図1　排気�]度を高めた�引きポンプLS120　出�Z：アルバック

真空�\術をコアとするアルバックは、�引きから�高真空までポンプの����ポートフォリオを揃えてきた。�高真空では、スパッタイオンポンプやチタンゲッタポンプの10のマイナス9乗という����まである。今�vの����は�高真空ではなく、10Pa�度にとどまる。アルバックは発表�@料を�Lベースだけで電子ファイルを配布せず、会見での�^真撮影も禁�Vしているため、アルバックの�eつ����ポートフォリオの図をこの場で見せられないが、低真空から高真空まで揃えている企業ではある。

今�vのドライ真空ポンプは、外形�∨，�310（W）×650（D）×310（H）mmのLS120から、310（W）×650（D）×600（H）mmのLS1200までの����を揃え、排気�]度は、最�j(lu┛)120m3/時から1200m3/時となっている。最も小型・低価格の����LS120で、容積100リットルのチャンバを�j(lu┛)気圧から真空の10Paまで引くのに41秒と�来機よりも約20%�]縮した。その時の消�J電�は0.6kW(600W)以下だとしている。

ポンプは、�v転軸にスクリューのネジ溝を設けた軸を2本搭載したタイプだとしているが、それ以�屬里海箸���申�价罎如�譴蕕覆ぁ�

電子���関係では、プリント�v路基�の張り合わせ��や�浄�、フレキシブルエレクトロニクスでは、�~機フィルムの保護膜形成�ロール-ツー-ロール（R2R）���システムの��を狙う。販売�画は、初�Q度200�、2019�Q度には1500�を�`�Yとしている。販売価格は150万�から300万�。