図1　暗闇でも�軍粟�でカラー画�気鮗存宗―儘Z：ナノルクス社

新しい�\術には半導��チップが��要だ。�軍粟�センサもやはり半導���\術を使って実現した。ナノルクス社は、�J�Tの����や�v路を組み合わせて、カラー画�気��uられることを2018�Qに証��してきたが、チップを実際に設��、低コストで作れることを今�v初めて証��した。

IRセンサは高価であり、しかも解�掬戮歪磴�、モノクロ映�気靴�撮れなかった。�軍粟�を吸収する材料として3元�U、4元�Uの��雑な化合�馮焼���を使うケースが�Hく、高価だった。しかも高価ゆえに、センサ�霾�の高�@細化は�Wくできなかった。このため商��で入�}できるIRセンサ、IRカメラは解�掬戮�低く、�z��ではなかった。

今�vナノルクスが開発したIRセンサは、なんとカラーフィルタを��いるという奇�sな�\術を�W(w┌ng)��しているため、シリコン�笋���来のフルHDの解�掬戞焚菫妊團奪�3µm）で加工できる。この�T果、半導���笋砲�10nm以下のような最先端の微細な�\術は��要ない。カラーフィルタ�笋�3µmピッチのフィルムを形成する。

図2に��すように、��来の可��光CMOSイメージセンサと同様、カラーフィルタを形成する。ただし、�~機フィルムを合��10層積んでいく�lだが、フィルムAとBを交互に積んでいき、ファブリ-ペロー共振�_を構成する。この共振�_はフィルタでもあるため、NIR（�Z�軍亜砲��S長を��(li│n)�Iできるように厚さを変えて工夫する。

図2　10層の�~機膜フィルタで色の3原色を創り出す　出�Z：ナノルクス

�`に見えない�軍宛�でなぜ色をつけられるのか。実は、茨城県つくば�xにある�噞�\術総合研�|所という国立研�|所の研�|�vで、現在ナノルクスの創業�vであり�D締役でもある�P宗靖��が発見した。�P宗��は、�軍粟�スペクトルの中で、可��光の3原色であるR（�掘法�G（�u）・B（�E）に�官�する�S長帯を見つけた��図2のNIR1、NIR2、NIR3がR･G･Bに相当する。もちろんフィルタには色がついている�lではないが、構�]を理解しやすくする�`的でわざと色を��けて図��している。

10層�_ねたカラーフィルタの厚さは1.1µm未満だという。このため、1画素当たりの�C積が3µm×3µm×1.1µmとなる。この�\術の����の独��使��権をナノルクスが�uている。

図3　2�|類の�~機フィルムを交互に�_ねて10層の構成にしたカラーフィルタ　出�Z：ナノルクス

このフィルタ��性を調�Dするのが真ん中の層の厚さになる。他の層の厚さは変えなくても済むため、コストは低く抑えられる��図3の横軸に�S長を�Dり、�e軸に透�堽┐鮨�したスペクトル図のように、R･G･Bのフィルタ��性が�uられている。�~機膜を�_ねてファブリ-ペロー・フィルタを構成している。これらのフィルタ膜は可��光を透�圓垢襪燭�、光を採り入れるCMOSイメージセンサの裏�C�笋膨イ���けるだけで済む。やはりコストは高くならない。

図4　ナノルクス代表�D締役社長の祖�z江基史��

カラーのフルHD�軍粟�画�気��Wく�uられるのなら、防�畸�のセンサ画�気呂�っきり見えるようになり、これまで以�屬����M防�Vに�~効な�}段となる。医����では、眼�fを直接見ることができ、心拍数も�Rれる、とナノルクスの代表�D締役社長の祖�z江基史��（図4）は述べている。数��万��もする眼�fカメラを1/10の価格で提供できるようになり、�j(lu┛)��院ではなくても小さな��院でも�△���けられるようになる。通常のCMOSイメージセンサにIR専��カラーフィルタを設けただけなので、���V画だけではなく動画も同様に撮ることができる。低価格のカラー�軍粟�カメラの����は広い。祖�z江��は、量��に�△┐銅，離薀Ε鵐匹掠@金調達の���△鮖呂瓩討い�。