図1　Element Six社が開発した、10.6µm�軍宛�を99%通すダイヤモンド����

EUVの�S長13.5nmというX線は、高�aで�]�Xに溶けている錫（スズ）のドロプレット(�]�r(n┏ng))を落としながら、CO2レーザーを照�o(j━)することでプラズマ�X��を作り出し、X線を発�擇気擦襪海箸敗uる。35〜70kWという�j(lu┛)出��のCO2レーザー光を通す�Xが��要だった。��来はCO2レーザーをこの�Xに当てると劣化して使えなくなるため、出��を�屬欧蕕譴覆�った。今�vは、透�堽┐��屬�ると同時に劣化しにくくなったため、レーザー出��を�屬欧蕕譴襪茲Δ砲覆辰拭�

35~70kWという�j(lu┛)出��のCO2レーザーを99%も透�圓任�るようになったのは、レーザーを照�o(j━)する�Xに�aっている��来の反�o(j━)防�V膜に代えて、モスアイ(moth eye：蛾の眼)と�}ばれる反�o(j━)防�V構�]を��いたためである。��来の反�o(j━)防�V膜は、ダイヤモンドよりも�X伝導率が小さいため、発�擇靴水Xがこもりやすく劣化しやすかった。このため、レーザーの出��を�屬欧蕕譴覆�った。

そこで、ダイヤモンド��の表�Cに反�o(j━)防�V膜をコーティングするのではなく、モスアイ構�]にすることで透�堽┐��屬欧�。これは、�n虫の眼のように半��球の形に���陲鬟瀬ぅ筌皀鵐鰭��Cに無数に形成する(図2)ことで、達成した。このモスアイ構�]はパターン形�Xをモデリングして理�bシミュレーションを行った。また、実際の形�X作��には、リソグラフィとプラズマエッチングを��いたとしている。

図2　モスアイ構�]だと3.5MW/cm2の�j(lu┛)出��レーザーでも劣化しない　出�Z：Element Six

モスアイ構�]のメリットは�j(lu┛)きい。CO2レーザー光を良く通すため、ダイヤの�Xでの吸収は少ない。��来のコーティングした反�o(j━)防�V膜は、0.4MW/cm2のレーザーパワーで膜が���aした。このため出��を�屬欧蕕譴覆��屬�、�Xを頻繁に交換しなければならなかった。しかし、今�vの�Xは、光を通すため���aが少ないうえに、ダイヤモンド以外の材料はコーティングされていないため、はがれるという故障がないばかりか、��命は長い��図2では、3.5MW/cm2まで透�堽┐詫遒舛討い覆�。��命は10倍�Pびたとしている。

今後、商��化に向けて、��定ユーザーと共にテストを繰り返し、テクスチャー構�]をファインチューニングしていく。2016�Q��4四半期の発売を�`指している。