MEMSビジネスが光礁姥染瞥攣と票じシステム回羹へ
MEMSビジネスが染瞥攣ビジネスに奪づいてきそうだ。MEMSセンサを蘆ねる你久銳排蝸の遍換リッチなSoC(センサハブあるいはセンサフュ〖ジョン)、アルゴリズム倡券、MEMSのファブレス、倡券ツ〖ルなど、MEMSビジネスは弓がりが叫てきた。5奉11-12泣、澎疊尉柜で倡號されたMEF (MEMS Engineer Forum) 2016ではMEMSセンサには嬸墑からシステムへと恃わりつつあることがはっきりした。
哭1 MEF 2016の鏈肥 叫諾¨MEMS Engineer Forum 2016
怠常弄な笨瓢をシリコン懼の泅遂に積たせた畝井房センサである、MEMSデバイスはこれまで暗蝸や裁廬刨、逞廬刨(ジャイロ)、姬丹などを浮叫してきた。泅遂が怠常弄に絡きく瓢けば瓢くほど炊刨は光まるため、絡きく瓢けるように鄂貧をシリコンエッチングなどで妨喇する。潤撅に考いエッチングを澀妥とするプロセスは、プレ〖ナ禱窖が肩攣のシリコンLSIから斧ると潑檢な瀾隴禱窖だった。
ところが、シリコンICでも光礁姥のチップでは考くてアスペクト孺の光いエッチングが蝗われるようになり、MEMS禱窖との鼎奶爬も驢くなってきた。瀾隴禱窖だけではない。センサは怠常弄な瓢きを排萎や排暗などに恃垂するデバイスであるため、排萎ˇ排暗のパルス僑妨を罷蹋づけする澀妥があった。
毋えば、スマ〖トフォンの茶燙を夾めから玻に羹きを恃えると茶燙の羹きも辦斤に恃わるという怠墻があるが、これは、瀕木數羹の裁廬刨が撅に漂く腳蝸裁廬刨が9.8m/s^2という辦年の猛なのに、スマホの茶燙を夾めにすると、その羹きが恃わることを浮叫することで、スマホの茶燙を僥から玻へ恃垂するという侯度を乖っている。すなわち、センサからの排丹慨規僑妨の罷蹋を粕み艱ることで、茶嚨を90刨攙啪させている。
センサからの慨規僑妨の罷蹋するものを艱り叫して、怠墻に恃垂する侯度が澀妥なのである。そのためのアルゴリズム倡券がセンサには風かせない。スマホはセンサの摻になりつつある。孺秤弄糠しい怠墻では、暗蝸センサを網脫して丹暗を盧年し、丹暗が泅くなると光刨が光くなるという孟靛の濕妄潑拉を網脫して光刨を盧年できる。GPSと寥み圭わせれば海2超にいるのか3超にいるのかさえ、冉們できるほど光籃刨になっている。
染瞥攣の礁姥刨が懼がると鼎に、システム弄になっていったのと票屯に、MEMSセンサもアルゴリズムなどのソフトウエア倡券が風かせないシステム弄になりつつある。MEF 2016では、MEMSセンサ漓嚏メ〖カ〖のInvenSenseがファブレス離咐した。MEMSセンサとA-D恃垂やアルゴリズムを崔めた慨規借妄のCMOSICをTSMCが瀾隴し、ソ〖ティングをInvenSenseがおこない、パッケ〖ジングはASEなどのOSATに巴完し、呵姜のテストをInvenSenseが胺う。InvenSenseはMEMSとCMOSICの肋紛だけを乖うファブレスとなった。
さらにソフトウエア、アルゴリズムの倡券ツ〖ル(プラットフォ〖ム)、SensorStudio(哭2)もリリ〖スした。このプラットフォ〖ムでの答塑弄な怠墻は、柒壟のライブラリを蝗ってブロック攙烯や芹俐をグラフィカルに閃き、カスタマイズしたいアルゴリズムはC咐胳でコ〖ド步できるようになっている。
哭2 センサ慨規を豺粕するソフトウエア、アルゴリズム倡券のツ〖ルSensorStudio 叫諾¨InvenSense
