ニュ〖フレア、KLAに末む、とっておきのマスク浮漢劉彌の拒嘿を湯らかに
ニュ〖フレアテクノロジ〖は、つくばで倡かれたSelete Symposium 2009において、ハ〖フピッチ(hp)45nm笆慣のLSI脫マスクを沒箕粗で浮漢できる緘恕を何りいれた糠しいマスク浮漢劉彌NPI5000PLUSの拒嘿を湯らかにした。端めて剩花なナノメ〖タ〖LSI攙烯を酒き燒けるマスクのコストが四絡になってきており、その辦傍が光馳のマスク浮漢劉彌にもあると咐われてきた。ニュ〖フレアはKLAテンコ〖ルの迫貍ともいえるこの輝眷に辦甜を鼠いることができるか。
ニュ〖フレアのNPI-5000PLUSマスク浮漢劉彌
ニュ〖フレアがKLAを動く罷急するのにはわけがある。排灰ビ〖ム溪各で禽われた、肋紛デ〖タとパタ〖ンとの孺秤すなわちダイˇツ〖ˇデ〖タベ〖スでマスク浮漢できる劉彌はKLAしか積っていない。また、アプライドマテリアルズはステッパを滔した各池劉彌をシミュレ〖ションしてウェ〖ハにどう啪繼されるかということについての浮漢劉彌を積っている。≈しかし、シミュレ〖ションはシミュレ〖ションでしかない。マスクがデ〖タどおりに叫丸ているかどうかを拇べることが塑囤∽とニュ〖フレアの艱涅舔浮漢劉彌琵崇嬸琵崇嬸墓の北拍墩涕會はいう。
レ〖トカマ〖であるニュ〖フレアがKLAに灤鉤するため、レ〖ザ〖各の沒僑墓步を哭った。KLAが蝗脫していたレ〖ザ〖各の僑墓はKrFエキシマの257nm。ニュ〖フレアはArFレ〖ザ〖を蝗った。ただし、リソグラフィで蝗われている193nmではなく198.5nmの各を聯買する。というのは、各が鄂粗を帕嚷する粗に負筷する僑墓は200nmより沒くなればなるほど負筷が絡きくなるためだ。叫丸るだけ沒僑墓で、しかも叫丸るだけ負筷を警なく、ということから妄鱗弄には200nmが瓦しいが、198.5nmであればそれに奪い。
染瞥攣コンソシアムであるSeleteは、柜緩の浮漢劉彌を緘に掐れることでNECと澎記、マスクメ〖カ〖∈JMI: Japan Mask Initiative∷を毀辯し、2001鉗から2003鉗の粗のプロジェクトでこのレ〖ザ〖各富倡券を稿病しした。柜緩にこだわったのは、マスク擦呈が光擦である辦傍は浮漢劉彌が光擦だからと咐われたからだという。そこで、KLAよりも辦殊黎をいく劉彌を侯ろうとしてプロジェクトが幌まった。その辦つが198.5nmのレ〖ザ〖各富だった。ニュ〖フレアは、SeleteだけではなくMIRAIやNEDOの定蝸のもとで倡券したレ〖ザ〖各富禱窖を減け、禍度步することを苞き減けた。
劉彌を介めて叫操したのは2鉗漣。この沒僑墓による浮漢劉彌は呵介のユ〖ザ〖である澎記から光い刪擦を減けたという。呵奪、あるマスクメ〖カ〖がhp40nm踏塔のマスク浮漢において、さまざまな風促に灤する炊刨を刪擦したところ、KLAの劉彌と高逞笆懼の炊刨を績している。やや絡きなCDと井さなCDなどさまざまなパタ〖ンでの刪擦であるため、ある嬸尸ではニュ〖フレア、侍のパタ〖ンではKLAの數がそれぞれやや盡っており、馮蔡弄にはほぼ高逞というデ〖タを績したという。潑に、腮嘿なパタ〖ンになればなるほど、ニュ〖フレアの數が炊刨は光い。僑墓が沒い跟蔡が欄きているという。
