OLED/ウェアラブル輝眷に羹けたフレキ答饒のバリア霖妨喇劉彌
Appleが經丸のiPhoneで何脫を山湯した銅怠EL∈OLED∷ディスプレイ翁緩への袋略は絡きく、媽26攙ファインテックジャパンでは、OLED睛脫步のために澀寇のバリア遂妨喇劉彌が陵肌いでパネル鷗績された。プラスチック答饒はフレキシブルエレクトロニクスにも蝗うため、叫鷗家はビジネスの弓がりに袋略している。
哭1 フレキシブル答饒脫のフィルムにバリア霖を妨喇した坷竿瀾館疥のロ〖ル
銅怠ELディスプレイやフレキシブルエレクトロニクスの答饒となる銅怠フィルムは、傅」凱び教み妒げなどに動い瓤燙、垮尸を奶しやすいという煎爬がある。このため、銅怠亨瘟よりももっと泰刨の光い亨瘟をバリアに脫いてカバ〖しようとしてきた。この亨瘟としてSiO2やSiNなどが鉻輸として懼っていた。シリコン染瞥攣でおなじみのSiO2やSiNは、カバ〖遂に澆尸努しているが、瓤燙、銅怠フィルムと孺べると蓋い。このため妒げ染仿にはある鎳刨嘎刨がある。ただ、呵奪はガラスを泅く裁供すると、ロ〖ルツ〖ロ〖ル∈R2R∷數及で欄緩できるほど妒げられるガラスが判眷している。
哭1は、坷竿瀾館疥がある杠狄の翁緩ラインに羹け呵奪羌掐した、プラズマCVD烹很のR2R劉彌を蝗って、SiO2バリア霖を妨喇したフィルムである。票家は升1300mmと1600mmのフィルムに灤炳したR2R數及のバリア霖妨喇脫のロ〖ルコ〖タ劉彌を瀾隴している。プラズマCVD劉彌で孿姥させたSiO2の更さデ〖タとして500µmをフィルムの升の眉から眉まで堆辦に孿姥できることをデ〖タで績している(哭2)。CVD劉彌のチャンバは眶Paの靠鄂刨で孿姥を乖い、R2R劉彌の龐面に靠鄂チャンバを掐れている。また、票家はスパッタ脫のチャンバ劉彌もあり、こちらは譬湯排端ITOを妨喇するのに蝗い、その靠鄂刨はCVDよりも1峰光い。
哭2 升1300mmのフィルムに妨喇した更さ500µmのバリア霖は堆辦
海攙の、澎レエンジニアリングの緩怠禍度嬸もR2Rの怠常そのものではないが、R2Rのバリア遂脫のCVD喇遂劉彌をパネル鷗績した。ただし、バリア遂の妨喇には更い堆辦な遂ではなく、泅い遂を姥霖した菇喇の喇遂を晾っている。バリア遂とバッファ遂を蛤高に眶霖姥み懼げることで、妒げに動くすることが晾いだ。SiO2バリア霖はCVD、バッファ霖をスパッタ劉彌で孿姥する。呵絡6霖まで孿姥するようになっている。喇遂コストは1士數メ〖トル碰たり400邊と斧姥もっている。妒唯染仿20mmまで妒げられるとしている。澎レエンジニアリングは、澎レの簇息柴家で緩度怠常を胺っている。こちらもスパッタ劉彌を積っている。
坷館、澎レ鼎、このR2Rバリア霖喇遂劉彌は、辦嬸のユ〖ザ〖に羌掐されているとしている。銅怠ELだけではなく、ウェアラブル眉瑣などに羹けたフレキシブルエレクトロニクスが惟ち懼がる泣は奪づいた。
