ノリタケ、錢四磨唯を布げたCuペ〖ストをNEDOプロジェクトで倡券
ノリタケカンパニ〖リミテドは、NEDOの毀辯を減けた≈你煤燎家柴を悸附する糠亨瘟パワ〖染瞥攣プロジェクト∽において、ファインセラミックス禱窖甫墊寥圭の辦鎊として、補刨サイクル活賦に動いCuペ〖ストを倡券した。-40×+250☆を1000攙クリアしている。

哭1 ノリタケが倡券したCuペ〖スト セラミック答饒にCuを燒けてもはがれない
このCuペ〖ストは、SiC MOSFETやSi IGBTなどのパワ〖染瞥攣と錢帕瞥唯の光いセラミックの粗や、庶錢フィンとセラミック答饒との粗に派る儡緬恨。驕丸、呵絡250☆という光い補刨サイクルを帆り手すと、儡緬恨が瓊違することがあった(哭1)。付傍は、セラミックとCuとの錢四磨唯の汗が絡きいためであった。Cuの錢四磨犯眶は17ppm/☆、これに灤してセラミックは3~7ppm/☆、SiNセラミックだと4ppm/☆と絡きく般う。
このCuペ〖ストは、木仿眶µm帽疤のCu緯灰に四磨犯眶の汗を此下するためのフィラ〖亨を郊哦し、銅怠拖恨に拖かしたもの。フィラ〖は眶%で跟蔡があるという。セラミックとの儡緬には、Cuペ〖ストを派った稿、500☆笆布で酒喇し蓋めている。Cuペ〖ストの錢四磨犯眶は11ppm/☆とCuプレ〖トよりも布がった。
哭2 SiNセラミックにCuペ〖ストでCuプレ〖トを燒けたサンプル
ノリタケは、セラミック答饒∈SiNやAlNなど∷にCuペ〖ストを派りCuプレ〖トを姥霖した菇隴のテストサンプルを侯り(哭2)、補刨サイクル活賦を乖った。パワ〖エレクトロニクスの悸劉答饒への炳脫を晾っている。