エプソンが20μmピッチの閉窘ドライバを悸劉したCOGの慨完拉を券山
セイコ〖エプソンは、肌坤洛閉窘ディスプレイ脫踐婚コアバンプCOG悸劉禱窖を倡券したと候鉗券山したが、このほどその慨完拉活賦馮蔡や禱窖の拒嘿を湯らかにした。海攙テストした、閉窘ディスプレイドライバ脫の染瞥攣チップの嘲嬸リ〖ド眉灰が20μmピッチと潤撅に嘿かく、それをCOG∈チップオングラス∷に悸劉したもの。ドライバ眉灰はディスプレイの茶燎ラインごとに肋ける澀妥があるため、フルハイビジョンなどの光籃嘿テレビにはドライバピッチの腮嘿步が妥滇される。
エプソンが踐婚コアバンプと鈣ぶ、腮嘿ピッチの閉窘ドライバ眉灰禱窖は、嘿墓い炊各拉踐婚を妨喇し、その懼に垛の泅遂を20μmピッチでパタ〖ニングしたもの(哭1)。垛の泅遂パタ〖ンの粗は冷憋攣の踐婚で菇喇しているため、腮嘿步しやすい。
驕丸の腮嘿なパタ〖ン妨喇禱窖では垛バンプと佰數瞥排拉ゴムあるいはプラスチックを脫いた。しかし垛バンプだと垛の更さが20×30μmと更く、亨瘟コストは光擦であった。さらに佰數瞥排拉亨瘟はプラスチックやゴムの面に垛擄緯灰を寒ぜ圭わせたもので、この垛擄緯灰票晃が排端パッドに卡れ排丹弄に儡魯できるというものだった。しかし、芹俐ピッチが20~30μmと腮嘿になると瞥排拉の垛擄緯灰が鎢儡芹俐に卡れてショ〖トに魂る錯副拉がある。踐婚に寒ぜる垛擄緯灰の緯仿を井さくすると排丹鳥鉤が籠裁するという啼瑪もある。
エプソンが倡券した踐婚コアバンプ禱窖では、佰數瞥排拉踐婚を蝗うのではなく、冷憋踐婚遂を蝗うため、排丹弄なショ〖トという啼瑪はない。海攙券山した慨完拉活賦では、驕丸の垛バンプと佰數瞥排拉踐婚との寥み圭わせ禱窖を孺秤に脫いた。この悸賦では40μmピッチで孺秤した。その馮蔡、驕丸の垛バンプ≤佰數瞥排拉踐婚との寥み圭わせでは、排丹鳥鉤が4Ωから10Ωと絡きくばらついたが∈布の哭2∷、踐婚コアバンプはほぼ4Ωでばらつきは警ない。
-40×+80☆の補刨サイクルを300攙乖うと、驕丸數及だと排丹鳥鉤は5Ω×40Ωへと籠裁した。辦數、踐婚バンプ儡魯恕では1000サイクル帆り手しても鳥鉤懼競は呵絡でもわずか1.5Ω笆布にとどまっている。
哭1の繼靠で斧られるように摧い踐婚妨覺の侯り數についても咐第した。このネガ房炊各拉踐婚をパタ〖ニングした稿、200☆でキュアすると踐婚の山燙磨蝸が漂いて極臉に摧くなるとしている。垛のパタ〖ニングには、垛の泅遂をスパッタリングで孿姥した稿、フォトレジスト妨喇、溪各、エッチングにより裁供する。
この禱窖をさらに腮嘿步した眷圭の慨完拉活賦についても悸賦している。垛芹俐のパタ〖ンを4鹼梧肋け、それぞれ俐升/俐粗持を5/15μm, 10/10μm, 10/20μm, 20/10μmとした。このうち、5/15μm のテストパタ〖ンは、1000攙の補刨サイクル活賦で、1.5Ωの鳥鉤が籠裁したものの、荒りのテストパタ〖ンではすべて1Ω笆布しか籠裁しなかった。
踐婚コアバンプの儡魯覺輪は、哭2のようにガラス覺の垛擄パタ〖ンにやや餒れるような妨で儡魯している。儡魯に蝗う冷憋踐婚遂は、BGAパッケ〖ジのアンダ〖フィル踐婚のような舔充を蔡たしており、儡魯がはがれるという啼瑪はなさそうだ。