このツ〖ルで侯喇したアルゴリズムやソフトウエアは、センサハブチップSoCに酒き燒けることができる。票家はセンサハブチップFireFlyも肋紛しており、その瀾墑嘆ICM-30630のア〖キテクチャは、コントロ〖ラとしてARM Cortex-M0をコアに、アルゴリズム遍換はDMPと鈣ぶ漓脫のロジックコアを網脫する。FFT∈光廬フ〖リエ恃垂∷などのアルゴリズムアクセラレ〖タ攙烯となっている。この瀾墑ではよく蝗われる裁廬刨とジャイロの慨規借妄攙烯を礁姥しているが、それ笆嘲のセンサはI2Cを蝗って納裁できる。
候鉗のこの柴的では、Robert Boschがセンサハブを倡券していることを揭べたが(徊雇獲瘟1)、海鉗はそれには卡れなかった。
センサそのものも糠しくなりつつある。MEMSの潑墓は部といっても畝井房である。MEMSデバイスのトップメ〖カ〖(徊雇獲瘟2)であるBoschは、エンジン擴告脫のマスフロ〖コントロ〖ラ脫のセンサもMEMSで倡券していると揭べた。さらにフランスのCEA-Letiは、茨董センサと鈣ぶガスセンサと、ガスクロマトクラフィにMEMSを炳脫したセンサについて揭べた。ガスセンサは、IRスペクトロスコピ〖を網脫したガス尸老恕であり、ガスの帝緬を網脫するものではない。驢僑墓レ〖ザ〖の辦鹼であるQCL∈Quantum Cascade Laser∷をガスに救紀し、各-不僑恃垂を乖い、MEMSマイクで不を浮叫するという慌寥みだ。また、シリコンに嘿墓い孤を速り、それをMEMSマイクロ萎烯として網脫するガスクロマトグラフィの尸老達も活侯している(哭3)。ガスの腳さの般いによって萎烯を萎れる廬刨が般うことを網脫してガスを尸老するツ〖ルである。
哭3 Letiが活侯したMEMSガスクロマトグラフィ 叫諾¨CEA-Leti
クルマ脫のセンサとして、件跋の濕攣との調違を盧るLIDAR∈Light Detection and RangingあるいはLaser Imaging Detection and Ranging∷システムがすでにポリゴンミラ〖數及でクルマに烹很されている。グ〖グルカ〖のトップル〖フに烹很されている劉彌がそれだ。このポリゴンミラ〖をMEMSスキャナ〖に洛えて井房步を哭ろうという活みがある。デンソ〖はMEMSのLIDARをこれからのセンサとして斧ており、Boschはモバイル怠達にもジェスチャ〖千急として蝗えると揭べた。
呵姜泣呵稿のパネルディスカッションでは、ファブレスのInvenSenseが絡池との倡券を動拇したのに灤して、IDM∈庫木琵圭メ〖カ〖∷のBoschは勢柜家柒シリコンバレ〖のパロアルトとシンガポ〖ルにある面丙甫墊疥を網脫して倡券を渴め、戮家や戮度腸とのコラボレ〖ションはほとんどしない、と揭べたことが灤救弄であった。Boschはクラウドコンピュ〖タのオフィスをシリコンバレ〖に彌き、コラボよりも家柒で迫極倡券することを庭黎している。ただし、BoschのようなMEMS呵絡緘のIDMはむしろ毋嘲弄だろう。センサハブのアルゴリズム倡券のコラボは澆尸ありうることで、また篩潔步する眷圭にもコラボが澀妥だろうと、MEMS & Sensors Industry Group柴墓のKaren Lightman會は揭べている。
徊雇獲瘟
1. BoschのCMOSセンサハブ、極家肋紛によりIoT頂凌蝸を懼げる (2015/05/01)
2. 2015鉗のMEMSランキング、RF-MEMSでAvagoが締凱 (2016/04/07)
