図1　Keithley Instrumentsの複合�R定�_(d│)SMU

この����(図1)は、ユーザーインタフェースにタッチスクリーンを採��、ピンチイン/ピンチアウトによるズーム機�Δ覆疋好沺璽肇侫�ン並みの使いやすさを��長としている。Tektronixがユーザーの�mを聞くと、�R定�_(d│)の操作パネルのボタンが�Hすぎる、メニューの階層が深く、設定条�Pにたどり��くまで2レイヤー、3レイヤーもかかりすぎる、などの問��が指�~されていた。この情報をKeithleyも共�~し、ユーザーの�mを�Dり入れた。機�Δ列HいSMUを設��するため、タッチスクリーン��(sh┫)式にしてボタン数を��(f┫)らし、画�Cのレイヤーも��(f┫)らす設定シーケンスを設��した。新人エンジニアがこの����の操作を覚えるまでの時間はわずか5分だとしている。これまでのSMUではマニュアルを�}放せなかった。メニューやヘルプ機�Δ呂泙星儻譴任△襪�、今後、日本語化していく予定だという。

図2　GUIを充実させたSMU�R定�_(d│)　出�Z：Keithley Instruments

8月28日に行われた����発表会では、�E色LEDに3V印加して、流れる電流7mAを表��(j┤)したり、I-V曲線を表��(j┤)させたりしていた。電流を�\加させるのに��い、LEDは��るくなっていくと同時に、画�C�屬任�I-V曲線が�Pびていく様子を見せた。実際にこの2450型�R定�_(d│)を使ってみた、同社日本法人のケースレーインスツルメンツの�v下�P二代表�D締役は、設定から�R定までにかかる時間が��来機の1/3〜1/4の時間ですむと言う。

使いやすいという��長に加え、使い慣れたエンジニアにとっても��要な�@度や価格、データログ・通信などの機�Δ鮟室造気擦拭Ｎ磴┐弌△海�DC�R定�_(d│)は、電圧分解�Δ�10nV、電流分解�Δ�10fAという�@度を�eつ。もっとも低い電流レンジは10nAであり、電圧レンジは20mVである。小数点以下が6ケタまで表��(j┤)できる。これほど�@度良く�R定できる反�C、例えば低電流を�Rる場合の電流が�W定するまでのセトリング時間は��来の1/15と�]い。テストを�O動化するためテストプログラム(スクリプト)を�R定�_(d│)内に組み込み、実行できる。テストスクリプトを共�~、再�W(w┌ng)��したり、最�j(lu┛)32��まで�Hチャンネル化したりすることができる。そのためにTSP（Test Script Processor）-Linkと�}ぶインターフェースを設けた。TSP-LinkによりKeithleyの他の����とも接��、システムを拡張できる。

ハードウエア的にも、微小電流・微小電圧の�R定やウェーハプローブテストに�L(f┘ng)かせないトライアキシャルケーブルを直�Tするためのコネクタを�Y�����△靴討い襦�このためトライアキシャルコネクタの変換�_(d│)を���Tする��要はない。

ターゲットは半導���噞だけではなく、ソーラーセルやセンサ、バッテリマネジメントのテストなどさまざまなデバイスのテスト�x場。�陵枦澱咼札襪�I-V曲線やバッテリの充放電試�xなどだけではなく、プリンタブルエレクトロニクスに使う�~機トランジスタや化学センサの性�ΡR定など、これまでエレクトロニクス�R定�_(d│)になじみのなかった�x場も狙っている。

Keithleyは、今�vの����を今後の新しい�R定�_(d│)プラットフォームにするという。そのための設��哲学として、「Touch, Test, Invent」TM を提唱している。最後のInventは、削��(f┫)した時間を�~効����して、何か新しいことを�擇濬个垢箸いαT味だ。