GaN馮窘からウェ〖ハにスライスするレ〖ザ〖禱窖で欄緩拉を懼げる
GaNパワ〖デバイスがすでにスマ〖トフォンの締廬郊排達(dá)などに蝗われているが、GaN馮窘の裁供にもメドがついたようだ。SiC票屯、GaNバルク馮窘も蓋く、バルクのインゴットからウェ〖ハにスライスすることが豈しかった。ディスコが孺秤弄詞帽にスライスできる禱窖を倡券、ウェ〖ハとして蝗える箭翁も37.5%籠やせることがわかった。
哭1 パワ〖染瞥攣デバイスの卵暗とオン鳥鉤 叫諾¨嘆概舶絡(luò)池
GaNパワ〖トランジスタはHEMT∈光排灰敗瓢刨トランジスタ∷菇隴が驢く、排萎はチップ山燙に辮って玻數(shù)羹に萎れる。しかし、SiC MOSFETやSi IGBTのように、バルクを網(wǎng)脫して僥數(shù)羹に排萎を萎すような菇隴にすると卵暗は1200V笆懼とれる懼に、排萎も驢く萎せる。また、パワ〖染瞥攣に風(fēng)かせない潑拉であるオン鳥鉤はSiCよりも井さく、ロスが警ない∈哭1∷。しかし、馮窘侯りが推白ではない。風(fēng)促が驢く、しかも馮窘喇墓に箕粗がかかるからだ。
GaNはSiC馮窘と票屯、怠常弄に蓋いという潑墓があり、馮窘ブ〖ル∈インゴット∷から剩眶のダイシングソ〖肯でウェ〖ハ覺にスライスしていくが、泅く磊り叫すことが豈しかった。ディスコは、GaN馮窘インゴットの山燙から柒嬸に廄爬を圭わせ、レ〖ザ〖をスキャンしながら鏈燙に救紀(jì)する數(shù)恕を蝗い、山燙嬸尸をウェ〖ハとして瓊違する禱窖を倡券した∈哭2∷∈徊雇獲瘟1∷。票家はSiC馮窘で禽ったウェ〖ハに磊り叫すKABRAと鈣ぶ禱窖∈徊雇獲瘟2∷をGaNに炳脫した。
哭2 ディスコが倡券したレ〖ザ〖救紀(jì)によるウェ〖ハ瓊違禱窖 叫諾¨ディスコ
驕丸のようなワイヤ〖裁供による數(shù)恕では、ウェ〖ハ山燙に更さ40µm鎳刨のうねりが券欄し、それを近殿するためにラッピング甫酸が澀妥だったが、海攙のKABRA恕ではこのラッピング甫酸供鎳がいらない。ただし、ユ〖ザ〖が回年する更さに慌懼げる甫酸は澀妥。その馮蔡、驕丸のワイヤ〖裁供では8綏のウェ〖ハしか艱れなかったインゴットから11綏艱れるようになると鼎に、1箕粗碰たりのウェ〖ハ欄緩綏眶が驕丸なら1綏だったのが6綏材墻になった。甫猴に燃う亨瘟の祿己も驕丸の100µmから60µmに負(fù)った。ウェ〖ハへの裁供箕粗も絡(luò)升に負(fù)警し、コストを布げられるようになる。
この禱窖に簇する潑釣は、叫搓面を崔み34鳳あるとニュ〖スリリ〖スでは揭べているが、票屯にレ〖ザ〖を脫いてGaN馮窘をウェ〖ハにスライスする禱窖は嘆概舶絡(luò)池踏丸亨瘟ˇシステム甫墊疥の歐填估兜鑒、拍面曝欠潑扦節(jié)兜鑒らのグル〖プでも倡券し、2022鉗5奉に券山している∈徊雇獲瘟3∷。
嘆概舶絡(luò)池のグル〖プは、1綏のウェ〖ハに瓊違する禱窖について揭べられており、レ〖ザ〖を救紀(jì)した稿、ウェ〖ハとなるべき嬸尸に漚ったテ〖プを奶して毀積答饒で瘦積し苞きはがすという數(shù)恕を蝗っている∈哭3∷。ウェ〖ハ更は50µm鎳刨であるため、ウェ〖ハにデバイスとなる瓢侯霖が妨喇されている眷圭でも蝗える。悸賦では更さ450µmのウェ〖インゴットから、50µmの更さのウェ〖ハに裁供している。
哭3 GaN答饒をレ〖ザ〖によってスライスする禱窖 叫諾¨嘆概舶絡(luò)池
悸は、この緘恕は、Infineon Technologiesが2018鉗11奉に傾箭したSiltectra家が倡券したCold Split禱窖に擊ている∈徊雇獲瘟4∷。この禱窖は、更さ350µmのSiCウェ〖ハ懼にデバイス撾拌を侯った稿にデバイス撾拌尸のウェ〖ハをはがす禱窖である。SiCウェ〖ハ山燙懼にレ〖ザ〖をスキャンしながら救紀(jì)した稿、ウェ〖ハ毀積脫のテ〖プを磨る。その稿、武笛すると毀積テ〖プに磨り燒いた嬸尸を、ウェ〖ハとして尸違しはがすことができる。ウェ〖ハ綏眶を籠やすことができ、SiCだけではなくGaNにも努脫できると揭べている。
こういった禱窖は、ウェ〖ハを磊り叫す更さの考さにレ〖ザ〖の廄爬を故り、レ〖ザ〖をウェ〖ハにスキャンしながら救紀(jì)すると、廄爬のあった柒嬸の步圭濕染瞥攣馮窘が嬸尸弄に尸豺し、はがれやすくなる。廄爬は馮窘柒嬸に年めるため山燙懼のデバイス撾拌が妨喇されていても蝗える禱窖である。はがす數(shù)恕は稱家まちまちだが、この緘恕はウェ〖ハ綏眶を籠やせるため、驕丸の數(shù)恕よりもコストを布げることができるようになりそうだ。
徊雇獲瘟
1. ≈GaNウェ〖ハ欄緩に呵努なKABRAプロセスを倡券∽、ディスコ (2023/07/03)
2. ディスコ家KABRAプロセスの棱湯
3. ≈ロスなく沒箕粗でGaN答饒レ〖ザスライス禱窖を券湯∽、嘆概舶絡(luò)池 (2022/05/31)
4. "SILTECTRA – Innovative Splitting Technologies", Infineon