また、浮漢劉彌として肝俱しないというメリットもあるとして、奧年に瓢くことも絡きなメリットになるとしている。欄緩附眷で蝗う劉彌であるからこそ、いくら拉墻が紊くても肝俱すればアベイラビリティが礙くなり、欄緩ラインのスル〖プットは皖ちてしまう。浩附拉も光い。瓢侯奧年拉に灤しても極慨を積っており、北拍會は、肌坤洛プロセス羹けの浮漢劉彌としては啼瑪ないと極慨を積って咐いきる。
禱窖の瘋め緘となったのは、嘎られた箕粗柒での浮漢のアルゴリズム。マスク浮漢は攙烯パタ〖ンが腮嘿になればなるほど箕粗がかかる。呵井俐升45nmだとSEM∈瘤漢房覆腮獨∷を蝗わなければ斧えない。しかし、SEMで浮漢しては泣が孰れるほど箕粗がかかる。そこで、驕丸のCD-SEMだと孺秤弄弓い燙姥帽疤に畔り箕粗弄に部刨も盧年して士堆步している。これに灤して、ニュ〖フレアは鄂粗士堆という緘恕を蝗った。
これは、7mm逞の煌逞妨を辦つの帽疤として、その１收を50に尸充し、50∵50のマトリックスを菇喇する。1ブロックの1收の墓さは140μmである。140μmは45nmの腆3000擒だからこれでも呵井パタ〖ン潰恕よりもかなり絡きい。呵井140μm逞のあるブロックを斧る眷圭には、そこを面看として件收50∵50ブロックの士堆をとり、面看のブロックの士堆猛が7mm逞の士堆猛となる。
そのブロックの疤彌を１ブロックずつずらし、また士堆をとる。マスクの茶嚨としては、士堆步されたものになる。2500改の猛を士堆步するときに井眶爬を2峰まで滇め籃刨を懼げた。箕粗弄にも2500攙帽姐な裁換士堆を紛換したことと霹擦になる。箕粗弄なマ〖ジンをとる澀妥がないため箕粗士堆をとるよりも紛換箕粗が沒い。さらに籃刨を懼げる眷圭は士堆猛をさらに士堆する。嫡に籃刨を皖として紛換を玲くしたい眷圭は4改尸を辦つの帽疤として紛換する。士堆步した茶嚨を紛換山績するため、NECエレクトロニクスが倡券した0.15μm媽1坤洛のプロセッサIMAPを蝗った。
鄂粗弄な茶嚨の炊刨を懼げるため、庫木茶燎2048の眠姥房CCDラインセンサ〖を蝗いTDI∈time delay integration∷瓢侯をさせた。マスクを敗瓢させながら茶嚨を腳ねていくため驢くの排操翁が眠姥でき炊刨が懼がるというもの。ただし、この禱窖はKLAも蝗っているという。
浮漢劉彌の禱窖は、肋紛パタ〖ンと悸パタ〖ンとのわずかな疤彌ずれを輸賴するための排灰ビ〖ム溪各禱窖の閃茶籃刨羹懼と陵奶じるところがあるため、EB溪各怠エンジニアと辦斤になって倡券した。EBエンジニアはマスク浮漢怠の煎爬を夢っているという。X-Yステ〖ジの倡券では、KLAと灤救弄だとしている。ニュ〖フレアは茶嚨のブレを負らすためハ〖ドウエアを腳くするなどハ〖ドで供勺したのに灤して、KLAはブレを輸賴する茶嚨借妄ソフトウエアで供勺したという。KLAがソフトウエアに妥する客眶は暗泡されるほど驢いと、北拍會は揭べ、ソフトウエアの客鳳銳を雇胃するとニュ〖フレアはコスト弄に灤炳できるとしている。
海稿、ユ〖ザ〖インタ〖フェ〖スを崔めた蝗い盡緘を紊くしていく。KLAと孺べると、兜伴の乖き葡いたオペレ〖タしか蝗えない爬が煎爬になっている。
