アルバック、タンデム房泅遂呂哇排糜を妨喇するための瀾隴劉彌、刪擦劉彌を券卿
アルバックは、タンデム菇隴∈アモ〖ファスSiと腮馮窘Siとのスタック菇隴∷の泅遂シリコン呂哇排糜を翁緩するためのタ〖ンキ〖システムCIM-1400と、泅遂潑拉を刪擦するための浮漢劉彌MPEC-1300の任卿を倡幌した。タンデム菇隴にするのは泅遂シリコン呂哇排糜の跟唯を懼げるため。これにより恃垂跟唯は9%に懼がり、パネルにおいて130W叫蝸を瘦沮する劉彌となっている。刪擦劉彌は1駱でラマン尸各から鳥鉤唯まで6灌謄を盧年できる。
アルバックが蝸を掐れるタンデム菇隴を侯るための瀾隴劉彌は、アモ〖ファスSi遂呂哇排糜の跟唯が7%鎳刨にとどまっていることから、杠狄から跟唯アップを動く滇められているために倡券した。樂嘲から葷嘲までの呂哇各の鏈スペクトルをカバ〖すれば跟唯アップにつながるため、孺秤弄沒僑墓を帝箭するアモ〖ファス霖と墓僑墓婁を帝箭する腮馮窘婁の尉數の霖を腳ねる(タンデム)ことで跟唯を懼げた。この劉彌は、1100mm∵1400mmのガラス答饒に侯り哈む呂哇排糜モジュ〖ルの叫蝸130Wを瘦沮するという劉彌である。もちろん介袋の各救紀による泅遂奧年步借妄を貉ませたパネルでの叫蝸猛である。
この腮馮窘Si脫のプラズマCVD劉彌≈CIM-1400∽は、驕丸の25MWのアモ〖ファスSi呂哇排糜瀾隴劉彌≈CCV-1400∽に納裁して蝗う劉彌である。モジュ〖ルの鉗粗欄緩翁は驕丸の25MWからタンデム房を何脫することで32.5MWに羹懼した。票家は≈CIM-1400∽を納裁の劉彌として帽攣で卿る笆嘲に、驕丸の25MW脫アモ〖ファスSi瀾隴劉彌と寥み圭わせて任卿する。
パネルの欄緩箕粗∈タクト箕粗∷を沒教するため、1攙の息魯チャンバに6綏票箕借妄すると鼎に、チャンバを4誤事誤に借妄する菇喇をとった。この馮蔡、1綏碰たり180擅でプラズマCVD借妄できるようになった。6綏のガラスをCVD喇墓させるためにガラス2綏につき1駱のプラズマ排端を脫い、圭紛3駱のプラズマ排端を1チャンバに脫罷した。
この腮馮窘SiのプラズマCVD劉彌を裁えて呂哇排糜パネルを辦從欄緩した眷圭の呂哇排糜モジュ〖ルのバラつきは井さく、1バッチ謄と21バッチ謄での排萎-排暗潑拉にさほど絡きな般いは斧られない。
辦從瀾隴でモジュ〖ルを瀾隴するとは咐っても、稱供鎳でそれぞれ妨喇した遂の潑拉をチェックする澀妥がある。そのための遂潑拉刪擦劉彌がMPEC-1300である。この劉彌は、圭紛6鹼梧の泅遂潑拉を盧年する〃
1)排端脫メタル泅遂の遂更盧年と燙柒尸邵
2)排端脫メタル泅遂の鳥鉤唯尸邵
3)腮馮窘Siの馮窘步唯の燙柒尸邵をマッピングするラマン尸各盧年
4)レ〖ザ〖スクライブ稿および譬湯瞥排遂山燙の妨覺を拇べる3肌傅盧年
5)アモ〖ファスSi泅遂の各池年眶を盧年する尸各エリプソメ〖タ
6)アモ〖ファスSi泅遂の鳥鉤唯尸邵を盧年
これらの盧年を1100mm∵1400mmサイズのガラス答饒鏈燙に盧年できるため、龐面で答饒を充るような看芹がない。このためランニングコストを猴負できる。擦呈は1駱1帛5000它邊。
