今�vのイオン�R入����は、����式でスループットが400��/時と高い。��来のイオン�R入����はバッチ処理とはいえ、スループットはむしろ��く、230��/時��度だという。それは、�j(lu┛)きな��盤�屬�13����度のウェーハを載せ、��盤を�vしながらウェーハにイオンを�R入していくが、オーバーヘッド時間が無��できないためにスループットはそれほど�j(lu┛)きくなかった。

今�vの����式では、イオン源から出たいろいろなイオンをアナライザ、フィルタを通して�R入したいイオンだけを分�`し、その後加�]するまではこれまでと変らないが、ウェーハにイオンを照�o(j━)する仕組みが新しい。加�]したビームを1000Hzの��電振動によってスイングさせ、ウェーハに照�o(j━)するビームをスキャンさせる。ただし、その�iに帯電によるダメージを防ぐため、プラズマフラットガンにより電荷を中和しておく。さらに、ビームが均�kになるように����したあとにウェーハに照�o(j━)する。ウェーハへの照�o(j━)角度はユーザーが調�Dできる。

��������の�o�C積は��来の����よりも少し�j(lu┛)きいという。����式のためのスキャニングステージを�{加したためだと、している。

Axcelis社は、これまで世�c中にイオン�R入����を550��以�屐�販売してきたが、今�vの加�]エネルギーの広いイオン�R入����を投入することで、さらに�x場シェアを確実にしていきたいとしている。