裁廬排暗の弓いイオン廟掐劉彌をAxcelisが倡券
勢Axcelis Technologies家は、裁廬エネルギ〖認跋が500eVから4MeVと弓いイオン廟掐劉彌Optima XEをセミコンジャパン2007で券山した。CMOSデバイスの考いウェルやツインウェルの妨喇に光い裁廬エネルギ〖を澀妥とするほか、イメ〖ジセンサ〖のCCDやNORフラッシュメモリ〖にも蝗われる。
海攙のイオン廟掐劉彌は、綏駝及でスル〖プットが400綏/箕と光い。驕丸のイオン廟掐劉彌はバッチ借妄とはいえ、スル〖プットはむしろ覓く、230綏/箕鎳刨だという。それは、絡きな邊茸懼に13綏鎳刨のウェ〖ハを很せ、邊茸を攙しながらウェ〖ハにイオンを廟掐していくが、オ〖バ〖ヘッド箕粗が痰渾できないためにスル〖プットはそれほど絡きくなかった。
海攙の綏駝及では、イオン富から叫たいろいろなイオンをアナライザ、フィルタを奶して廟掐したいイオンだけを尸違し、その稿裁廬するまではこれまでと恃らないが、ウェ〖ハにイオンを救紀する慌寥みが糠しい。裁廬したビ〖ムを1000Hzの瑯排慷瓢によってスイングさせ、ウェ〖ハに救紀するビ〖ムをスキャンさせる。ただし、その漣に掠排によるダメ〖ジを松ぐため、プラズマフラットガンにより排操を面下しておく。さらに、ビ〖ムが堆辦になるように輸賴したあとにウェ〖ハに救紀する。ウェ〖ハへの救紀逞刨はユ〖ザ〖が拇臘できる。
劉彌鏈攣の靜燙姥は驕丸の劉彌よりも警し絡きいという。綏駝及のためのスキャニングステ〖ジを納裁したためだと、している。
Axcelis家は、これまで坤腸面にイオン廟掐劉彌を550駱笆懼、任卿してきたが、海攙の裁廬エネルギ〖の弓いイオン廟掐劉彌を抨掐することで、さらに輝眷シェアを澄悸にしていきたいとしている。
