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≈染瞥攣緩度は50~100鉗稿も凱び魯ける∽、Sze兜鑒のSSDM潑侍怪遍

傅勢ベル排廈甫墊疥の甫墊鎊で附哼駱涎柜惟蛤奶絡(luò)池兜鑒であり勢スタンフォ〖ド絡(luò)池兜鑒でもあるSimon M. Sze會が9奉23泣つくば輝柜狠柴的眷で倡號された媽40攙柜狠蓋攣燎灰亨瘟コンファレンス∈SSDM∷漣屜の潑侍怪遍において、染瞥攣ナノエレクトロニクスをベ〖スにしたエレクトロニクス緩度は海稿50鉗×100鉗粗緬悸に喇墓を魯けることを徒咐した。

Simon M. Sze會


1990鉗にベル甫墊疥を55盒で年鉗鑼喀した稿、駱涎に提り糠冪にある柜惟蛤奶絡(luò)池の兜鑒になったSze會は≈ナノエレクトロニクス禱窖¨21坤氮の草瑪∽と瑪する怪遍の面で、海稿の染瞥攣禱窖の草瑪として、5つの啼瑪を艱り懼げ、的俠した¨ウェ〖ハサイズの絡(luò)庚仿步、リソグラフィ、デバイス菇隴、芹俐、染瞥攣禱窖のエコノミ〖である。それぞれの草瑪を捏績した稿、踏丸について端めて弛囪弄に胳った。

ウェ〖ハは450mm步への草瑪、リソグラフィは閉炕、ダブルパタ〖ニング、垮笆嘲の光二擂唯亨瘟、EUVなどの材墻拉の豈しさ、FINFETなどの3肌傅FET菇隴、カ〖ボンナノチュ〖ブFET、尸灰デバイス、翁灰ドットデバイスなどについて胳った稿、馮渡ロジックデバイスは10nmの腮嘿步箕洛が丸てもやはりMOSFETが肩萎になると揭べた。

光礁姥步をけん苞する稍帶券拉メモリ〖については、MRAMやFeRAM、PCRAM、RRAM、ポリマ〖メモリ〖、ミリピ〖ドメモリ〖などの糠しい稍帶券拉メモリ〖の鉻輸が叫ているが、馮渡は帽姐菇隴の赦頭ゲ〖ト房メモリ〖が盡つだろうと斧ている。≈Simplest is always winner∽と胳った。そのカギは赦頭ゲ〖トの更さは端嘎まで泅くし、推翁を負らすことだという。

光礁姥なICでは、デバイスの瓢侯廬刨よりも芹俐の數(shù)がスケ〖リングリミットを圍廬するとして、芹俐ではカ〖ボンナノチュ〖ブ∈CNT∷が銅司だとの斧數(shù)を績した。これはメタリックなCNTでは士堆極統(tǒng)供鎳が1μm笆懼と墓く、鳥鉤唯が5μΩcmと井さいため、10の9捐A/cm2という絡(luò)きな排萎泰刨の排萎を萎せる。また、シリコンベ〖スのマイクロフォトニクスによる芹俐覓變啼瑪を仆撬するという緘も疽拆した。

染瞥攣禱窖の沸貉拉については、ウェ〖ハプロセス供眷の肋灑コスト、笨啪コストが端めて絡(luò)きくなるという啼瑪に灤しては、海稿の染瞥攣緩度の橙絡(luò)により豺瘋していくだろうと弛囪弄な斧奶しを慮ち叫している。2030鉗には染瞥攣緩度は1.6名ドル、エレクトロニクス緩度は10名ドルになりこれは坤腸另欄緩の10%に四れ懼がると徒鱗している。

この含凋として、かつての隸酋のタ〖ビンエンジンの竅蝸はム〖アの恕摟のように凱びたが、1942鉗にフラットになり、料喇袋から凱び魯けてきた喂狄怠の捐狄眶は1979鉗にフラットになった。しかし緩度はともにその箕から弓がってきたとしている。染瞥攣緩度も票屯に1980鉗から2000鉗にかけて鉗唯士堆14%で喇墓したが、2000鉗笆慣はひとケタ◇とややスロ〖ダウンしている。むしろこれから染瞥攣緩度の驢屯步が幌まり、緩度が弓がっていくとSze會は雇えている。

こういった票會の斧數(shù)は弛囪弄すぎないかという劑啼に灤して、票會はこれまでの染瞥攣緩度を斧魯けてきたエンジニアとして、≈20鉗笆懼漣には染瞥攣には1μmの噬があり、これが嘎腸だとTexas Instruments家の媽辦俐のエンジニアが揭べていた。その稿0.25μmが嘎腸だという棱も若び叫した。1nmのMOSFETの瓢侯シミュレ〖ションにおいてやはり瓢侯すると券山されている∽と批えた。

怪遍柴の稿の憨科パ〖ティに朗懼においてセミコンポ〖タルの淡莢の劑啼に灤しても、≈どのような箕にもさまざまなバリヤ〖を捐り臂えてきて附哼の染瞥攣緩度がある∽として、票會は柔囪弄な嘎腸俠を揭べることに罷蹋を炊じていない。

呵稿に、2030鉗の坤腸輝眷の面で呵も憚滔の絡(luò)きな瀾墑は啡掠房デ〖タ奶慨怠達∈portable data communication∷で、1名2600帛ドルになろうと票會は揭べた。ちなみに2戎謄に絡(luò)きな輝眷の瀾墑はパソコンで9400帛ドルだと徒盧する。このころにはバイオテクノロジが塑呈步するものの、エレクトロニクスほどの絡(luò)きな輝眷にはならず、DNA搶緩濕は3200帛ドルにとどまるとみている。

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