウェ〖ハへの敗乖を夸渴するISMIと、瓤灤していたSEMIという灤惟即の面で、ISMIが夸渴してきた450mmウェ〖ハ紛茶の渴鷗覺(jué)斗が湯らかになった。SEMICON Japan倡號(hào)箕袋に圭わせて穗磨メッセで450mmプロジェクトの渴鷗覺(jué)斗鼠桂柴が倡號(hào)された。
附哼、インテル、TSMC、サムスンの3家が450mmウェ〖ハへの敗乖をコミットしており、ISMIは稱家のコラボレ〖ションを夸渴するという惟眷になっている。ISMIが450mmを夸渴する含凋は、これまでの染瞥攣が殊んできた悟凰からわかるように、絡(luò)庚仿步はコストダウンにつながってきた、染瞥攣緩度はこれからも喇墓する、欄緩拉羹懼は風(fēng)かせない、禱窖弄な啼瑪は澀ずそれに末里して豺瘋してきた、という4つの妄統(tǒng)からだ。潑に、欄緩拉羹懼はマストである。ISMIのフィロソフィとして、欄緩拉羹懼を裁廬することであり、萎れに扦せて靳」に欄緩拉を懼げていくという惟眷はとっていない。
ISMIは、テストウェ〖ハを侯り劉彌を績(jī)し、呵介のウェ〖ハを?yàn)戨]してみること、そのためのロ〖ドマップを侯る。2009鉗に450mmテストウェ〖ハを侯喇し300mmと票霹に侯れること、32nmの墻蝸を積つプロセスおよび浮漢劉彌を2010~2012鉗で侯ること、2012鉗笆慣にICメ〖カ〖のパイロットラインに瞥掐できるような翁緩潔灑劉彌∈22nmまで橙磨材墻∷を侯ること、としている。このようなタイムラインで渴めていけばコストを呵井にできるという。
そのテストウェ〖ハは、まず驢馮窘シリコン、肌に帽馮窘シリコン、肌の檬超で、煥步遂をパタ〖ニングした帽馮窘シリコンを蝗う。
肌に、EPM(劉彌拉墻の架刨)を忽年する。これは450mmの劉彌を倡券するのに碰たり、腳妥なプロセス拉墻を山す架刨を瘋め、活侯した劉彌の刪擦に蝗えるようにする。まず、どの劉彌を活侯すべきかサプライヤが庭黎界疤をつける。2010~2012鉗に活侯する劉彌に蝗えるようにする。
その架刨を瘋めるために肌の緘界で乖う。ISMIがまず劉彌をリストアップ、メンバ〖措度が劉彌の庭黎刨をつける、それを傅にISMIが架刨と盧年數(shù)恕のたたき駱を侯る。メンバ〖措度はそれを餞賴、サプライヤと的俠し、呵姜弄に架刨と數(shù)恕を瘋め給山する。
EPMとしての掘鳳は、鏈忍弄に450mmでも染瞥攣緩度が喇墓できるようなコスト菇隴を拜積すること、董腸掘鳳として300mm劉彌よりも欄緩拉が光いこと。ITRSの欄緩拉羹懼紛茶によれば、300mmウェ〖ハの欄緩拉は、2008鉗箕爬における1箕粗あたりのスル〖プットを答潔に髓鉗4%羹懼していくとしている。
その戮、辦忍弄にEPMに妥滇されることとして、450mmウェ〖ハのカセットはもはや積ち笨ぶことをせず、PGV∈Personal Guided Vehicle∷を網(wǎng)脫して、FOUPの敗流やロ〖ド/アンロ〖ド侯度をする。さらに450mm劉彌は、300mm劉彌の井憚滔猖紊でできるようにするため、絡(luò)きすぎないように肋紛する。
劉彌鏈嬸の拉墻架刨を瘋めるのは2009鉗漣染までに窗位する。そのためのサプライヤ羹けワ〖クショップを2009鉗媽1煌染袋に紛茶している。そして、450mm活侯劉彌のテスト緘恕の倡券、450mmテストウェ〖ハの侯喇を沸て、2010鉗笆慣に活侯劉彌を窗喇させる。
これまでのISMIの肩な寵瓢は、ウェ〖ハバンク數(shù)及をとり、ウェ〖ハを瓷妄し、それを蝗った悸賦をサポ〖トしている。まずシリコンウェ〖ハを關(guān)掐し、ISMIが瓷妄する。サプライヤはそのウェ〖ハをISMIから稼りて悸賦デ〖タを何る。その悸賦デ〖タをISMIは鼎銅する。附哼、更さ925μm+/-25μmの驢馮窘Siウェ〖ハを150綏ストックしている。更さを775μm、825μm、875μm、1mmを恃えた驢馮窘ウェ〖ハもあるが、警ししかない。帽馮窘ウェ〖ハもまだ警ししかないが、2009鉗Q1には絡(luò)翁に掐緘材墻になる。附哼、155綏のウェ〖ハを20家に邏し叫し面だとしている。
まずウェ〖ハの怠常弄な潑拉を盧年刪擦するため、孺秤弄瀾隴しやすい驢馮窘シリコンウェ〖ハを蝗い、慷瓢や裁廬刨の逼讀を拇べ、叫操漣稿で潑拉恃步のないことを澄千する。デ〖タを豺老し、SEMI篩潔のシリコンスペックにフィ〖ドバックする。
毋えば、腳蝸の逼讀によるたわみを驢馮窘ウェ〖ハで盧年したところ、ウェ〖ハ毀積跡惡とたわみとの簇犯は湯澄にあるが、更さとの簇犯は警ないことがわかった。また、帽馮窘ウェ〖ハでも票屯な飯羹はあるが、冷灤猛はやや警なかった。
ウェ〖ハを蝗い、ロ〖ドポ〖トやウェ〖ハキャリヤ、ロボット、EFEM∈Equipment front-end module∷、PGVなどに蝗えるかどうかという刪擦も20家笆懼と浮皮している。嘆漣の給山を釣す措度には、Asyst Technologies、Brooks Automation、CyberOptics、Entegris、Fixeon、Genmark Automation、Gudeng Precision Industrial、H-Square、Nikko、SUMCOがある。
450mmはESH∈茨董帴奧鏈帴夫汞∷啼瑪にも呵介から艱り寥む。450mmへの敗乖は、茨董啼瑪を鏈燙弄に斧木すよいタイミングだとし、エネルギ〖や垮、挑墑、亨瘟について浮皮していく。その馮蔡を300mmにもフィ〖ドバックし努脫していく。
警翁欄緩のデバイスの欄緩に450mmウェ〖ハを蝗う罷蹋は海のところない。このため、≈みんながみんな450mmへと敗乖する澀妥はない。海でも300mmウェ〖ハを蝗わずに200mmウェ〖ハでビジネスし網(wǎng)弊を懼げている措度もある∽と票會(huì)は450mmを痰妄やり病し燒けるわけではなく、措度の罷羹を潞腳する。≈あくまでも450mmへのフィ〖ジビリティや沸貉拉を浮皮し、いろいろな措度と廈し圭い、よく使き、妄豺に咆め、プランを惟てることが絡(luò)禍だ。いろいろな罷斧があり、450mmへの敗乖に鏈鎊瓤灤でも豢喇でもない。SEMIともSEMIメンバ〖とも木儡廈し圭いをしている∽と海の覺(jué)輪を棱湯する。≈とはいえ、欄緩拉羹懼は緩度腸のためになる∽と票會(huì)は慨じている。
