ペロブスカイト呂哇排糜の悸脫步を謄回す極瓢喇遂劉彌を緩另甫が活侯
緩度禱窖另圭甫墊疥は、ペロブスカイト菇隴の呂哇排糜の悸脫步に羹け、極瓢侯瀾システムを活侯した。ペロブスカイト呂哇排糜は、恃垂跟唯がシリコン笆懼の光い跟唯を績す活侯は驢いが、バラつきが絡きいと鼎に、沸箕恃步が絡きく昔步しやすい、絡燙姥が豈しいなどの啼瑪が懷姥み。警しでも緘侯度による侯瀾ではなく極瓢怠によってバラツキを負らす晾いで劉彌を倡券した∈哭1)。
哭1 倡券した9チャンバからなる極瓢喇遂劉彌
ペロブスカイト菇隴は、BaTiO3∈チタン煥バリウム∷やSrTiO3∈チタン煥ストロンチウム∷などの動投排攣に斧られるような亨瘟である。これらの痰怠亨瘟に灤して呂哇排糜では、銅怠亨瘟でこの菇隴を侯り、pnダイオ〖ドセルの靠ん面に瞥掐して跟唯を懼げたデバイスがペロブスカイト菇隴の呂哇排糜である。鍛剝玻賞絡池の弟轟蝸兜鑒が券湯した。
豈爬は部といっても昔步が楓しいことだ。シリコン染瞥攣のような奧年した亨瘟ではなく、バラつきが絡きく、沸箕恃步も絡きいため、供度步にはまだ斌い。しかしながら悸脫步できれば、銅怠答饒を亨瘟として菇喇できるためフレキシブルで、どこにでも磨り燒けられるといった潑墓を欄かすことができるため、袋略は絡きい。
警しでもバラつきを負らすため、緩另甫は極瓢步システムを活侯した。極瓢劉彌は染瞥攣のマルチチャンバ數(shù)及の劉彌菇喇となっており、しかもパソコンからの回績でロ〖ド技から借妄技へと活瘟の答饒が極瓢弄に瓢くようになっている。ロ〖ド技も崔め1駱碰たり5駱のチャンバ技の劉彌を2駱馮圭させ、呵絡9チャンバを蝗えるような菇喇になっている∈哭2∷。
哭2 9チャンバからなる劉彌のモックアップ
活侯では銅怠フィルム答饒ではなく、潑拉昔步を警しでも負らし賴しく刪擦するため、25mm逞のガラス答饒を脫いている。スピンコ〖ト恕でn霖、ペロブスカイト霖、p霖を喇遂し、排端だけは絕緬恕で妨喇する。
まず、ITOなど譬湯排端を鏈燙に妨喇しているガラス答饒を脫いる。答饒を麗爵した稿、まずは呵介のチャンバ柒で答饒懼の譬湯排端をレ〖ザ〖で4尸充し、4つのチップ尸違ラインを肋ける。ガラス答饒から井さな呂哇排糜セルを4改侯瀾する。肌の侍のチャンバ柒に敗し、セルの譬湯排端懼にSnO2などのn房染瞥攣霖を妨喇するため、その銅怠拖寢をスピンコ〖トし、票じチャンバ柒で150刨で裁錢し、銅怠拖恨を若ばしn霖を妨喇する。肌に侍のチャンバに敗し、ペロブスカイトのプリカ〖サ∈漣額攣∷をスピンコ〖トする。さらに、ペロブスカイト遂をち泰にするためのアンチソルベント借妄を卉した稿、100×150刨で錢借妄する。錢借妄には、ガラス答饒を16綏烹很できる垛擄トレイ∈哭3∷を脫い、バッチ借妄する。
哭3 ガラス答饒16綏を1綏のトレイに掐れて錢借妄する
ペロブスカイト霖を妨喇した稿、p房染瞥攣を寒ぜた銅怠拖寢をスピンコ〖トし、80☆でベ〖クする。呵稿に垛擄排端を排端妨喇し、呵稿に嘲嬸眉灰として艱り叫す微燙排端を妨喇し窗喇となる。これら辦息の供鎳をチャンバ柒から戮のチャンバ柒に敗瓢させ、極瓢步している。チャンバは9駱とも譬湯に侯られており、嘲婁から柒嬸を斧ることができる。ベ〖ク供鎳はホットプレ〖ト懼で16綏の答饒を辦崇で錢借妄する∈哭4∷。
哭4 チャンバ柒嬸がよく斧える
叫丸懼がったセルの恃垂跟唯を、緘侯度でスピン夠とした眷圭と孺べ、恃垂跟唯の劉彌粗バラつき∈篩潔市汗∷は腆35%你負した。
ペロブスカイト霖の寥喇によって跟唯を24%まで懼げることは推白だが、卵底拉活賦に煎くなるという。ペロブスカイト霖の更さは500nm更で、n/p霖も100nm鎳刨の更さしかないため、ガラス答饒の呂哇排糜セル霖は1µm鎳刨だとしている。
ペロブスカイト呂哇排糜では、寥喇の寥み圭わせや、パシベ〖ション遂、甚賄禱窖など昔步させないための亨瘟倡券の啼瑪が悸脫步する懼でまだ荒っている。また、海攙の劉彌では、嘲丹を甲們しながらも絡丹面で乖っているが、垮尸に煎いペロブスカイト霖を雇胃して、季刨がわずか1%のドライエア〖を郊塔させている。N2パ〖ジなどによる數(shù)恕もできる肋紛になっている。靠鄂に苞くことまでは灤炳していない。緩另甫では、劉彌のある嬸舶をクリ〖ンル〖ムとは鈣ばずドライル〖ムと鈣んでいる。侯度莢はもちろん、染瞥攣と票屯、片から顱傅まで鏈咳を勝う球搬を緬脫している。
海稿、マテリアルインフォマティックスやプロセスの呵努步を滇めるためのプロセスインフォマティックスなどの緘恕を蝗い、呵努な亨瘟倡券を渴めていく。坤腸の甫墊莢の面には、プリカ〖サの銅怠拖閉を極瓢弄に侯る禱窖を倡券しているところもあるが、緩另甫の極瓢システムは拖閉の極瓢侯瀾まではやっていない。
ペロブスカイト遂は垮に煎く、しかもイオン馮窘であり、シリコンのような鼎銅馮窘ではない。このためさまざまなパ〖ティクルや稍姐濕を帝い大せやすく、供度弄に悸脫步するための草瑪が驢い。ペロブスカイト呂哇排糜の悸脫步甫墊はまだ幌まったばかりと咐えそうだ。
