Applied Materialsがウェ〖ハのリサイクルセンタ〖を給倡
Applied Materials∈AMAT∷家は6奉にウェ〖ハのリサイクルセンタ〖を駱涎の駱祁輝に倡肋したが、このほどその拒嘿を湯らかにした。AMATは孟靛補萌步を松ぐ、疊旁的年今を奸る、呂哇排糜ビジネスに廟蝸するなど、茨董に芹胃したビジネスに蝸を掐れる瘋們をした。海攙のウェ〖ハをリサイクルして茄逮せずにもう辦刨欄かそうというビジネスもその辦茨である。
1綏のウェ〖ハを帽馮窘の苞き懼げから、スライス、ポリッシュを沸て獨燙ウェ〖ハを1綏侯るのに澀妥な排蝸をAMATが斧姥もったところ、2,100kWhにも茫する。もし5綏のウェ〖ハを瀾隴すると、勢柜の1坤掠が1鉗粗に久銳する排蝸に嗓濃するという。これに灤して、リサイクルウェ〖ハは200kWh笆布、すなわち1/10笆布の排蝸ですむ。もし、染瞥攣プロセス供眷で蝗うためのウェ〖ハを洛山弄な欄緩墻蝸として、奉緩4它5000綏とすると、1鉗粗で勢柜の踩捻10它坤掠尸の排蝸を猴負することに陵碰するという。
AMATが叫獲しているPhoenix Silicon家は糠冪にあるが、海攙給倡した駱祁供眷は100%AMATが叫獲した供眷である∈繼靠∷。駱祁に肋惟した妄統は、糠冪にある染瞥攣措度の蛇孟がもはや嘎腸に丸ている措度は呵奪、駱祁の供度媚孟に渴叫しているため。坤腸呵絡のファウンドリ措度のTSMCやUMCなどがすでに渴叫している。
ウェ〖ハリサイクルビジネスでは泣塑のラサ供度がすでに悸烙を積つが、駱祁のリサイクルセンタ〖では、300mmウェ〖ハのリサイクルに漓前し、120nmプロセス羹けのウェ〖ハから幌める。リサイクルするウェ〖ハは、ラサ供度と票屯、瀾隴劉彌柒のダミ〖ウェ〖ハやパ〖ティクルチェックや遂更チェックなどに蝗ったウェ〖ハを蝗う。さらに、65nm×120nmプロセスに礁面していく。
AMATはすでにユ〖ザ〖の千年を艱り幌めている。千年活賦が姜わるまでに3~6か奉かかるため、キ〖カスタマの千年は鉗瑣に姜わり徒年。
AMATの動みは、これまで妨喇やエッチングしてきた遂を沒箕粗で近殿すること。潑に、萍芹俐とLow-k亨瘟を部霖も腳ねて蝗うロジック廢のウェ〖ハが評罷だという。Low-k亨瘟としてBlack Diamond遂を蝗っているウェ〖ハは近殿することが豈しいと、駱涎AMATのApplied Global Services嬸嚏の白隊紊會は咐う。鼎銅馮圭ががっちり馮びついているダイヤモンドだからだとしている。AMATがBlack Diamondを近殿するプロセスでは、近殿する更さはわずか9μmしかない。このため、775μmのウェ〖ハを猴って、釣推される680μmまで猴っても11攙鎳刨蝗えるというメリットがある。ただし、呵介のウェ〖ハ山燙に燼があれば近殿する嬸尸はもっと更くなり、蝗脫裳刨は皖ちる。
駱祁のリサイクルセンタ〖は、燙姥3120m2の2超氟ての氟濕である。1超には4つのエリアがあり、それぞれ近殿供鎳を減け積つ。まず、近殿すべきウェ〖ハは、室燙だけ甫酸する、尉燙甫酸する、萍を甫酸する、の話つに尸かれる。呵介に、たとえば萍芹俐プロセスならウェ〖ハの萍を近殿し、肌に漣麗爵を乖う。ここではスラリ〖などが荒っているため、それを虐攆弄に近殿する。肌に、クラス10というクリ〖ンル〖ムでクリ〖ニングする。呵姜のクリ〖ニングでは、クラス１というゴミのないところで乖うが、ここではミニエンバイアラメントを網脫する。呵稿にKLAの劉彌を蝗い、山燙の藍爵刨や更さなどを盧年する。
Black Diamondの近殿は、驕丸の數及と孺べシリコンのロスが警なく、沒箕粗にシリコンを燼つけることなくできるとしている。その近殿にはCMPは蝗っていない。というのは箕粗がかかりすぎるためだという。答塑弄にはサンドホィ〖ルを蝗うようだが、その拒嘿は湯らかにしない。1綏の擦呈は40×90ドル。諾房毋では、ほぼ4泣粗で獨燙甫酸のウェ〖ハを叫操できるという。ウェ〖ハ借妄墻蝸は碰介4它5000綏/奉だが、呵絡12它綏/奉まで材墻だとしている。
海稿は、黎眉の腮嘿パタ〖ンを妨喇したウェ〖ハの裁供も渴め、IPを奸りながら、シリコンのロスも負らしていく。裁えて、リサイクルサ〖ビスだけではなく、シリコンベンダ〖ともコラボを寥んでいきたいとしている。
